一种光反射组件、光开关和拍摄装置制造方法及图纸

本申请实施例公开了一种光反射组件、光开关和拍摄装置，可应用于拍照、光交换和激光雷达等领域，解决了光反射组件中悬臂梁容易损坏的问题。光反射组件包括反射元件、基底、第一悬臂梁、第二悬臂梁、磁性结构和支撑结构。基底位于磁性结构上，反射元件位于基底中间的镂空区域。反射元件的两端分别通过第一悬臂梁和第二悬臂梁与基底连接，第一悬臂梁和第二悬臂梁位于反射元件的不同侧且沿着第一轴向设置。反射元件的正面用于对入射光进行反射。磁性结构用于驱动反射元件转动。支撑结构固定于磁性结构上，支撑结构上远离磁性结构的一端与反射元件的反面接触，支撑结构不会随反射元件的旋转进行运动。行运动。行运动。

【技术实现步骤摘要】
一种光反射组件、光开关和拍摄装置


[0001]本申请涉及微型电子机械系统领域，尤其涉及一种光反射组件、光开关和拍摄装置。

技术介绍

[0002]微型电子机械系统(Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)是利用传统的半导体工艺和材料，集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。在光纤通信中，可以使用MEMS驱动的微镜，以实现微镜的偏转，从而进行光交换。
[0003]MEMS微镜通常由微镜基底、微镜主体和悬臂梁组成。微镜基底位于微镜主体的外侧，悬臂梁的一端连接微镜基底，悬臂梁的另一端连接微镜主体。悬臂梁可以带动微镜进行一定角度的偏转。在实际应用中，若MEMS微镜在垂直于水平面的方向上产生运动，微镜主体会给悬臂梁带来较大的拉力，使得悬臂梁存在损坏的风险。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供了一种光反射组件、光开关和拍摄装置，解决了悬臂梁容易损坏的问题。
[0005]第一方面，本申请实施例提供的光反射组件包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光反射组件，其特征在于，包括：反射元件、基底、第一悬臂梁、第二悬臂梁、磁性结构和支撑结构，其中，所述基底位于所述磁性结构上，所述反射元件位于所述基底中间的镂空区域；所述反射元件的第一端通过所述第一悬臂梁与所述基底连接，所述反射元件的第二端通过所述第二悬臂梁与所述基底连接；所述反射元件的正面用于对入射光进行反射；所述磁性结构，用于驱动所述反射元件转动；所述支撑结构固定于所述磁性结构上，所述支撑结构上远离所述磁性结构的一端与所述反射元件的反面接触，所述支撑结构不会随着所述反射元件的旋转进行运动。2.根据权利要求1所述的光反射组件，其特征在于，所述支撑结构与所述反射元件的接触区域位于所述反射元件的中心。3.根据权利要求1或2所述的光反射组件，其特征在于，所述支撑结构的材质为凝胶，所述支撑结构与所述反射元件的反面粘接。4.根据权利要求1至3中任一项所述的光反射组件，其特征在于，所述支撑结构与所述反射元件的接触区域的长度满足第一预设条件，所述第一预设条件为B≤0.1*A，其中，所述B表示所述接触区域的长度，所述A表示所述反射元件的旋转半径。5.根据权利要求1至3中任一项所述的光反射组件，其特征在于，所述光反射组件还包括限高结构和保护结构，所述限高结构位于所述基底上，所述保护结构位于所述限高结构上，所述保护结构用于限制所述反射元件的运动幅度不超过所述保护结构所在的平面。6.根据权利要求5所述的光反射组件，其特征在于，所述保护结构为透光元件。7.根据权利要求5所述的光反射组件，其特征在于，所述保护结构为保护框，所述保护框中间镂空，在至少一个方向上所述保护框中间的镂空区域的长度小于所述反射元件的长度。8.根据权利要求5所述的光反射组件，其特征在于，所述保护结构为透镜，所述透镜用于将入射光折射至所述反射元件。9.根据权利要求5至8中任一项所述的光反射组件，其特征在于，所述限高结构的高度满足第二预设条件，所述第二预设条件为：H≥R*tanθ，其中，所述H表示所述限高结构的高度，所述R表示所述反射元件的最大旋转半径，所述θ表示所述反射元件的最大旋转角。10.根据权利要求5至9中任一项所述的光反射组件，其特征在于，所述限高结构通过丝印印刷的方式和所述保护结构固定在一起。11.根据权利要求1至10中任一项所述的光反射组件，其特征在于，所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁位于所述反射元件的不同侧且沿着第一轴向设置。12.根据权利要求11所述的光反射组件，其特征在于，所述反射元件的第三端通过所述第三悬臂梁与所述基底连接，所述反射元件的第四端通过所述第四悬臂梁与所述基底连接。13.根据权利要求12所述的光反射组件，其特征在于，所述第三悬臂梁...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖文哲，李明，冯军，
申请(专利权)人：华为技术有限公司，
类型：发明
国别省市：