电弧蒸发装置制造方法及图纸

一种电弧蒸发装置，包括腔室、夹具装置以及阴极弧源装置。所述夹具装置设置于所述腔室中。所述夹具装置经配置以夹取待加工工件。所述阴极弧源装置设置于所述腔室中并设置于所述夹具装置上方。所述阴极弧源装置包括经配置以作为靶材的第一阴极弧源和第二阴极弧源。所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源设置于不同水平位面。同水平位面。同水平位面。

【技术实现步骤摘要】
电弧蒸发装置


[0001]本申请涉及一种装置，详细来说，是有关于一种电弧蒸发装置。

技术介绍

[0002]在现有技术中，当要对带状工件(例如带锯条)进行镀膜时，带状工件会以螺旋状放置在夹具装置上，并且在进行工艺时会旋转夹具装置。然而，当夹具装置带动带状工件旋转时，靠近带状工件的螺旋状中心处的旋转速度较慢而远离带状工件的螺旋状中心处的旋转速度较快，如此会使得在螺旋状中心处的镀膜涂层厚度较厚而远离螺旋状中心处的镀膜涂层厚度较薄，造成较差的镀膜均匀性，进而使得在使用带状工件时，涂层较薄的位置在使用时会比涂层较厚的位置先磨损。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请提供一种电弧蒸发装置来解决上述问题。
[0004]依据本申请的一实施例，提供一种电弧蒸发装置。所述电弧蒸发装置包括腔室、夹具装置以及阴极弧源装置。所述夹具装置设置于所述腔室中。所述夹具装置经配置以夹取待加工工件。所述阴极弧源装置设置于所述腔室中并设置于所述夹具装置上方。所述阴极弧源装置包括经配置以作为靶材的第一阴极弧源和第二阴极弧源。所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源设置于不同水平位面。
[0005]依据本申请的一实施例，所述第一阴极弧源与水平位面的夹角在15
‑
45度的范围。
[0006]依据本申请的一实施例，所述第一阴极弧源与水平位面的夹角为40度。
[0007]依据本申请的一实施例，所述第一阴极弧源呈现圆盘状。
[0008]依据本申请的一实施例，所述圆盘的直径在30
‑r/>160毫米的范围。
[0009]依据本申请的一实施例，所述阴极弧源装置还包括与所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源设置于不同水平位面的第三阴极弧源。
[0010]依据本申请的一实施例，所述第一阴极弧源、所述第二阴极弧源和所述第三阴极弧源在垂直方向上等距设置。
[0011]依据本申请的一实施例，所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源加载不同的弧电流。
[0012]依据本申请的一实施例，所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源中距离所述夹具装置较近者所加载的弧电流高于所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源中距离所述夹具装置较远者所加载的弧电流。
附图说明
[0013]附图是用来提供对本申请的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本申请，但并不构成对本申请的限制。在附图中：
[0014]图1演示依据本申请一实施例之电弧蒸发装置的方块示意图。
[0015]图2演示依据本申请一实施例之电弧蒸发装置的前视视图。
具体实施方式
[0016]以下揭示内容提供了多种实施方式或例示，其能用以实现本揭示内容的不同特征。下文所述之组件与配置的具体例子系用以简化本揭示内容。当可想见，这些叙述仅为例示，其本意并非用于限制本揭示内容。举例来说，在下文的描述中，将一第一特征形成于一第二特征上或之上，可能包括某些实施例其中所述的第一与第二特征彼此直接接触；且也可能包括某些实施例其中还有额外的组件形成于上述第一与第二特征之间，而使得第一与第二特征可能没有直接接触。此外，本揭示内容可能会在多个实施例中重复使用组件符号和/或标号。此种重复使用乃是基于简洁与清楚的目的，且其本身不代表所讨论的不同实施例和/或组态之间的关系。
[0017]再者，在此处使用空间上相对的词汇，譬如「之下」、「下方」、「低于」、「之上」、「上方」及与其相似者，可能是为了方便说明图中所绘示的一组件或特征相对于另一或多个组件或特征之间的关系。这些空间上相对的词汇其本意除了图中所绘示的方位之外，还涵盖了装置在使用或操作中所处的多种不同方位。可能将所述设备放置于其他方位(如，旋转90度或处于其他方位)，而这些空间上相对的描述词汇就应该做相应的解释。
[0018]虽然用以界定本申请较广范围的数值范围与参数皆是约略的数值，此处已尽可能精确地呈现具体实施例中的相关数值。然而，任何数值本质上不可避免地含有因个别测试方法所致的标准偏差。在此处，「约」通常系指实际数值在一特定数值或范围的正负10％、5％、1％或0.5％之内。或者是，「约」一词代表实际数值落在平均值的可接受标准误差之内，视本申请所属
中具有通常知识者的考虑而定。当可理解，除了实验例之外，或除非另有明确的说明，此处所用的所有范围、数量、数值与百分比(例如用以描述材料用量、时间长短、温度、操作条件、数量比例及其他相似者)均经过「约」的修饰。因此，除非另有相反的说明，本说明书与附随权利要求书所揭示的数值参数皆为约略的数值，且可视需求而更动。至少应将这些数值参数理解为所指出的有效位数与套用一般进位法所得到的数值。在此处，将数值范围表示成由一端点至另一端点或介于二端点之间；除非另有说明，此处所述的数值范围皆包括端点。
[0019]图1演示依据本申请一实施例之电弧蒸发装置1的方块示意图。在某些实施例中，电弧蒸发装置1用以对待加工工件进行镀膜工艺。在某些实施例中，待加工工件可以是但不限于带状工件(例如带锯条)。在某些实施例中，电弧蒸发装置1包括腔室10、夹具装置11以及阴极弧源装置12。在某些实施例中，夹具装置11设置于腔室10中。在某些实施例中，夹具装置11经配置以夹取待加工工件。在某些实施例中，阴极弧源装置12设置于腔室10中并设置于夹具装置11上方。在某些实施例中，阴极弧源装置12包括经配置以作为靶材的第一阴极弧源121和第二阴极弧源122。在某些实施例中，第一阴极弧源121和第二阴极弧源122设置于不同水平位面。
[0020]需说明的是，电弧蒸发装置1还可以包括其他进行镀膜工艺的必要元件。举例来说，电弧蒸发装置1还可以包括设置在腔室10的内壁上的加热器或者旋转夹具装置11的驱动装置等。为了图示的简洁，图1仅描绘和本申请专利技术精神相关的元部件。
[0021]图2演示依据本申请一实施例的电弧蒸发装置2的前视视图。在某些实施例中，电
弧蒸发装置2用以对待加工工件WP进行镀膜工艺。在某些实施例中，电弧蒸发装置2可以用来实现图1实施例的电弧蒸发装置1。在某些实施例中，待加工工件WP可以是但不限于带状工件(例如带锯条)。
[0022]在某些实施例中，电弧蒸发装置2包括腔室20、夹具装置21以及阴极弧源装置22。在某些实施例中，腔室20经配置以形成对待加工工件WP镀膜时所需要的真空环境，腔室20可以由不锈钢材料焊接而成。在某些实施例中，夹具装置21设置于腔室20中以在进行镀膜工艺时夹取待加工工件WP。在某些实施例中，夹具装置21呈现螺旋状结构，使得待加工工件WP可以螺旋状放置在夹具装置21中。
[0023]在某些实施例中，阴极弧源装置22设置在腔室20中并设置在夹具装置21的上方。在某些实施例中，阴极弧源装置22包括经配置以作为靶材的多个阴极弧源。举例来说，多个阴极弧源包括第一阴极弧源221、第二阴极弧源222、第三阴极弧源223、第四阴极弧源224以及第五阴极弧源225。在某些实施例中，多个阴极弧源在腔室20的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电弧蒸发装置，其特征在于，包括：腔室；夹具装置，设置于所述腔室中，经配置以夹取待加工工件；阴极弧源装置，设置于所述腔室中并设置于所述夹具装置上方，所述阴极弧源装置包括经配置以作为靶材的第一阴极弧源和第二阴极弧源；其中所述第一阴极弧源和所述第二阴极弧源设置于不同水平位面。2.如权利要求1所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述第一阴极弧源与水平位面的夹角在15
‑
45度的范围。3.如权利要求2所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述第一阴极弧源与水平位面的夹角为40度。4.如权利要求1所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述第一阴极弧源呈现圆盘状。5.如权利要求4所述的电弧蒸发装置，其特征在于，所述圆盘的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱国朝，刘琴铭，朱敏杰，袁安素，
申请(专利权)人：纳狮新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：