自动调焦集成系统技术方案

技术编号:33209553 阅读:19 留言:0更新日期:2022-04-24 01:02
本申请涉及成像光路设计技术领域,尤其是涉及一种自动调焦集成系统,用于调节物镜的基准光轴,自动调焦集成系统包括基准调节装置、基准装置及物镜姿态调节装置,物镜设置于物镜姿态调节装置上;基准装置设置于基准调节装置与物镜之间;基准调节装置用于根据定心仪的光轴调节基准装置,以确定用于调节物镜的姿态的基准光轴;物镜姿态调节装置用于调节物镜的光轴与基准光轴重合。可见,本自动调焦集成系统属于一种新的自动调焦集成方案,集成度高,能够轻松完成调焦的工作。够轻松完成调焦的工作。够轻松完成调焦的工作。

【技术实现步骤摘要】
自动调焦集成系统


[0001]本申请涉及成像光路设计
,尤其是涉及一种自动调焦集成系统。

技术介绍

[0002]目前,在成像光路系统设计中,为适应不同厚度被测物的识别,需要对成像物镜组件进行精确的调焦,因而目前急需一款能够对成像物镜组件进行调焦的集成系统。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种自动调焦集成系统,在一定程度上解决了现有技术中存在的急需一款能够对成像物镜组件进行调焦的集成系统的技术问题。
[0004]本申请提供了一种自动调焦集成系统,用于调节物镜组件中的物镜的基准光轴,所述自动调焦集成系统包括:基准调节装置、基准装置以及物镜姿态调节装置;其中,所述物镜设置于所述物镜姿态调节装置上;
[0005]所述基准装置设置于所述基准调节装置与所述物镜之间;所述基准调节装置用于根据定心仪的光轴调节所述基准装置,以确定用于调节所述物镜的姿态的基准光轴;
[0006]所述物镜姿态调节装置用于调节所述物镜的光轴与所述基准光轴重合。
[0007]在上述技术方案中,进一步地,所述基准调节装置包括沿着平行于Z方向设置的平行平镜;
[0008]所述基准调节装置还包括沿着与Z方向呈角度的反射镜,所述反射镜用于改变所述定心仪的光轴的传播方向,以使其照射在所述基准装置上;所述反射镜与所述平行平镜以及所述物镜的连线呈90
°

[0009]所述基准装置包括平凸透镜,且所述平凸透镜包括平端面和球面;在所述定心仪的光轴垂直于所述平行平镜的状态下,所述定心仪的光轴经由所述反射镜反射并且垂直照射在所述平凸透镜的平端面上时,以确定出所述物镜的基准光轴的Rx和Ry;
[0010]在所述定心仪的光轴垂直于所述平行平镜的状态下,所述定心仪的光轴经由所述反射镜反射并且照射在所述平凸透镜的球面上,且所述球面的球心像与所述定心仪的光轴重合,确定出所述物镜的基准光轴的X和Y。
[0011]在上述任一技术方案中,进一步地,所述自动调焦集成系统还包括支撑构件,所述基准调节装置、所述基准装置、所述物镜姿态调节装置以及所述物镜组件均设置于所述支撑构件;所述支撑构件设置于所述定心仪的转台上;
[0012]所述基准调节装置还包括:反射镜座、垫片、反射镜以及所述平行平镜;其中,所述平行平镜设置于所述支撑构件;
[0013]所述支撑构件形成有安装板部,所述反射镜座设与所述安装板部通过固定螺栓相连接,且所述反射镜座还穿设有与所述安装板部相抵靠的调节螺栓;所述垫片设置于所述反射镜座与所述支撑构件之间;反射镜设置于所述反射镜座。
[0014]在上述任一技术方案中,进一步地,所述支撑构件形成有安装凸台,所述平行平镜
设置于所述安装凸台。
[0015]在上述任一技术方案中,进一步地,所述基准装置还包括:平镜安装座、平镜镜筒、平镜压圈以及平凸透镜;
[0016]其中,所述平凸透镜以及所述平镜压圈均设置于所述平镜镜筒内,且所述平镜压圈用于将所述平凸透镜压紧在所述平镜镜筒内;
[0017]所述平镜镜筒设置于所述平镜安装座。
[0018]在上述任一技术方案中,进一步地,所述物镜姿态调节装置包括X方向调节机构、Y方向调节机构、Rx调节机构、Ry调节机构、转轴安装构件、转接构件以及物镜安装构件;其中,所述转轴安装构件通过所述Ry调节机构与所述支撑构件形成转动连接或者固定连接,且Ry调节机构用于调节并最后锁紧所述物镜与OY轴的夹角,以使得所述物镜的Ry与基准光轴的Ry重合;
[0019]所述转接构件通过所述Rx调节机构与所述转轴安装构件形成转动连接或者固定连接,且所述Rx调节机构用于调节并最后锁紧所述物镜与OX轴的夹角,以使得所述物镜的Rx与基准光轴的Rx重合;所述物镜通过所述物镜安装构件与所述转接构件相连接;
[0020]所述X方向调节机构设置于所述转接构件,且所述X方向调节机构的调节端抵靠于所述物镜安装构件,所述X方向调节机构用于调节并最后锁紧所述物镜沿着X方向的位置,以使得所述物镜的X与基准光轴的X相重合;所述Y方向调节机构设置于所述转接构件,且所述Y方向调节机构的调节端抵靠于所述物镜安装构件,所述Y方向调节机构用于调节并最后锁紧所述物镜沿着Y方向的位置,以使得所述物镜的Y与基准光轴的Y相重合。
[0021]在上述任一技术方案中,进一步地,所述Ry调节机构包括沿着Y方向延伸的第一转轴以及第一紧固构件;其中,所述转轴安装构件与所述支撑构件通过所述第一转轴转动连接;所述转轴安装构件与所述支撑构件通过第一紧固构件可拆卸连接;和/或
[0022]所述Rx调节机构包括沿着X方向延伸的第二转轴以及第二紧固构件;其中,所述转接构件与所述转轴安装构件通过所述第二转轴转动连接;所述转接构件与所述转轴安装构件通过第二紧固构件可拆卸连接。
[0023]在上述任一技术方案中,进一步地,所述X方向调节机构包括X向安装构件以及两个X向千分尺;其中,所述X向安装构件与所述转接构件相连接,且两个所述X向千分尺沿着Y方向间隔设置于所述X向安装构件,任一所述X向千分尺的螺杆均用于抵靠于所述物镜安装构件的垂直于X方向的一侧部;所述物镜安装构件与所述转接构件通过第三紧固构件可拆卸连接;和/或
[0024]所述Y方向调节机构包括Y向安装构件以及Y向千分尺;其中,所述Y向安装构件与所述转接构件相连接,且所述Y向千分尺设置于所述Y向安装构件,所述X向千分尺的螺杆用于抵靠于所述物镜安装构件的垂直于Y方向的一侧部。
[0025]在上述任一技术方案中,进一步地,所述转轴安装构件呈L形;
[0026]所述物镜安装构件呈L形。
[0027]在上述任一技术方案中,进一步地,述物镜组件还包括直线电机模组、固定导向座以及连接板件;其中,所述直线电机模组的直线电机设置于所述转轴安装构件,所述直线电机模组的导轨与所述转接构件相连接;
[0028]所述固定导向座与所述支撑构件相连接;所述连接板件分别与所述转接构件以及
所述固定导向座相连接;所述平凸透镜与所述固定导向座相连接。
[0029]与现有技术相比,本申请的有益效果为:
[0030]本自动调焦集成系统集成有基准调节装置、基准装置以及物镜姿态调节装置,结合上述结构,本自动调焦集成系统的工作原理如下:首先,利用基准调节装置根据定心仪的光轴调节基准装置,确定出用于调节物镜的姿态的基准光轴,而后在利用物镜姿态调节装置调节物镜的光轴与基准光轴重合,满足调焦过程。
[0031]可见,本自动调焦集成系统属于一种新的自动调焦集成方案,集成度高,能够轻松地完成调焦的工作。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本申请的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动调焦集成系统,用于调节物镜组件中的物镜的基准光轴,其特征在于,所述自动调焦集成系统包括:基准调节装置、基准装置以及物镜姿态调节装置;其中,所述物镜设置于所述物镜姿态调节装置上;所述基准装置设置于所述基准调节装置与所述物镜之间;所述基准调节装置用于根据定心仪的光轴调节所述基准装置,以确定用于调节所述物镜的姿态的基准光轴;所述物镜姿态调节装置用于调节所述物镜的光轴与所述基准光轴重合。2.根据权利要求1所述的自动调焦集成系统,其特征在于,所述基准调节装置包括沿着平行于Z方向设置的平行平镜;所述基准调节装置还包括沿着与Z方向呈角度的反射镜,所述反射镜用于改变所述定心仪的光轴的传播方向,以使其照射在所述基准装置上;所述反射镜与所述平行平镜以及所述物镜的连线呈90
°
;所述基准装置包括平凸透镜,且所述平凸透镜包括平端面和球面;在所述定心仪的光轴垂直于所述平行平镜的状态下,所述定心仪的光轴经由所述反射镜反射并且垂直照射在所述平凸透镜的平端面上时,以确定出所述物镜的基准光轴的Rx和Ry;在所述定心仪的光轴垂直于所述平行平镜的状态下,所述定心仪的光轴经由所述反射镜反射并且照射在所述平凸透镜的球面上,且所述球面的球心像与所述定心仪的光轴重合,确定出所述物镜的基准光轴的X和Y。3.根据权利要求2所述的自动调焦集成系统,其特征在于,所述自动调焦集成系统还包括支撑构件,所述基准调节装置、所述基准装置、所述物镜姿态调节装置以及所述物镜组件均设置于所述支撑构件;所述支撑构件设置于所述定心仪的转台上;所述基准调节装置还包括:反射镜座、垫片、反射镜以及所述平行平镜;其中,所述平行平镜设置于所述支撑构件;所述支撑构件形成有安装板部,所述反射镜座设与所述安装板部通过固定螺栓相连接,且所述反射镜座还穿设有与所述安装板部相抵靠的调节螺栓;所述垫片设置于所述反射镜座与所述支撑构件之间;反射镜设置于所述反射镜座。4.根据权利要求3所述的自动调焦集成系统,其特征在于,所述支撑构件形成有安装凸台,所述平行平镜设置于所述安装凸台。5.根据权利要求2所述的自动调焦集成系统,其特征在于,所述基准装置还包括:平镜安装座、平镜镜筒、平镜压圈以及平凸透镜;其中,所述平凸透镜以及所述平镜压圈均设置于所述平镜镜筒内,且所述平镜压圈用于将所述平凸透镜压紧在所述平镜镜筒内;所述平镜镜筒设置于所述平镜安装座。6.根据权利要求3所述的自动调焦集成系统,其特征在于,所述物镜姿态调节装置包括X方向调节机构、Y方向调节机构、Rx调节机构、Ry调节机构、转轴安装构件、转接构件以及物镜安装构件;其中,所述转轴安装构件通过所述Ry调节机...

【专利技术属性】
技术研发人员:王东海武震李星辰高爱梅
申请(专利权)人:北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所
类型:发明
国别省市:

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