一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，包括主体，所述主体的表面滑动套设有皮带，所述主体的两侧对称固定有两个第一固定块，所述第一固定块的一端表面开设有第一限位槽，所述主体的一端设置有弧形板，所述弧形板的内侧固定有毛刷，所述毛刷与皮带的表面紧贴；通过设计的弧形板和毛刷，可以对皮带表面的灰尘和异物进行清理，避免其粘附在晶圆储存盒的表面，对其造成污染，通过设计的连接杆、第一固定块、第一限位槽、第二限位槽、塑料板、第三限位槽、卡头、第四限位槽、推动块，方便对弧形板进行安装与拆卸，有利于定期对其进行清洗，可以重复使用。可以重复使用。可以重复使用。

【技术实现步骤摘要】
一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置


[0001]本技术属于输送装置
，具体涉及一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置。

技术介绍

[0002]晶圆储存盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆储存盒来搬运和储存晶圆，而在晶圆储存盒加工过程中需要对其进行运输，要使用到一种输送装置。
[0003]现有的晶圆储存盒加工专用输送装置在使用时，其上的皮带表面容易附着上异物，在对晶圆储存盒输送过程中，这些异物可能粘附在其表面，造成污染，而且晶圆储存盒在输送过程中，可能会受其它外力影响滑出皮带的表面，所以需要设计一种结构解决该问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，包括主体，所述主体的表面滑动套设有皮带，所述主体的两侧对称固定有两个第一固定块，所述第一固定块的一端表面开设有第一限位槽，所述主体的一端设置有弧形板，所述弧形板的内侧固定有毛刷，所述毛刷与皮带的表面紧贴，所述弧形板的两端对称固定有两个连接杆，所述连接杆的一端嵌入至对应第一限位槽的内部，所述连接杆的一端表面开设有第二限位槽，所述第二限位槽的一侧内壁开设有两个第三限位槽，所述第一固定块的底部开设有第四限位槽，所述第四限位槽的一侧内壁开设有第五限位槽，所述第五限位槽的一侧内壁开设有第六限位槽，所述第四限位槽的一侧内壁贯穿开设有与第一限位槽相连通的通孔，所述第四限位槽的内部设置有塑料板，所述塑料板的一端贯穿通孔嵌入至第二限位槽的内部，所述塑料板的一侧固定有两个卡头，所述卡头嵌入至对应第三限位槽的内部。
[0006]优选的，所述第四限位槽的另一侧内壁开设有截面呈“T”型结构的滑槽，所述滑槽的内侧设置有截面呈“T”型结构的滑块，所述滑块与滑槽的一侧内壁之间连接有弹簧，所述滑块的一端嵌入至第四限位槽的内部与塑料板固定连接。
[0007]优选的，所述第四限位槽的内部设置有截面呈“L”型结构的推动块，所述推动块的一端嵌入至第五限位槽的内部，所述推动块的一侧贯穿开设有滑动孔，所述塑料板贯穿滑动孔的内部。
[0008]优选的，所述滑动孔的内壁表面等距离设置有多个滚珠，所述滚珠与塑料板的表面滚动连接。
[0009]优选的，所述主体的顶部相对于皮带的两侧对称固定有两个安装座，所述安装座
的内侧开设有第一容纳槽，所述第一容纳槽的内部嵌入有挡板，所述挡板的内侧固定有缓冲垫，所述挡板的底部等距离开设有多个第二容纳槽，所述第一容纳槽的内壁表面等距离固定有多个铁柱，所述铁柱嵌入至对应第二容纳槽的内部。
[0010]优选的，所述第二容纳槽的内部固定有磁铁，所述磁铁与铁柱磁连接。
[0011]优选的，所述主体的底部固定有支腿，所述支腿的底端设置有滑轮。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、通过设计的弧形板和毛刷，可以对皮带表面的灰尘和异物进行清理，避免其粘附在晶圆储存盒的表面，对其造成污染，通过设计的连接杆、第一固定块、第一限位槽、第二限位槽、塑料板、第三限位槽、卡头、第四限位槽、推动块，方便对弧形板进行安装与拆卸，有利于定期对其进行清洗，可以重复使用。
[0014]2、通过设计的安装座、挡板、第一容纳槽、第二容纳槽、铁柱，可以对晶圆储存盒起到阻挡作用，避免其受外力影响滑出皮带的表面，通过设计的缓冲垫，当晶圆储存盒撞击在挡板上时，可以起到缓冲、防护的作用，避免储存盒出现损坏。
附图说明
[0015]图1为本技术正视图；
[0016]图2为本技术俯视图；
[0017]图3为本技术弧形板的立体图；
[0018]图4为本技术图1中A区的正视剖视图；
[0019]图5为本技术图1中B区的左视剖视图；
[0020]图中：1、主体；2、弧形板；3、连接杆；4、第一固定块；5、安装座；6、挡板；7、缓冲垫；8、第一限位槽；9、第二限位槽；10、塑料板；11、第三限位槽；12、卡头；13、第四限位槽；14、推动块；15、第五限位槽；16、第六限位槽；17、滑动孔；18、第一容纳槽；19、第二容纳槽；20、铁柱。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
实施例
[0022]请参阅图1至图5，本技术提供一种技术方案：一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，包括主体1，主体1的表面滑动套设有皮带，主体1的两侧对称固定有两个第一固定块4，第一固定块4的一端表面开设有第一限位槽8，主体1的一端设置有弧形板2，弧形板2作为毛刷的载体，弧形板2的内侧固定有毛刷，通过设计的弧形板2和毛刷，可以对皮带表面的灰尘和异物进行清理，避免其粘附在晶圆储存盒的表面，对其造成污染，毛刷与皮带的表面紧贴，弧形板2的两端对称固定有两个连接杆3，连接杆3的一端嵌入至对应第一限位槽8的内部，连接杆3的一端表面开设有第二限位槽9，第二限位槽9的一侧内壁开
设有两个第三限位槽11，第一固定块4的底部开设有第四限位槽13，第四限位槽13的一侧内壁开设有第五限位槽15，第四限位槽13和第五限位槽15可以容纳推动块14，第五限位槽15的一侧内壁开设有第六限位槽16，推动块14的一端可以嵌入至第六限位槽16，对此时结构的状态进行固定，避免弹簧反弹，第四限位槽13的一侧内壁贯穿开设有与第一限位槽8相连通的通孔，第四限位槽13的内部设置有塑料板10，塑料板10可以带动卡头12同向滑动，塑料板10的一端贯穿通孔嵌入至第二限位槽9的内部，塑料板10的一侧固定有两个卡头12，卡头12和第三限位槽11可以对连接杆3进行限位，避免其在第一限位槽8的内部发生相对滑动，卡头12嵌入至对应第三限位槽11的内部，第四限位槽13的另一侧内壁开设有截面呈“T”型结构的滑槽，滑槽的内侧设置有截面呈“T”型结构的滑块，滑块与滑槽的一侧内壁之间连接有弹簧，滑块的一端嵌入至第四限位槽13的内部与塑料板10固定连接，第四限位槽13的内部设置有截面呈“L”型结构的推动块14，推动块14可以带动塑料板10同向滑动，推动块14的一端嵌入至第五限位槽15的内部，推动块14的一侧贯穿开设有滑动孔17，塑料板10贯穿滑动孔17的内部，滑动孔17的内壁表面等距离设置有多个滚珠，滚珠可以减小推动块14滑动时的摩擦力，滚珠与塑料板10的表面滚动连接。
[0023]本实施例中，优选的，主体1的顶部相对于皮带的两侧对称固定有两个安装座5，安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，包括主体（1），其特征在于：所述主体（1）的表面滑动套设有皮带，所述主体（1）的两侧对称固定有两个第一固定块（4），所述第一固定块（4）的一端表面开设有第一限位槽（8），所述主体（1）的一端设置有弧形板（2），所述弧形板（2）的内侧固定有毛刷，所述毛刷与皮带的表面紧贴，所述弧形板（2）的两端对称固定有两个连接杆（3），所述连接杆（3）的一端嵌入至对应第一限位槽（8）的内部，所述连接杆（3）的一端表面开设有第二限位槽（9），所述第二限位槽（9）的一侧内壁开设有两个第三限位槽（11），所述第一固定块（4）的底部开设有第四限位槽（13），所述第四限位槽（13）的一侧内壁开设有第五限位槽（15），所述第五限位槽（15）的一侧内壁开设有第六限位槽（16），所述第四限位槽（13）的一侧内壁贯穿开设有与第一限位槽（8）相连通的通孔，所述第四限位槽（13）的内部设置有塑料板（10），所述塑料板（10）的一端贯穿通孔嵌入至第二限位槽（9）的内部，所述塑料板（10）的一侧固定有两个卡头（12），所述卡头（12）嵌入至对应第三限位槽（11）的内部。2.根据权利要求1所述的一种带有防护组件的晶圆储存盒加工专用输送装置，其特征在于：所述第四限位槽（13）的另一侧内壁开设有截面呈“T”型结构的滑槽，所述滑槽的内侧设置有截面呈“T”型结构的滑块，所述滑块与滑槽的一侧内壁之间连接有弹簧，所述滑块的一端嵌入至第四限位槽（13）...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建蔚，
申请(专利权)人：昆山兴宇宏机械科技有限公司，
类型：新型
国别省市：