半导体激光装置制造方法及图纸

技术编号:3314983 阅读:135 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种能减少大电流时光输出功率的降低、斜率效率高的、跟传统半导体激光器相比近场图样变化不大的半导体激光器,其中设有:在p-InP衬底12上设置的p-InP包层14,在该p-InP包层14上设置的活性区16,在该活性区16上设置的n-InP包层18a,在该n-InP包层18a上设置的n-InP包层18b,以及在比位于n-InP包层18a和n-InP包层18b之间的活性区16发出的激光的近场图形的光强实质上为0的位置更接近活性区16的位置叠层的、厚度为0.05~0.3μm的、光强的分布重心偏向n侧的半导体层。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于光通信等的半导体激光装置,特别是,涉及一种使光强分布非对称的半导体激光。
技术介绍
随着采用光纤的公共通信网络的普及,越来越要求低价大信息量的传送。依据这种请求,为了低价修建公共通信网络,增大传送信息量,有必要开发跟已经修建的光纤网络的光学匹配特性好,并且光输出效率高的半导体激光装置。图15是传统的半导体激光器的剖视图。图15中,200表示半导体激光器,202表示p导电型InP衬底(以下,p导电型标为“p-”、n导电型标为“n-”),204表示p-InP包层,206表示活性区,是由InGaAsP阱层和InGaAsP阻挡层构成的多重量子阱结构的活性层和上下挟持活性层而设置的InGaAsP光约束层所构成。208表示n-InP包层,210表示InP电流阻挡层,212表示n-InP包层,214表示n型电极,216表示p型电极。这种半导体激光器200中,若以p型电极216为正电位,在p型电极216和n型电极214之间施加偏压,则电流有效地集中流过活性区206,能够低电流工作且发光。p-InP包层204与n-InP包层208的折射率比活性区206小,光以活性区206为中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体激光装置,其中设有: 第一导电型的半导体衬底; 在所述半导体衬底上设置的第一导电型的第一包层; 在所述第一包层上设置的活性层; 在所述活性层上设置的第二导电型的第二包层;以及 在比所述活性层发出的激光的近场图样的光强实质上为0的位置更靠近所述活性层的部位层叠的、具有0.05~0.3μm厚度的、使光强的分布重心向n侧偏移的半导体层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:中山毅
申请(专利权)人:三菱电机株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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