激光晶体评估装置制造方法及图纸

一种激光晶体评估装置，具有产生激励光的光源、保持激光晶体的激光晶体保持台、接收从激光晶体射出的激光束的受光检测部、使上述光源和上述激光晶体在与该激光晶体的端面平行的方向相对进行移动的移动装置和取得来自该移动装置的相对移动量及来自上述受光检测部的受光结果的运算控制装置，利用上述移动装置使上述激励光入射的激光晶体的端面内的位置移动，上述运算控制装置根据激励光的入射位置和上述受光结果求出激光晶体端面内的输出分布。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及评估固体激光器使用的激光晶体的品质的激光晶体评估装置。
技术介绍
固体激光器是对激光晶体入射激励光，通过该激光晶体使激励光共振，从而射出激光束的激光器。上述激光晶体的晶体品质影响输出的激光束(光强度、光强度分布、偏振光、稳定性等)的品质。此外，激光晶体因切割时产生的微小瑕疵、残余应力或衍射的作用，当激励光入射到激光晶体的周边部时，从激光晶体射出的激光束不稳定，或者射不出激光束。即使激励光入射到中央部，也不能得到规定的光强度，或者产生最大光强度的部位不在入射面的中央等，各激光晶体之间存在个体差，各激光晶体射出的激光束的品质会产生离散。过去，不评估单个激光晶体的品质，而在将激光晶体组装成固体激光器之后，作为固体激光器，对其进行评估试验。因此，有时因激光晶体的品质的原因而得不到规定的性能，从而降低固体激光器的成品率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于能够评估单个激光晶体的性能，提高固体激光器的成品率，或者能够检测射出的激光束的强度在规定的强度以上的部位，有效地利用激光晶体具有的性能。为了达到上述目的，本专利技术的激光晶体评估装置具有产生激励光的光源、保持激光晶体的激光晶体保持台、接收从激光晶体射出的激光束的受光检测部、使上述光源和上述激光晶体在与该激光晶体的端面平行的方向相对移动的移动装置和取得来自该移动装置的相对移动量及来自上述受光检测部的受光结果的运算控制装置，利用上述移动装置使上述激励光入射到激光晶体的端面的位置移动，上述运算控制装置根据激励光的入射位置和上述受光结果求出激光晶体端面的输出分布，此外，本专利技术的激光晶体评估装置的上述运算控制装置具有显示部，将与相对移动对应的受光结果的上述输出分布图形化后，在上述显示部显示该输出分布，此外，本专利技术的激光晶体评估装置的上述运算控制装置具有评估基准，评估基准是至少一个输出值基准、输出区域和区域的位置，当满足基准时按输出值基准进行评估的分类，此外，本专利技术的激光晶体评估装置的上述激光晶体保持台具有冷却器，使上述激光晶体维持在规定的温度，此外，本专利技术的激光晶体评估装置的激光晶体是将该激光晶体和波长变换晶体做成一体的结构，此外，本专利技术的激光晶体评估装置在激光晶体的射出侧设置偏光板，并评估其偏振光特性，此外，本专利技术的激光晶体评估装置使激光晶体的维持温度变化，并评估激光晶体的温度特性，此外，本专利技术的激光晶体评估装置具有配置在从激光晶体射出的激光束上的光学滤光器，该光学滤光器透过基波波长的光，此外，本专利技术的激光晶体评估装置的上述运算控制装置具有2个以上的输出值基准，根据上述受光结果进行激光晶体的分类，进而，本专利技术的激光晶体评估装置在多个温度下进行激光晶体的评估，并按工作温度进行分类。若按照本专利技术，因具有产生激励光的光源、保持激光晶体的激光晶体保持台、接收从激光晶体射出的激光束的受光检测部、使上述光源和上述激光晶体在与该激光晶体的端面平行的方向相对移动的移动装置和取得来自该移动装置的相对移动量及来自上述受光检测部的受光结果的运算控制装置，利用上述移动装置使上述激励光入射到激光晶体的端面的位置移动，上述运算控制装置根据激励光的入射位置和上述受光结果求出激光晶体端面的输出分布，故事先知道晶体本身的品质，在制造LD激励固体激光器时，可以排除起因于激光晶体的不良品质，提高成品率。此外，若按照本专利技术，因上述运算控制装置具有显示部，将与相对移动对应的受光结果的上述输出分布图形化后，在上述显示部显示该输出分布，故可以从视觉上判断评估结果。此外，若按照本专利技术，因上述运算控制装置具有评估基准，评估基准是至少一个输出值基准、输出区域和区域的位置，当满足基准时按输出值基准进行评估的分类，故可以与激光晶体的用途对应进行评估，可以有效利用激光晶体。此外，若按照本专利技术，因上述激光晶体保持台具有冷却器，使上述激光晶体维持在规定的温度，故可以提高评估精度，同时，通过在评估中使激光晶体的温度变化，可以得到与温度对应的评估，可以在考虑LD激励固体激光器的使用条件之后选择激光晶体。此外，若按照本专利技术，因激光晶体是将该激光晶体和波长变换晶体做成一体的结构，故可以进行已芯片化的激光晶体的综合评估。附图说明图1是表示本专利技术实施的LD激励固体激光器的基本构成的说明图。图2是表示本专利技术的实施例的概略斜视图。图3示出本专利技术的实施例的一例使用激光晶体评估装置评估的结果，图3(A)是表示激光晶体的评估结果的三维图形，图3(B)是表示激光晶体的评估结果的二维图形。图4示出本专利技术的实施例的另一例使用激光晶体评估装置评估的结果，图4(A)是表示激光晶体的评估结果的三维图形，图4(B)是表示激光晶体的评估结果的二维图形。图5是表示本专利技术的实施例的评估过程的流程图。图6是表示本专利技术的实施例的使用激光晶体评估装置评估的激光晶体芯片的说明图。图7是表示本专利技术的实施例的使用激光晶体评估装置评估的激光晶体芯片的说明图。具体实施例方式下面，参照附图说明实施本专利技术的最佳形态。首先，利用图1说明LD激励固体激光器1的概况。在图1中，2是发光部，3是光共振部。上述发光部2具有LD发光器4和聚光透镜5，上述光共振部3由形成了第1电介质反射膜7的第1光学晶体(激光晶体8)、第2光学晶体(非线性光学晶体(NLO)(波长变换晶体9))、形成了第2电介质反射膜10的凹面镜11构成，在上述光共振部3中，对激光束进行泵浦(pumping)、共振、放大和波长变换，再输出激光束。LD激励固体激光器1使用半导体激光器的上述LD发光器4，作为使激励光入射到上述光共振部3的激励光光源。上述激光晶体8用来将激励光变换成基波并进行光放大。该激光晶体8使用共振线为1064nm的Nd:YVO4。此外，还采用掺杂了Nd3+离子的YAG(钇、铝、石榴石)等，YAG具有946nm、1064nm、1319nm等共振线。此外，还可以使用共振线为700～900nm的钛(蓝宝石)等。此外，上述波长变换晶体9进行使基波变成1/2等的波长变换，作为上述波长变换晶体9，可以举出KTP(KTi0P04磷酸钛氧基钾)。在上述激光晶体8的上述LD发光器4一侧形成上述第1电介质反射膜7。该第1电介质反射膜7对来自上述LD发光器4的激光束高透过，且对上述激光晶体8的共振波长(基波波长)具有高反射能力。此外，上述第1电介质反射膜也可以对2次谐波(SHGSECONDHARMONIC GENERATION)具有高反射能力。当然，也可以在上述激光晶体8的激励侧相反一侧的端面、或波长变换晶体9的激励侧对2次谐波设置上述第1电介质反射膜。上述凹面镜11与上述激光晶体8面对面构成，上述凹面镜11的面向激光晶体8的面被加工成具有适当半径的凹球面形状，在球面上形成上述第2电介质反射膜10。该第2电介质反射膜10对基波波长具有高反射，该第2电介质反射膜10对2次谐波具有高透过。如上所述，当上述激光晶体8的上述第1电介质反射膜7和上述凹面镜11的上述第2电介质反射膜10组合，且使来自上述LD发光器4的激励光经上述聚光透镜5泵浦到上述激光晶体8上时，光便在该激光晶体8的上述第1电介质反射膜7和上述第2电介质反射膜10之间来回折射，可以长时间将光封闭，所以，能够使光产生共振并放大。在由上述激光晶体8的第1电介质反射膜7和上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光晶体评估装置，其特征在于，具有：产生激励光的光源；保持激光晶体的激光晶体保持台；接收从激光晶体射出的激光束的受光检测部；使上述光源和上述激光晶体在与该激光晶体的端面平行的方向相对移动的移动装置，以及　 　取得来自该移动装置的相对移动量和来自上述受光检测部的受光结果的运算控制装置，利用上述移动装置，使上述激励光入射的激光晶体的端面内的位置进行移动，上述运算控制装置根据激励光的入射位置和上述受光结果求出激光晶体端面内的输出分布。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：后藤义明，籾内正幸，江野泰造，
申请(专利权)人：株式会社拓普康，
类型：发明
国别省市：JP[日本]