气体激光振荡器制造技术

提供一种气体激光振荡器（１０），其具有：电压检测单元（４ａ～４ｄ），其对放电点亮前的放电管的多个放电管区段（６ａ～６ｄ）每一个的电压进行检测；和放电管区段点亮判定单元（１），其根据由电压检测单元检测到的多个放电管区段（６ａ～６ｄ）的电压，判断是否点亮各自的多个放电管区段，放电管区段点亮判定单元仅在多个放电管区段中的全部的放电管区段的电压比规定的电压（Ｖｂ）小的情况下，使多个放电管区段全部点亮。由此，不必伴随操作者的作业，通过在放电点亮前判断激光气体的异常，来防止放电管因绝缘破坏而损坏。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气体激光振荡器，特别涉及用于激光加工机的气体激光振荡器。
技术介绍
一般的气体激光振荡器，例如特开平7-221378号公报所公开的气体激光振荡器通过放电电极间的放电能量激发封入放电管内的激光气体，产生与该激发状态的气体离子返回基态时放出的能量相当的振荡波长的激光。但是，在长时间停止了气体激光振荡器的情况下，在对放电管提供的激光气体源(储气瓶)已变空的情况下，或者在将气体激光振荡器内部对大气进行了开放等情况下，用于使激光气体在放电管内循环的鼓风机，即涡轮鼓风机的润滑油气化并混入放电管内的激光气体中。在气化的润滑油的量多时，一部分的润滑油也有可能附着在放电管的内壁。这时，在激光气体中混入杂质分子，即混入润滑油的分子，导致激光气体恶化。当在激光气体已恶化的状态下使气体激光振荡器进行动作时，放电难以点亮，放电点亮时的放电电压与激光未恶化的情况相比大幅上升。由于这样的放电电压的上升，有可能在放电管的外部发生绝缘破坏，损坏放电管。特别是近年来，由于激光振荡器的输出存在进一步加大的倾向，所以放电管损坏的可能性不断增大。通常，在润滑油混入了放电管的激光气体的情况下，通过暂时更换本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体激光振荡器（１０），其具有：电压检测单元（４ａ～４ｄ），其对放电点亮前的放电管的多个放电管区段（６ａ～６ｄ）每一个的电压进行检测；和放电管区段点亮判定单元（１），其根据由所述电压检测单元（４ａ～４ｄ）所检测到的所述多个放电管区段（６ａ～６ｄ）的电压，判断是否点亮各自的所述多个放电管区段（６ａ～６ｄ），其特征在于，所述放电管区段点亮判定单元（１）仅在所述多个放电管区段（６ａ～６ｄ）中的全部的放电管区段的电压比规定的电压（Ｖｂ）小的情况下，使所述多个放电管区段（６ ａ～６ｄ）全部点亮。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：江川明，安藤稔，森敦，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]