本发明专利技术公开了一种一种半导体生产的仿真方法、装置、设备及介质，用以提高半导体仿真的准确度。首先获取预设时长内不同批次晶圆的历史生产记录，根据该历史生产记录，计算每个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值，基于多个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行聚类分析，根据聚类结果确定至少一个目标生产设备，使用至少一个目标生产设备对半导体生产进行模拟。由于目标生产设备是根据不同批次晶圆的每个生产设备的等待时长进行聚类分析得到的，因此目标设备的等待时长相似，使用等待时长相似的设备作为仿真设备，可以提高仿真的准确度。可以提高仿真的准确度。可以提高仿真的准确度。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产的仿真方法、装置、设备及介质
[0001]本专利技术半导体制造
，特别涉及一种半导体生产的仿真方法、装置、设备及介质。
技术介绍
[0002]半导体生产线是一种加工设备繁多、工艺流程较复杂的制造系统。在同一生产线上，同时在加工的产品类型可达十几种，同时，根据订单的不同，生产线上会产生由不同种类、不同数量和不同紧急程度的需求组合，从而使得生产过程具有高度不确定性，为了提高半导体的生产效率，通常在生产之前，对半导体的生产进行仿真。
[0003]半导体生产的仿真，主要利用排队原理，对生产设备的生产能力进行仿真，产生生产设备的瓶颈效应，从而得到半导体生产时，生产设备的生产顺序。
[0004]半导体生产的仿真关系到半导体生产的生产效率，因此，如何提高半导体生产仿真的准确度，是本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术提供一种半导体生产的仿真方法、装置、设备及介质，用以提高半导体仿真的准确度。
[0006]第一方面，本专利技术实施例提供一种半导体生产的仿真方法，所述方法包括：
[0007]获取预设时长内不同批次晶圆的历史生产记录；
[0008]根据所述历史生产记录，计算每个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值；
[0009]基于多个所述生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行聚类分析，根据聚类结果确定至少一个目标生产设备；
[0010]使用至少一个所述目标生产设备对半导体生产进行模拟。
[0011]在一种可能的实现方式中，所述根据所述历史生产记录，计算每个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值，包括：
[0012]根据所述历史生产记录，计算所述每个批次晶圆在每个生产设备的等待时长；
[0013]根据所述每个批次晶圆在每个生产设备的等待时长，计算所述每个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值。
[0014]在一种可能的实现方式中，所述对多个所述生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行聚类分析，根据聚类结果确定至少一个目标生产设备，包括：
[0015]对多个所述生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行二聚类分析，从聚类结果中选择稳定性较强的一组等待时长的标准差和等待时长的平均值的多个所述生产设备；
[0016]将选择的一组等待时长的标准差和等待时长的平均值对应的多个所述生产设备中的至少一个生产设备作为目标生产设备。
[0017]在一种可能的实现方式中，所述使用至少一个所述目标设备对半导体生产进行模拟之前，还包括：
[0018]确定至少一个所述目标设备的等待时长的标准差小于第一预设阈值；和/或
[0019]确定至少一个所述目标设备的所述等待时长的平均值小于第二预设阈值。
[0020]在一种可能的实现方式中，若包括多个所述目标生产设备，则所述使用至少一个所述目标生产设备对半导体生产进行模拟，包括：
[0021]根据所述多个目标设备对应的预设步骤码，确定使用所述多个目标设备的生产顺序；
[0022]根据所述多个目标设备的生产顺序，对半导体生产进行模拟。
[0023]在一种可能的实现方式中，所述获取预设时长内不同批次晶圆的历史生产记录，包括：
[0024]获取预设时长内不同批次晶圆到达生产设备的时刻及被所述生产设备加工的时刻。
[0025]在一种可能的实现方式中，通过下列方式确定等待时长：
[0026]将被所述生产设备加工的时刻与到达所述生产设备的时刻的差值作为所述生产设备的等待时长。
[0027]第二方面，本专利技术实施例提供一种半导体生产的仿真装置，所述装置包括：
[0028]获取模块，用于获取预设时长内不同批次晶圆的历史生产记录；
[0029]计算模块，用于根据所述历史生产记录，计算每个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值；
[0030]聚类模块，用于对多个所述生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行聚类分析，根据聚类结果确定至少一个目标生产设备；
[0031]模拟模块，用于使用至少一个所述目标生产设备对半导体生产进行模拟。
[0032]在一种可能的实现方式中，所述计算模块具体用于：
[0033]根据所述历史生产记录，计算所述每个批次晶圆在每个生产设备的等待时长；
[0034]根据所述每个批次晶圆在每个生产设备的等待时长，计算所述每个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值。
[0035]在一种可能的实现方式中，所述聚类模块具体用于：
[0036]对多个所述生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行二聚类分析，从聚类结果中选择稳定性较强的一组等待时长的标准差和等待时长的平均值的多个所述生产设备；
[0037]将选择的一组等待时长的标准差和等待时长的平均值对应的多个所述生产设备中的至少一个生产设备作为目标生产设备。
[0038]在一种可能的实现方式中，所述装置还包括确定模块；
[0039]所述确定模块，用于确定至少一个所述目标设备的等待时长的标准差小于第一预设阈值；和/或
[0040]确定至少一个所述目标设备的所述等待时长的平均值小于第二预设阈值。
[0041]在一种可能的实现方式中，若包括多个所述目标设备，则所述模拟模块具体用于：
[0042]根据所述多个目标设备对应的预设步骤码，确定使用所述多个目标设备的生产顺
序；
[0043]根据所述多个目标设备的生产顺序，对半导体生产进行模拟。
[0044]在一种可能的实现方式中，所述获取模块具体用于：
[0045]获取预设时长内不同批次晶圆到达生产设备的时刻及被所述生产设备加工的时刻。
[0046]在一种可能的实现方式中，所述计算块具体用于：
[0047]将被所述生产设备加工的时刻与到达所述生产设备的时刻的差值作为所述生产设备的等待时长。
[0048]第三方面，本专利技术实施例提供一种电子设备，包括：处理器；用于存储处理器可执行指令的存储器；其中，所述处理器通过运行所述可执行指令以实现第一方面任一项所述方法的步骤。
[0049]第四方面，本专利技术实施例提供一种计算机可读写存储介质，其上存储有计算机指令，该指令被处理器执行时实现第一方面任一项所述方法的步骤。
[0050]本专利技术有益效果如下：
[0051]本专利技术首先获取预设时长内不同批次晶圆的历史生产记录，根据该历史生产记录，计算每个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值，基于多个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行聚类分析，根据聚类结果确定至少一个目标生产设备，使用至少一个目标生产设备对半导体生产进行模拟。由于目标生产设备是根据不同批次晶圆的每个生产设备的等待时长进行聚类分析得到的，因此目标设备的等待时长相似，使用等待时长相似的设备作为仿真设备，可以提高仿真的准确本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体生产的仿真方法，其特征在于，所述方法包括：获取预设时长内不同批次晶圆的历史生产记录；根据所述历史生产记录，计算每个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值；基于多个所述生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行聚类分析，根据聚类结果确定至少一个目标生产设备；使用至少一个所述目标生产设备对半导体生产进行模拟。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述历史生产记录，计算每个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值，包括：根据所述历史生产记录，计算所述每个批次晶圆在每个生产设备的等待时长；根据所述每个批次晶圆在每个生产设备的等待时长，计算所述每个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对多个所述生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行聚类分析，根据聚类结果确定至少一个目标生产设备，包括：对多个所述生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行二聚类分析，从聚类结果中选择稳定性较强的一组等待时长的标准差和等待时长的平均值的多个所述生产设备；将选择的一组等待时长的标准差和等待时长的平均值对应的多个所述生产设备中的至少一个生产设备作为目标生产设备。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述使用至少一个所述目标设备对半导体生产进行模拟之前，还包括：确定至少一个所述目标设备的等待时长的标准差小于第一预设阈值；和/或确定至少一个所述目标设备的所述等待时长的平均值小于第二预设阈值。5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，若包括多个所述目标生产设备，则所述使用至少一个所述目标生产设备对半导体生产进行模拟，包括：根据所述多个目标设备对应的预设步骤码，确定使用所述多个目标设备的生产顺序；根据所述多个目标设备的生产顺序，对半导体生产进行模拟。6.如权利要求1
‑
5任一所述的方法，其特征在于，所述获取预设时长内不同批次晶圆的历史生产记录，包括：获取预设时长内不同批次晶圆到达生产设备的时刻及被所述生产设备加工的时刻。7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，通过下列方式确定等待时长：将被所述生产设备加工的时刻与到达所述生产设备的时刻的差值作为所述生产设备的等待时长。8.一种半导体生产的仿真装置，其特征在于，所述装置包括：获取模块...
【专利技术属性】
技术研发人员：王晓，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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