多波长激光二极管制造技术

本发明专利技术提供了一种多波长激光二极管，包括衬底、第一器件部分、第二器件部分、形成在第一器件部分的前端面和第二器件部分的前端面上的前端面膜和形成在第一器件部分的后端面和第二器件部分的后端面上的后端面膜。第一器件部分和第二器件部分的后端面膜具有第一反射膜和第二反射膜，在第一反射膜中，在后端面上层叠一或多组具有折射率ｎ１的第一后端面膜和具有折射率ｎ２（＞ｎ１）的第二后端面膜，在第二反射膜中，在第一反射膜上层叠一或多组具有折射率ｎ３（.ｎ１）的第三后端面膜和具有折射率ｎ４（＞ｎ１）的第四后端面膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及单片(monolithic)多波长激光二极管，具体涉及在高反射率侧上具有改进的反射膜的多波长激光二极管。
技术介绍
近年来，在激光二极管(LD)领域，积极发展了在同一衬底(或基底)上具有不同发光波长的多个发光部分的多波长激光器件。例如，将多波长激光器件用作光盘器件的光源。在这种光盘器件中，将780nm波段的激光用于CD(压缩盘)中的复制，并用于在可记录光盘如CD-R(可记录CD)、CD-RW(可重写CD)、和MD(小型盘)中的记录和复制。另外，在这种光盘器件中，将660nm波段的激光用于DVD(数字通用光盘)中的复制。通过在光盘器件上安装多波长激光器件，可实现对任何类型的现有光盘的记录或复制。通过使用上述的多波长可扩展应用。在这种单片多波长激光器件中，通常，与单波长激光器件中的相似，在一个工艺中在激光器件的整个端面上形成匹配每个激光波长λ的低反射器膜和高反射器膜，并且光从低反射膜侧上的端面有效地出射(日本未审专利申请公开No.2001-257413)。为获得高反射率，高反射器膜通常具有交替层叠低折射率层和高折射率层的多层结构。在这种情况，组合其材料以便在低折射率层和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多波长激光二极管包括：衬底；形成在衬底上并振荡第一波长激光的第一器件部分；形成在衬底上并振荡第二波长激光的第二器件部分；在一个工艺中在第一器件部分的前端面和第二器件部分的前端面上形成的前端面膜；以及　 　在一个工艺中在第一器件部分的后端面和第二器件部分的后端面上形成的后端面膜，其中后端面膜具有第一反射膜，其中在后端面上层叠一或多组具有折射率ｎ１的第一后端面膜和具有折射率ｎ２（＞ｎ１）的第二后端面膜，以及第二反射膜， 其中在第一反射膜上层叠一或多组具有折射率ｎ３（.ｎ１）的第三...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：壹岐秀人，佐藤慎也，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]