一种工作波段为11500-12500nm的远红外带滤光片制造技术

技术编号:33131830 阅读:66 留言:0更新日期:2022-04-17 00:49
本发明专利技术提供一种工作波段为11500

【技术实现步骤摘要】
270.79L201.34H 191.01L 302.41H 236.64L 142.72H 278.50L 277.75H 300.27L 155.51H 205.33L191.19H 159.56L 165.37H 255.97L 117.34H 391.25L 81.35H 327.36L 147.08H 164.23L232.69H 67.04L 209.66H 256.55L 90.24H 1153.89L/Air。
[0012]优选的,所述反面膜系为可见光-6500nm波段的前截止膜系,入=5500nm,H代表锗膜层的物理厚度,L代表ZnS膜层的物理厚度。
[0013]优选的,所述反面膜系的主要构成:Sub/235.70H 881.43L 1647.08H 650.17L1467.46H 739.61L 729.29H 882.07L 391.47H 1231.81L 592.20H 1538.37L 810.61H 746.24L 836.87H 1429.76L 825.01H 3036.41L 863.04H 973.18L 408.00H 223.57L 615.75H 808.83L 872.97H 2094.31L 443.56H 670.83L 994.91H 952.12L 634.88H 395.82L 637.80H 670.10L 2039.36H 861.44L 654.21H 830.33L 95.27H 499.02L 708.59H 672.32L 579.34H 294.34L 1216.93H 1838.84L/Air。
[0014]优选的,所述基片中的滤光片在可见光-11200nm,12800

14500nm波段范围内绝对透过率≤1.0%;
[0015]所述滤光片在11200

11250nm,12750

12800nm波段范围内,透过率≤5.0%;
[0016]所述滤光片在11500

12500nm波段范围内,绝对透过率≥88%,平均透过率≥92%。
[0017]工作原理:在使用的时候,正面膜系1和背面膜系3对基底2起到保护作用,同时正面膜系1在基底2使用的过程中传输的峰值为高透段主峰膜系的时候,实现11500

12500nm波段高透,同时实现6500

11200nm和12800

14500nm波段高度截止,背面膜系3和基底2使用的过程中传输的峰值为可见光的时候,当可见光-6500nm前截止膜系,当基底2中的滤光片在可见光-11200nm,12800

14500nm波段范围内绝对透过率≤1.0%,当基底2中的滤光片在11200

11250nm,12750

12800nm波段范围内,透过率≤5.0%,当基底2中的滤光片在11500

12500nm波段范围内,绝对透过率≥88%,平均透过率≥92%,当基底2中的滤光片在工作波段11500

12500nm波段高透,而在可见光-6500nm波段的前截止膜系。
[0018](三)有益效果
[0019]本专利技术提供了一种工作波段为11500

12500nm的远红外带滤光片。具备以下有益效果:
[0020]1、基板在使用的时候,在正面膜系和反面膜系镀于基板上的作用下,最终得到的远红外带通滤光片的透过率曲线,波段可以在11500

12500nm中进行工作,具有较高的透过率,其他波段高度截止。
[0021]2、正面膜系可以实现11500

12500nm波段高透,同时实现6500

11200nm和12800

14500nm波段高度截止,反面膜系可以使可见光达到-6500nm前截止膜系。
[0022]3、远红外带通滤光片,在工作波段11500

12500nm内有较高的透过率,而在其他波段高度截止。
附图说明
[0023]图1为本专利技术一种工作波段为11500

12500nm的远红外带通滤光片的结构示意图;
[0024]图2为本专利技术正面膜系透过率曲线图示意图;
[0025]图3为本专利技术背面膜系透过率曲线图示意图;
672.32L 579.34H 294.34L 1216.93H 1838.84L/Air,正面膜系1可以实现11500

12500nm波段高透,同时实现6500

11200nm和12800

14500nm波段高度截止,反面膜系3可以使可见光达到-6500nm前截止膜系。
[0038]实施例三:
[0039]如图4所示,本专利技术实施例提供一种工作波段为11500

12500nm的远红外带滤光片,包括远红外带滤光片,基片2中的滤光片在可见光-11200nm,12800

14500nm波段范围内绝对透过率≤1.0%;
[0040]滤光片在11200

11250nm,12750

12800nm波段范围内,透过率≤5.0%;
[0041]滤光片在11500

12500nm波段范围内,绝对透过率≥88%,平均透过率≥92%,远红外带通滤光片,在工作波段11500

12500nm内有较高的透过率,而在其他波段高度截止。
[0042]尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工作波段为11500

12500nm的远红外带滤光片,包括正面膜系(1)、基片(2)和背面膜系(3),其特征在于:所述正面膜系(1)由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成,所述硫化锌层和锗膜层共46层;所述基片(2)为锗片,所述基片直径为20mm,所述基片厚度为1mm,所述锗基片两面抛光,两个面上分别镀制正面膜系(1)和背面膜系(2);所述背面膜系(3)由硫化锌层和锗膜层交替叠加组成,所述硫化锌层和锗膜层共76层。2.根据权利要求1所述的一种工作波段为11500

12500nm的远红外带滤光片,其特征在于:所述正面膜系(1)为高透段主峰膜系,入=12000nm,H代表锗膜层的物理厚度,L代表ZnS膜层的物理厚度。3.根据权利要求2所述的一种工作波段为11500

12500nm的远红外带滤光片,其特征在于:所述正面膜系(1)的主要构成:Sub/200.00H 165.76L 546.75H 484.74L 379.64H 581.13L 392.43H 570.42L 419.89H 590.83L 334.55H 615.23L 341.37H 600.55L 319.22H 574.20L 348.56H 578.95L 343.77H 503.72L 229.09H 477.32L 169.41H 562.28L 272.79H 415.94L 274.22H 515.25L 190.66H 499.52L 153.10H 559.69L 262.34H 466.80L 293.55H 355.93L 197.04H 473.36L 163.63H 185.15L 305.82H 205.92L 223.92H 241.73L 282.80H 269.99L 143.28H 222.65L 294.81H 270.79L201.34H 191.01L 302.41H 236.64L 142.72H 278.50L 277.75H 300.27L 155.51H 205.33L191.19H 159.56L 165.37H 255.97L 117.34H 391....

【专利技术属性】
技术研发人员:侯树军周东平侯树伟樊利花
申请(专利权)人:苏州厚朴传感科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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