本发明专利技术提供了一种单晶炉冷却装置，包括安装座、固定支撑座、滑动支撑座、伸缩壳体、对接壳体及冷却器，其中：固定支撑座固定连接在安装座上；滑动支撑座滑动连接在安装座上，滑动支撑座被配置为能够朝向或远离固定支撑座滑动；伸缩壳体的第一端连接在滑动支撑座上，伸缩壳体的第二端连接在固定支撑座上；对接壳体的第一端连接在固定支撑座上并与伸缩壳体贯通，对接壳体的第二端用于连接单晶炉的炉口；冷却器的第一端连接在滑动支撑座上并位于伸缩壳体内，滑动支撑座朝向固定支撑座滑动时，冷却器的第二端依次穿过固定支撑座及对接壳体并穿入至单晶炉内。本发明专利技术将冷却器经单晶炉的炉口推入至单晶炉的炉腔内，从而实施对单晶炉的快速冷却。炉的快速冷却。炉的快速冷却。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉冷却装置
[0001]本专利技术涉及硅棒生产领域，具体地说是一种单晶炉冷却装置。
技术介绍
[0002]目前，通常采用单晶炉来完成硅棒的拉制，每拉制完至少一根硅棒后，或对单晶炉进行检修维护时，均需要对单晶炉的炉腔进行冷却。传统的冷却方法为自然冷却，自然冷却需要耗费大量的时间，严重地影响了单晶炉的生产效率。
技术实现思路
[0003]为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种单晶炉冷却装置，其详细技术方案如下：
[0004]一种单晶炉冷却装置，包括安装座、固定支撑座、滑动支撑座、伸缩壳体、对接壳体及冷却器，其中：
[0005]固定支撑座固定连接在安装座上；
[0006]滑动支撑座滑动连接在安装座上，滑动支撑座被配置为能够朝向或远离固定支撑座滑动；
[0007]伸缩壳体的第一端连接在滑动支撑座上，伸缩壳体的第二端连接在固定支撑座上；
[0008]对接壳体的第一端连接在固定支撑座上并与伸缩壳体贯通，对接壳体的第二端用于连接单晶炉的炉口；
[0009]冷却器的第一端连接在滑动支撑座上并位于伸缩壳体内，滑动支撑座朝向固定支撑座滑动时，冷却器的第二端依次穿过固定支撑座及对接壳体并穿入至单晶炉内。
[0010]本专利技术提供的单晶炉冷却装置，其能够实现与单晶炉的炉口的对接，并将冷却器经单晶炉的炉口推入至单晶炉的炉腔内，从而实施对单晶炉的快速冷却。
[0011]在一些实施例中，单晶炉冷却装置还包括设置在安装座上的平移驱动机构，平移驱动机构用于驱动滑动支撑座朝向或远离固定支撑座滑动。
[0012]通过设置平移驱动机构，实现了对滑动支撑座的驱动，使得滑动支撑座朝向或远离固定支撑座滑动。
[0013]在一些实施例中，平移驱动机构包括沿同步带、用于支撑和驱动同步带的同步带驱动机构；滑动支撑座与同步带的一侧带体连接，滑动支撑座在同步带的带动下朝向或远离固定支撑座滑动。
[0014]提供了一种结构简单的平移驱动机构，其通过同步带带动滑动支撑座朝向或远离固定支撑座滑动。
[0015]在一些实施例中，伸缩壳体的第一端经第一连接法兰连接在滑动支撑座上，伸缩壳体的第二端经第二连接法兰连接在固定支撑座上。
[0016]通过在伸缩壳体的两端设置连接法兰，保证了伸缩壳体与滑动支撑座、固定支撑
座的稳定连接。
[0017]在一些实施例中，单晶炉冷却装置还包括设置在安装座上的用于支撑伸缩壳体的伸缩壳体支撑机构。
[0018]通过设置伸缩壳体支撑机构，实现了对伸缩壳体的支撑，防止伸缩壳体在下坠碰触到冷却器。
[0019]在一些实施例中，伸缩壳体支撑机构包括支撑架及卡箍，其中：支撑架滑动连接在安装座上，卡箍连接在支撑架上并卡箍在伸缩壳体上；伸缩壳体在滑动支撑座的带动下伸缩时，伸缩壳体支撑机构在伸缩壳体的带动下在安装座上滑动。
[0020]通过对伸缩壳体支撑机构进行设置，一方面保证了伸缩壳体支撑机构对伸缩壳体的支撑效果，另一方面实现了伸缩壳体支撑机构与伸缩壳体的随动，防止伸缩壳体支撑机构阻碍伸缩壳体的伸缩。
[0021]在一些实施例中，对接壳体的第一端经第三连接法兰连接在固定支撑座上，对接壳体的第二端设置有用于连接单晶炉的炉口的第四连接法兰。
[0022]通过在对接壳体的两端设置连接法兰，保证了对接壳体与固定支撑座、单晶炉炉口的稳定连接。
[0023]在一些实施例中，单晶炉冷却器还包括设置在安装座上的用于支撑对接壳体的对接壳体支撑机构。
[0024]通过设置对接壳体支撑机构，实现了对对接壳体的支撑，防止对接壳体下坠。
[0025]在一些实施例中，对接壳体可伸缩；对接壳体支撑机构包括气缸、安装板及卡钳，其中，气缸安装在安装座上，安装板连接在气缸的活塞杆上，卡钳安装在安装板上，对接壳体的第二端卡扣在卡钳上；气缸驱动卡钳朝向单晶炉的炉口移动时，对接壳体的第二端在卡钳的带动下与单晶炉的炉口对接，气缸驱动卡钳远离单晶炉的炉口移动时，对接壳体的第二端在卡钳的带动下与单晶炉的炉口分离。
[0026]通过将对接壳体设置为可伸缩结构，并对对接壳体支撑机构进行设置，可以调节对接壳体与单晶炉炉口之间的距离，从而保证对接壳体顺利地实现对单晶炉炉口的对接。
[0027]在一些实施例中，冷却器由一水冷管道经若干次迂回弯折形成，水冷管道的两端均穿出固定支撑座以形成冷却器的进水口及出水口。
[0028]提供了一种结构简单、冷却效果优良的冷却器，其通过循环水以实现对单晶炉的冷却。
[0029]在一些实施例中，滑动支撑座或固定支撑座上设置有充气嘴，充气嘴用于将氩气充入至单晶炉内；滑动支撑座或固定支撑座上设置有抽气嘴，抽气嘴用于抽去单晶炉内的空气。
[0030]通过在滑动支撑座或固定支撑座上设置充气嘴、抽气嘴，实现了对单晶炉炉腔的充氮或抽真空处理，防止空气污染单晶炉内部环境。
[0031]在一些实施例中，安装座的底部设置有定位销组件。定位销组件包括脚座和地座，其中，脚座上设有定位销，地座上设置有与定位销匹配的定位孔。
[0032]通过在安装座的底部设置定位销组件，可以方便地将本专利技术安装、定位至靠近单晶炉的冷却工位处。
[0033]在一些实施例中，单晶炉冷却装置还包括炉口转接机构，炉口转接机构包括转接
管道、闸板阀及水冷套，其中：转接管道的第一端连接在单晶炉的炉口上，转接管道的第二端连接对接壳体的第二端；闸板阀和水冷套设置在转接管道上，闸板阀用于打开及关闭转接管道，水冷套用于冷却转接管道。
[0034]通过设置炉口转接机构，实现了对接壳体与单晶炉炉口的快速对接。
附图说明
[0035]图1为本专利技术实施例的单晶炉换热装置与单晶炉的连接示意图；
[0036]图2为本专利技术实施例的单晶炉换热装置在省去伸缩壳体后的结构示意图；
[0037]图3为本专利技术的单晶炉换热装置在省去伸缩壳体、对接壳体后的结构示意图；
[0038]图4为本专利技术的单晶炉换热装置在省去伸缩壳体、对接壳体、固定支撑座等组件后的结构示意图；
[0039]图5为本专利技术实施例中的平移驱动机构的结构示意图；
[0040]图1至图5中包括：
[0041]安装座10、固定支撑座20、滑动支撑座30、伸缩壳体40、对接壳体50、冷却器60、伸缩壳体支撑机构70、对接壳体支撑机构80、平移驱动机构90、转接管道100、闸板阀110、水冷套120、脚座11、地座12、第一连接法兰41、第二连接法兰42、第三连接法兰51、第四连接法兰52、进水口61、出水口62、支撑架71、卡箍72、气缸81、安装板82、卡钳83、同步带驱动机构91、同步带92。
具体实施方式
[0042]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0043]采用传统的自然冷却方式对单晶炉的自然冷却，需要耗费大本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉冷却装置，其特征在于，所述单晶炉冷却装置包括安装座、固定支撑座、滑动支撑座、伸缩壳体、对接壳体及冷却器，其中：所述固定支撑座固定连接在所述安装座上；所述滑动支撑座滑动连接在所述安装座上，所述滑动支撑座被配置为能够朝向或远离所述固定支撑座滑动；所述伸缩壳体的第一端连接在所述滑动支撑座上，所述伸缩壳体的第二端连接在所述固定支撑座上；所述对接壳体的第一端连接在所述固定支撑座上并与所述伸缩壳体贯通，所述对接壳体的第二端用于连接所述单晶炉的炉口；所述冷却器的第一端连接在所述滑动支撑座上并位于所述伸缩壳体内，所述滑动支撑座朝向所述固定支撑座滑动时，所述冷却器的第二端依次穿过所述固定支撑座及所述对接壳体并穿入至所述单晶炉内。2.如权利要求1所述的单晶炉冷却装置，其特征在于，所述单晶炉冷却装置还包括设置在所述安装座上的平移驱动机构，所述平移驱动机构用于驱动所述滑动支撑座朝向或远离所述固定支撑座滑动。3.如权利要求2所述的单晶炉冷却装置，其特征在于，所述平移驱动机构包括沿同步带、用于支撑和驱动所述同步带的同步带驱动机构；所述滑动支撑座与所述同步带的一侧带体连接，所述滑动支撑座在所述同步带的带动下朝向或远离所述固定支撑座滑动。4.如权利要求1所述的单晶炉冷却装置，其特征在于，所述伸缩壳体的第一端经第一连接法兰连接在所述滑动支撑座上，所述伸缩壳体的第二端经第二连接法兰连接在所述固定支撑座上。5.如权利要求1所述的单晶炉冷却装置，其特征在于，所述单晶炉冷却装置还包括设置在所述安装座上的用于支撑所述伸缩壳体的伸缩壳体支撑机构。6.如权利要求5所述的单晶炉冷却装置，其特征在于，所述伸缩壳体支撑机构包括支撑架及卡箍，其中：所述支撑架滑动连接在所述安装座上，所述卡箍连接在所述支撑架上并卡箍在所述伸缩壳体上；所述伸缩壳体在所述滑动支撑座的带动下伸缩时，所述伸缩壳体支撑机构在所述伸缩壳体的带动下在所述安装座上滑动。7.如权利要求1所述的单晶炉冷却装置，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：周旺超，黄剑雄，
申请(专利权)人：无锡松瓷机电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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