【技术实现步骤摘要】
本申请属于单晶炉，尤其涉及一种兼容型拆装装置、单晶炉热场安装方法及单晶炉热场拆除方法。
技术介绍
1、单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用加热器将坩埚内的多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法等方式生长单晶的设备。
2、现有的单晶炉内设置有用于对坩埚内的硅液进行保温的保温层，保温层经过长时间使用后，需要进行更换。除此以外，在对单晶炉的内部结构进行维护或维修时，需要通过专用的拆装装置对单晶炉进行拆装。
3、常规的单晶炉热场拆装装置一般是采用夹手夹持住待拆目标，以实施对待拆目标的拆装。目前的单晶炉热场拆装装置的夹手只能对单晶炉的上保温盖、保温层、锅帮和坩埚进行拆装，无法对单晶炉的其他部件(比如主加热器)进行拆装，存在兼容性差的问题。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种兼容型拆装装置，以解决现有技术中用于单晶炉的拆装装置存在兼容性差的问题。另外，本申请还提供一种基于上述兼容性拆装装置的单晶炉热场安装方法及单晶炉热场拆除方法。
2、为达此目的，本申请采用以下技术方案：
3、第一方面，本申请提出了一种兼容型拆装装置，其包括周向间隔设置的n个夹持组件，每个夹持组件包括第一夹持件以及安装于第一夹持件上的第二夹持件；
4、n个夹持组件的第一夹持件配合，用于夹持单晶炉内的第一拆装目标，第一拆装目标包括上保温盖、上保温层、中保温层、下保温层、埚邦、坩埚中的至少一种；
5、n个夹持组件的第二夹持件配合，用于夹持单晶炉内
6、在每个夹持组件的第一夹持件上设置第二夹持件，通过第一夹持件实现对第一拆装目标的夹持，通过第二夹持件实现对主加热器的夹持，进而实现对第一拆装目标和主加热器的拆装，兼容性好，有利于提高拆装效率。
7、可选的，第一夹持件的下端设置有第一调节孔和第二调节孔，第二夹持件上设置有安装孔和托架；夹持组件还包括第一销轴，第一销轴穿插在第一调节孔和第二夹持件的安装孔时，第二夹持件折叠在第一夹持件的非夹持面上；第一销轴穿插在第二调节孔和第二夹持件的安装孔时，第二夹持件竖向安装在第一夹持件下方，第二夹持件的夹持面朝向主加热器；托架转动安装于第二夹持件的夹持面上。
8、通过第一销轴、第一调节孔、第二调节孔和安装孔的配合，将第二夹持件折叠在第一夹持件的非夹持面上或打开至工作状态，通过第二夹持件和托架的配合，实现了对主加热器的可靠夹持固定，整体结构简洁、紧凑，易于实现，稳定可靠。
9、可选的，托架包括至少一个滚动件，n个第二夹持件的滚动件配合以调整主加热器的周向位置。
10、通过在托架上设置滚动件，n个第二夹持件的滚动件配合有助于在拆装主加热器时，对主加热器进行一定幅度的旋转，便于主加热器的电极脚与炉底盘上的安装孔对齐，有助于提高主加热器的拆装效率。
11、可选的，每个夹持组件还包括第三夹持件，第三夹持件安装于第二夹持件的底端，n个第三夹持件配合以夹持单晶炉内的埚托。
12、在第二夹持件上设置第三夹持件，通过第一夹持件和第二夹持件实现对第一拆装目标和主加热器进行夹持，通过第三夹持件实现对埚托的进行夹持，进而实现对第一拆装目标、主加热器和埚托拆装，进一步提高拆装装置的兼容性。
13、可选的，每个夹持组件还包括第四夹持件，第二夹持件的下端设置有第一配合孔和第二配合孔，第四夹持件上设置有第三调节孔和第四调节孔；夹持组件还包括第二销轴，第二销轴穿插在第三调节孔和第一配合孔时，第四夹持件折叠在第二夹持件的非夹持面上；第二销轴穿插在第三调节孔和第二配合孔时，第四夹持件水平安装在第二夹持件下方，第四夹持件的向上的夹持面朝向托杆轴；第二销轴穿插在第四调节孔和第二配合孔时，第四夹持件竖直安装在第二夹持件的下端。
14、在第二夹持件上设置第四夹持件，通过第一夹持件和第二夹持件对第一拆装目标、主加热器进行夹持，通过第四夹持件能够对托杆轴的进行夹持，进而实现对第一拆装目标、主加热器和托杆轴的拆装，进一步提高拆装装置的兼容性；通过第二销轴、第三调节孔、第四调节孔、第一配合孔和第二配合孔的配合，实现了将第四夹持件折叠在第二夹持件的非夹持面上或展开至水平工作状态，整体结构简洁、紧凑，易于实现，稳定可靠。
15、可选的，第四夹持件设置有限位块，n个第四夹持件上的限位块配合以对夹持的托干轴进行限位。
16、通过在第四夹持件上设置限位块，在夹持托杆轴时可以对托杆轴进行定位，使n个第四夹持件能够均匀的夹持托杆轴，以保证夹持的稳定性和可靠性。
17、可选的，第四夹持件包括第一连杆和第二连杆，第一连杆的第一端安装于第二夹持件的底端，第二连杆可翻转地安装于第一连杆的第二端上，限位块安装于第二连杆上；第二销轴穿插在第三调节孔和第二配合孔时，第二连杆翻转至与第一连杆平行。
18、通过第一连杆和第二连杆的配合，使得第四夹持件能够沿水平方向伸入托杆轴的托板的下方，以实现对托杆轴的夹持支撑，提供了一种结构紧凑、易于实现和夹持稳定可靠的第四夹持件。
19、可选的，第四夹持件远离第二夹持件的一端上设置有挂钩，第二销轴穿插在第四调节孔和第二配合孔时，n个第四夹持件上的挂钩配合以对单晶炉内的底部热结构进行夹持。
20、在第四夹持件上设置挂钩，通过挂钩实现对底部热结构的夹持，进而实现拆装装置对第一拆装目标、主加热器、托杆轴及底部热结构的拆装，进一步提高拆装装置的兼容性。
21、可选的，兼容型拆装装置还包括移载机构、安装架、相机和驱动机构，安装架安装于移载机构的驱动端上，n个夹持组件周向间隔安装于安装架上，相机安装于安装架上且位于n个夹持组件的中心位置；驱动机构安装于安装架上，驱动机构用于驱动n个夹持组件相互靠近或远离；移载机构用于驱动安装架升降、平移或旋转。
22、通过驱动机构和n个夹持组件的配合，实现了对待拆装目标的夹持支撑，通过移载机构和安装架的配合，实现了对夹持后的拆装目标的移载，进而实现了对待拆装目标的拆装操作，通过相机在拆装前对待拆装目标的圆心进行定位，以保证夹持的准确度。
23、第二方面，本申请提出了一种单晶炉热场安装方法，其采用上述的兼容型拆装装置，其中，单晶炉热场安装方法包括：
24、利用n个夹持组件的第一夹持件配合以夹持下保温层，将下保温层安装至单晶炉的炉底盘上；
25、利用n个夹持组件的第二夹持件配合以夹持主加热器，将主加热器安装至单晶炉的炉底盘上；
26、利用n个夹持组件的第一夹持件配合以依次夹持并向单晶炉内安装中保温层、埚邦和坩埚、上保温层和上保温盖。
27、本申请提出的单晶炉热场安装方法中，采用了本申请提出的兼容型拆装装置依次对单晶炉的下保温层，主加热器、中保温层、埚邦和坩埚、上保温层和上保温盖进行安装，便于安装；同时在安装过程中，通过n个夹持组件即能实现对下保温层，主加热器、中保温层、埚邦和坩埚、上保温层和上保温盖的夹本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种兼容型拆装装置，其特征在于，所述兼容型拆装装置包括周向间隔设置的n个夹持组件，每个夹持组件包括第一夹持件以及安装于所述第一夹持件上的第二夹持件；
2.根据权利要求1所述的兼容型拆装装置，其特征在于，所述第一夹持件的下端设置有第一调节孔和第二调节孔，所述第二夹持件上设置有安装孔和托架；
3.根据权利要求2所述的兼容型拆装装置，其特征在于，所述托架包括至少一个滚动件，n个第二夹持件的滚动件配合以调整主加热器的周向位置。
4.根据权利要求1所述的兼容型拆装装置，其特征在于，每个夹持组件还包括第三夹持件，所述第三夹持件安装于所述第二夹持件的底端，n个第三夹持件配合以夹持单晶炉内的埚托。
5.根据权利要求1所述的兼容型拆装装置，其特征在于，每个夹持组件还包括第四夹持件，所述第二夹持件的下端设置有第一配合孔和第二配合孔，所述第四夹持件上设置有第三调节孔和第四调节孔；
6.根据权利要求5所述的兼容型拆装装置，其特征在于，所述第四夹持件设置有限位块，n个第四夹持件上的限位块配合以对夹持的托杆轴进行限位。
7.根据权利
8.根据权利要求5所述的兼容型拆装装置，其特征在于，所述第四夹持件远离所述第二夹持件的一端上设置有挂钩，所述第二销轴穿插在所述第四调节孔和所述第二配合孔时，n个第四夹持件上的挂钩配合以对单晶炉内的底部热结构进行夹持。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的兼容型拆装装置，其特征在于，所述兼容型拆装装置还包括移载机构、安装架、相机和驱动机构，所述安装架安装于所述移载机构的驱动端上，所述n个夹持组件周向间隔安装于所述安装架上，所述相机安装于所述安装架上且位于所述n个夹持组件的中心位置；
10.一种单晶炉热场安装方法，其特征在于，所述单晶炉热场安装方法采用如权利要求1-3中任一项所述的兼容型拆装装置，其中，所述单晶炉热场安装方法包括：
11.根据权利要求10所述的单晶炉热场安装方法，其特征在于，所述单晶炉热场安装方法采用如权利要求5-7中任一所述的兼容型拆装装置，在将所述主加热器安装至单晶炉的炉底盘上之前，所述单晶炉热场安装方法还包括：
12.根据权利要求11所述的单晶炉热场安装方法，其特征在于，所述单晶炉热场安装方法采用如权利要求4所述的兼容型拆装装置，在将所述主加热器安装至单晶炉的炉底盘上之后，所述单晶炉热场安装方法还包括：
13.根据权利要求10所述的单晶炉热场安装方法，其特征在于，所述单晶炉热场安装方法采用如权利要求8或9所述的兼容型拆装装置，在利用n个夹持组件的第一夹持件配合以夹持下保温层之前，所述单晶炉热场安装方法还包括：
14.一种单晶炉热场拆除方法，其特征在于，所述单晶炉热场拆除方法采用如权利要求1-3中任一项所述的兼容型拆装装置，所述单晶炉热场拆除方法包括：
15.根据权利要求14所述的单晶炉热场拆除方法，其特征在于，所述单晶炉热场拆除方法采用如权利要求4所述的兼容型拆装装置，在将所述主加热器从单晶炉的炉底盘上拆除之前，所述单晶炉热场拆除方法还包括：
16.根据权利要求14所述的单晶炉热场拆除方法，其特征在于，所述单晶炉热场拆除方法采用如权利要求5-7中任一项所述的兼容型拆装装置，在将所述主加热器从单晶炉的炉底盘上拆除之后，所述单晶炉热场拆除方法还包括：
17.根据权利要求14所述的单晶炉热场拆除方法，其特征在于，所述单晶炉热场拆除方法采用如权利要求8或9所述的兼容型拆装装置，在利用n个夹持组件的第一夹持件配合以夹持下保温层，将所述下保温层从单晶炉的炉底盘上拆除之后，所述单晶炉热场拆除方法还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种兼容型拆装装置，其特征在于，所述兼容型拆装装置包括周向间隔设置的n个夹持组件，每个夹持组件包括第一夹持件以及安装于所述第一夹持件上的第二夹持件；
2.根据权利要求1所述的兼容型拆装装置，其特征在于，所述第一夹持件的下端设置有第一调节孔和第二调节孔，所述第二夹持件上设置有安装孔和托架；
3.根据权利要求2所述的兼容型拆装装置，其特征在于，所述托架包括至少一个滚动件，n个第二夹持件的滚动件配合以调整主加热器的周向位置。
4.根据权利要求1所述的兼容型拆装装置，其特征在于，每个夹持组件还包括第三夹持件，所述第三夹持件安装于所述第二夹持件的底端，n个第三夹持件配合以夹持单晶炉内的埚托。
5.根据权利要求1所述的兼容型拆装装置，其特征在于，每个夹持组件还包括第四夹持件，所述第二夹持件的下端设置有第一配合孔和第二配合孔，所述第四夹持件上设置有第三调节孔和第四调节孔；
6.根据权利要求5所述的兼容型拆装装置，其特征在于，所述第四夹持件设置有限位块，n个第四夹持件上的限位块配合以对夹持的托杆轴进行限位。
7.根据权利要求6所述的兼容型拆装装置，其特征在于，所述第四夹持件包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的第一端安装于所述第二夹持件的底端，所述第二连杆可翻转地安装于所述第一连杆的第二端上，所述限位块安装于所述第二连杆上；
8.根据权利要求5所述的兼容型拆装装置，其特征在于，所述第四夹持件远离所述第二夹持件的一端上设置有挂钩，所述第二销轴穿插在所述第四调节孔和所述第二配合孔时，n个第四夹持件上的挂钩配合以对单晶炉内的底部热结构进行夹持。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的兼容型拆装装置，其特征在于，所述兼容型拆装装置还包括移载机构、安装架、相机和驱动机构，所述安装架安装于所述移载机构的驱动端上，所述n个夹持组件周向间隔安装于所述安装架上，所述相机安装于所述安装架上且位于...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡松瓷机电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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