陶瓷加热器及其制造方法技术

本发明专利技术关于一种具有更高可靠性的陶瓷加热器，该陶瓷加热器包括：加热器主体，具有网状高频电极以及与该高频电极的下表面接触的电极杆连接件；以及加热器支撑单元，其被架设于该加热器主体的下部上并被设定用以支撑该加热器主体，其中该电极杆连接件与该高频电极的一个表面面接触。一个表面面接触。一个表面面接触。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】陶瓷加热器及其制造方法


[0001]本专利技术关于一种陶瓷加热器及其制造方法，更特别地，本专利技术关于可靠性提升的陶瓷加热器及其制造方法。

技术介绍

[0002]一般来说，半导体装置或显示设备在玻璃基板、软性基板，或半导体晶圆基板上顺序地层压和图案化包括电介质层和金属层等多个薄膜层制造而成。这些薄膜层通过化学气相沉积(CVD)工艺或物理气相沉积(PVD)工艺而被顺序地沉积在基板上。CVD工艺的范例包括低压化学气相沉积(LPCVD)工艺、电浆增强化学气相沉积(PECVD)工艺、金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺，或其类似者。
[0003]在CVD和PVD工艺中，设置加热器以支撑玻璃基板、软性基板，或者半导体晶圆基板，并向玻璃基板、软性基板，或者半导体晶圆基板施加预定的热量。加热器还用于在蚀刻形成在支撑基板上的薄膜层的工艺，以及烧制光阻的工艺中加热基板。作为安装在用于CVD和PVD工艺设备中的加热器，陶瓷加热器被广泛用于达成精确的温度控制，半导体组件的精细布线，以及半导体晶圆基板的精确热处理。
[0004]图1a所示为在现行技术中的陶瓷加热器的组态图。如图1a所示，在半导体制造过程中，陶瓷加热器(ceramic heater)1用于支撑像是晶圆(wafer)的基板并将基板加热至处理温度，举例来说，可用来执行CVD或PVD工艺的温度。
[0005]在现行技术中的陶瓷加热器1包括具有圆形平板结构的陶瓷主体(ceramic main body)10，以及安装在该陶瓷主体10下的陶瓷支撑单元(ceramic support unit)20。在此，陶瓷主体10包括高频电极(high
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frequency electrode或接地电极(ground electrode))11，其被设定用以在产生电浆时将陶瓷加热器1的充电电流排放至接地，加热组件(heating element)13被设定用以产生用于加热基板的热能，电气连接该高频电极11与接地杆(ground rod)21的第一杆连接件(first rod connecting member)12，以及电气连接该加热组件13与加热组件杆23的第二杆连接件(second rod connecting member)14。该陶瓷支撑单元20包括：接地杆21，其被设定用以将该高频电极11连接至地面；以及该加热组件杆23被设定用以连接该加热组件13至外部电源(图中未显示)。
[0006]嵌入在陶瓷加热器1中的高频电极11由具有高熔点并且可以用作电浆接地的金属材料制成。一般来说，高频电极11以具织物形状的网眼形式制造，其中，在垂直方向上布置由钼(Mo)制成的金属线与在水平方向上布置由钼(Mo)制成的金属线彼此相交。第一杆连接件12与网眼状高频电极11的一个面接触。
[0007]然而，如图1b所示，在先前技术中的陶瓷加热器1的高频电极11与第一杆连接件12的接触表面点接触。也就是说，由钼金属制成的(圆形)金属线构成的高频电极11与第一杆连接件12的接触面点接触。由于该点接触造成接触电阻大幅增加，并且在接触点处产生预计的热量，因此导致缺陷，例如在高频电极11和第一杆连接件12之间形成裂纹。
[0008]近来，由于要逐渐增加使用的频率以增加半导体工艺的生产量，因此必须快速移
动累积在电介质材料中的电荷。因此，有需要将高频电极11与第一杆连接件12之间的接触电阻最小化。

技术实现思路

[0009](一)要解决的技术问题
[0010]本专利技术的一个目的是解决上述问题及其他问题。本专利技术的另一个目的是提供一种具更高可靠性的陶瓷加热器及其制造方法。
[0011]本专利技术的又一个目的是提供一种陶瓷加热器，其中电极杆连接件与高频电极的一个表面面接触，并提供陶瓷加热器的制造方法。
[0012](二)技术方案
[0013]为了达成以上目的，本专利技术的一个型态提供了一种陶瓷加热器，其包括：加热器主体，具有网状高频电极以及与该高频电极的下表面接触的电极杆连接件；以及加热器支撑单元，其被架设于该加热器主体的下部上并被设定用以支撑该加热器主体，其中该电极杆连接件与该高频电极的一个表面面接触。
[0014]更特别地，该高频电极由沿第一方向布置的多条金属线与沿第二方向布置的多条金属线彼此垂直相交所形成。此外，该高频电极具有与该电极杆连接件面接触的水平截面部。此外，该高频电极与该电极杆连接件之间的接触面积等于或大于预定临界值。
[0015]更特别地，水平截面部通过对该高频电极的一个表面进行加工而形成的。在此，通过加工该高频电极的一个表面而去除的部分的厚度为该高频电极的总厚度的1/5至1/2。此外，抛光或滚轧作为加工该高频电极的一个表面的方法。
[0016]更特别地，该水平截面部形成于与该电极杆连接件的位置对应的位置。此外，该电极杆连接件通过硬焊工艺而附接至与该高频电极的水平截面部。另外，该水平截面部等于或大于该电极杆连接件的接触表面的一面积。
[0017](三)有益效果
[0018]根据本专利技术的至少一个示范实施例，高频电极的一个表面被加工，因此高频电极与电极杆连接件彼此面接触地耦合，使得高频电极与电极杆连接件之间的接触电阻可以减少，其结果是可以提高陶瓷加热器的可靠性。
[0019]根据本专利技术的至少一个示范实施例，不需要使用真空黏合剂来耦合高频电极与电极杆连接件，以预防电极杆在陶瓷加热器的烧结制造过程移动。因此，可以有效地预防由于使用真空黏合剂造成电阻局部增加。
[0020]然而，根据本专利技术示范实施例的陶瓷加热器与陶瓷加热器制造方法所能产生的功效，并不限于上述效果，而通过先前的描述，熟悉此技艺者也可清楚了解到其他的功效。
附图说明
[0021]图1a所示为先前技术中的陶瓷加热器的组态图；
[0022]图1b所示为图1a的A部分的放大图；
[0023]图2所示为根据本专利技术的示范实施例的陶瓷加热器的外形的透视图；
[0024]图3所示为根据本专利技术的示范实施例的陶瓷加热器的组态的剖视图；
[0025]图4所示为图3的B部分的放大图；
[0026]图5用于说明构成图3所示的陶瓷加热器的加热器主体的制造方法的流程图；
[0027]图6用于说明构成图3所示的陶瓷加热器的加热器主体的制造方法的视图；以及
[0028]图7a至图7d所示为说明根据本专利技术示范实施例的陶瓷成型体的制造方法的视图。
具体实施方式
[0029]以下将参照附图详细描述在本说明书中揭示的示范实施例。不论参考标号为何，相同或相似的组成组件被指派有相同的标号，并不再赘述。在根据本专利技术的示范实施例的以下描述中，将一层(或膜)、区域、图案，或者结构形成在另一基板「上」或「之下」时，另一层(或膜)、另一个区域，另一个焊垫，或其他图案，可以「直接」或「间接」在另一个基板、层(或膜)、区域、焊垫，或另一图案上，或其中也可有一个或多个中间层。在该层上/之上或下/之下的位置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种陶瓷加热器，包含：加热器主体，具有网状高频电极以及与所述高频电极的下表面接触的电极杆连接件；以及加热器支撑单元，其被架设于所述加热器主体的下部上并被设定用以支撑所述加热器主体，其中所述电极杆连接件与所述高频电极的一个表面面接触。2.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，其中所述高频电极由沿第一方向布置的多条金属线与沿第二方向布置的多条金属线彼此垂直相交所形成。3.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，其中所述高频电极具有与所述电极杆连接件面接触的水平截面部。4.根据权利要求3所述的陶瓷加热器，其中所述水平截面部通过对所述高频电极的一个表面进行加工而形成。5.根据权利要求4所述的陶瓷加热器，其中...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡济浩，
申请(专利权)人：美科陶瓷科技有限公司，
类型：发明
国别省市：