静电吸盘制造技术

本发明专利技术涉及一种静电吸盘，本发明专利技术的静电吸盘，包括：基底基材，静电吸盘板，作为固定在所述基底基材上的静电吸盘板，内部具有电极，以及电极部，位于所述基底基材的孔，以向所述电极供给电力；所述电极部可包括：壳体，插入所述基底基材的孔，电极棒，贯穿所述壳体内壁，并且一侧端部与所述电极接触，以及弹性支撑体，在所述壳体内壁的多个点处支撑所述电极棒。所述壳体内壁的多个点处支撑所述电极棒。所述壳体内壁的多个点处支撑所述电极棒。

【技术实现步骤摘要】
静电吸盘


[0001]本专利技术涉及一种静电吸盘，尤其，涉及一种静电吸盘，其具有用于提高高温耐久性的电极部的端子连接结构。

技术介绍

[0002]半导体器件或显示器件是通过化学气相沉积(Chemical vapor deposition，CVD)工艺、物理气相沉积(Physical vapor deposition，PVD)工艺、离子注入工艺(Ion implantation)、蚀刻工艺(Etch process)等的半导体工艺在玻璃基板、柔性基板或半导体晶片基板等上堆叠和图案化包括介电层和金属层的多个薄膜层来制造。用于执行这种半导体工艺的腔室装置设置有静电吸盘(Electro Static Chuck，ESC)，所述静电吸盘用于支撑如玻璃基板、柔性基板和半导体晶片基板等各种基板，尤其通过使用静电力来固定上述基板或进行等离子处理。
[0003]图1A示出一般的静电吸盘的电极部的结构。
[0004]参照图1A，在一般的静电吸盘中，上部板1和下部板2通过如硅酮或环氧基的粘合剂5粘合，并且为了向埋设在上部板1中的电极10供电，电极棒20贯穿下部板2与电极10电连接。为此，电极10和电极棒20通过填料30焊接或钎焊。
[0005]图1B是用于说明一般的静电吸盘的电极部电极连接面上产生剪切应力的图。
[0006]参照图1B，一般的静电吸盘的电极部具有如下问题，在进行如上所述的半导体工艺的过程中，根据需求，可能会暴露在100℃以上的高温环境，此时，在电极10和电极棒20通过填料30连接的表面上，由于两侧材料的热膨胀系数差而产生剪切应力，导致填料30的开裂或断开，从而导致电连接失败，甚至断开电连接。

技术实现思路

[0007]要解决的技术问题
[0008]因此，本专利技术为了解决上述问题而提出，本专利技术的目的在于提供一种静电吸盘，所述静电吸盘能够防止电极部中的用于供给电力的电极棒在连接面处由于剪切应力导致的电连接断开，所述连接面为所述电极棒与静电吸盘板中的电极连接的面，并且能够保持稳定的电连接。
[0009]解决问题的手段
[0010]首先，总结本专利技术的特征，根据用于实现上述目的的本专利技术的一个方面的静电吸盘，包括：基底基材，静电吸盘板，作为固定在所述基底基材上的静电吸盘板，内部具有电极，以及电极部，位于所述基底基材的孔，以向所述电极供给电力；所述电极部可包括：壳体，插入所述基底基材的孔，电极棒，贯穿所述壳体内壁，并且一侧端部与所述电极接触，以及弹性支撑体，在所述壳体内壁多个点处支撑所述电极棒。
[0011]所述电极部包括支撑部，在所述壳体内壁作为所述弹性支撑体容纳多个球弹簧；所述支撑部可包括多个球弹簧，所述球弹簧沿圆周设置，并向中心方向施加弹力。
[0012]所述电极棒可包括接触部，通过螺纹连接结合到所述一侧端部，以便与所述电极接触。
[0013]所述电极棒在另一侧端部还包括直径大于所述通孔的头部，所述壳体可包括：第一壳体部，具有第二通孔，供所述支撑部和所述电极棒的头部设置；以及第二壳体部，具有第三通孔，供所述接触部穿过，并且与所述第一壳体部结合。
[0014]所述第一壳体部和所述第二壳体部可以通过螺纹连接结合。
[0015]所述支撑部包括用于放置所述多个球弹簧的相应槽部，放置在所述槽部的各球弹簧可包括：弹簧，一侧支撑在各槽部的底面的，以及球，结合在所述弹簧的另一侧。
[0016]所述支撑部可以是圆筒形或多边筒形。
[0017]专利技术效果
[0018]在根据本专利技术的静电吸盘100中，在电极部500中，用于供给电力的电极棒520和与其结合的接触部530通过如多个球弹簧511的弹性支撑体接收弹力并被支撑，如图2B所示，在电极部500中，即使电极棒520和接触部530由于连接面处的剪切应力在水平方向产生轻微的移动，也能够防止用于供给电力的电极320与接触部530之间的电连接断开并保持稳定的电连接，所述连接面为陶瓷材料的静电吸盘板300中的电极320和接触部530通过物理力连接的面。
[0019]另外，通过引入根据本专利技术的静电吸盘100结构，能够防止电极部500中的电连接在高温和低温的热循环反复的半导体工艺的蚀刻工艺中断开，并且这种稳定的电连接结构可以提高静电吸盘的寿命。
附图说明
[0020]为了帮助理解本专利技术，作为详细说明的一部分包括的附图提供本专利技术的实施例，并且与详细说明一起说明本专利技术的技术思想。
[0021]图1A示出一般的静电吸盘的电极部的结构。
[0022]图1B是用于说明一般的静电吸盘的电极部电极连接面上产生剪切应力的图。
[0023]图2A是本专利技术一实施例的静电吸盘的简化剖面图和电极部的放大图。
[0024]图2B是用于说明本专利技术一实施例的静电吸盘的电极部电极连接面上产生剪切应力的图。
[0025]图3A至图3D是用于说明本专利技术一实施例的静电吸盘的电极部的结合顺序的图。
[0026]图4是用于说明本专利技术一实施例的静电吸盘的电极部的具有球弹簧的板的图。
[0027]附图标记说明
[0028]100：静电吸盘
[0029]200：基底基材
[0030]300：静电吸盘板
[0031]320：电极
[0032]330：介电层
[0033]500：电极部
[0034]510：支撑部
[0035]511：球弹簧
[0036]530：接触部
[0037]610：第一壳体部
[0038]620：第二壳体部
具体实施方式
[0039]以下，参照附图，对本专利技术进行详细说明。此时，每个附图中相同的构成要素尽可能用相同的附图标记表示。另外，将省略对已知的功能和/或构成的说明。以下公开的内容，将主要说明理解多种实施例的操作所需的部分，并且省略可能使说明的主旨模糊的要素的说明。另外，附图中的一部分构成要素可能会放大、省略或示意性地示出。每个构成要素的大小不能完全反映实际大小，因此，这里记载的内容不受每个附图中示出的构成要素的相对大小或间距的限制。
[0040]在对本专利技术的实施例进行说明时，如果判断对与本专利技术相关的已知技术的具体说明不必要地模糊本专利技术的主旨时，将省略其详细说明。并且，后述的术语是考虑到本专利技术的功能而定义的术语，可以根据使用者、操作者的意图或判例而有所不同。因此，其定义应基于整个说明书的内容进行。本说明书中所使用的术语，仅仅是为了说明本专利技术的实施例而使用的，并不是用来限定。除非另有说明，单数表述应包括复数表述。本说明书中的“包括”或“具有”等表述，是用于指任意特征、数字、步骤、动作、构件或它们的组合，不应理解为排除一个以上的其他特征、数字、步骤、动作、构件或它们的组合的存在或附加可能性。
[0041]另外，第一、第二等术语虽然可以用来说明各种构成要素，但所述构成要素不限定于所述术语。所述术语仅用于区分一个构成要素与另一构成要素。
[0042]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电吸盘，其中，包括：基底基材，静电吸盘板，作为固定在所述基底基材上的静电吸盘板，内部具有电极，以及电极部，位于所述基底基材的孔，以向所述电极供给电力；所述电极部，包括：壳体，插入所述基底基材的孔，电极棒，贯穿所述壳体内壁，并且一侧端部与所述电极接触，以及弹性支撑体，在所述壳体内壁以多个点支撑所述电极棒；所述弹性支撑体沿所述壳体内壁的圆周以多个点向所述电极棒施加向中心方向的弹力。2.根据权利要求1所述的静电吸盘，其中，所述电极部包括支撑部，在所述壳体内壁作为所述弹性支撑体容纳多个球弹簧；所述支撑部包括多个球弹簧，所述球弹簧沿圆周设置，并向中心方向施加弹力。3.根据权利要求2所述的静电吸盘，其中，所述电极棒包括接触部，通过螺纹连接而结合到...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵美娜，朴重现，
申请(专利权)人：美科陶瓷科技有限公司，
类型：发明
国别省市：