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静电吸盘制造技术
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文档序号:37842217
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本发明涉及一种静电吸盘,本发明的静电吸盘,包括:基底基材,静电吸盘板,作为固定在所述基底基材上的静电吸盘板,内部具有电极,以及电极部,位于所述基底基材的孔,以向所述电极供给电力;所述电极部可包括:壳体,插入所述基底基材的孔,电极棒,贯穿所述...
该专利属于美科陶瓷科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美科陶瓷科技有限公司授权不得商用。
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