硅片悬浮传输机构制造技术

技术编号:33053502 阅读:41 留言:0更新日期:2022-04-15 09:39
本实用新型专利技术涉及一种硅片悬浮传输机构,包括悬浮载台,所述悬浮载台的一侧表面设有多个气孔,以通过所述气孔往外吹出气体和/或将气体抽吸进所述悬浮载台内,以使硅片悬浮于所述悬浮载台设有所述气孔的一侧;所述悬浮载台上设有限位机构,所述限位机构具有可活动的止挡件,所述止挡件能够活动至从所述硅片远离所述悬浮载台的一侧挡住所述硅片的边缘部分。本实用新型专利技术提供的硅片悬浮传输机构,通过设置气孔实现了硅片在悬浮载台一侧表面的悬浮,通过设置限位机构,且限位机构具有可活动的止挡件,可从硅片远离悬浮载台的一侧拦住硅片,从而使得硅片能够始终悬浮在悬浮载台设有气孔的一侧。如此,可降低对气浮控制的要求。可降低对气浮控制的要求。可降低对气浮控制的要求。

【技术实现步骤摘要】
硅片悬浮传输机构


[0001]本技术涉及太阳能电池生产设备
,特别是涉及一种硅片悬浮传输机构。

技术介绍

[0002]硅片是太阳能电池的基础元件,在生产制造太阳能电池时,通常需要将硅片从一个位置转移到另一个位置。其中,硅片通常放置在花篮中进行制绒工序,制绒完成后硅片需要转移到载板中进行镀膜工序,因此,硅片完成制绒工序后需要从花篮转移到载板中。通常,硅片从花篮中取出后放置到皮带上,通过皮带进行输送,之后再通过其他移载机构将硅片移载到载板上。然而,通过皮带输送的方式移载硅片时,由于硅片直接放置在皮带上,因此硅片的下表面容易粘上皮带印痕或者皮带上的污渍,从而影响硅片的质量。为此,有人提出采用气浮的方式承载硅片,然而气浮的方式容易将硅片吹跑或者吹偏,对气浮的控制要求较高。

技术实现思路

[0003]有鉴于此,有必要提供一种硅片悬浮传输机构,通过气浮的方式承载硅片,并且能够降低对气浮的控制要求。
[0004]本技术提供一种硅片悬浮传输机构,包括悬浮载台,所述悬浮载台的一侧表面设有多个气孔,以通过所述气孔往外吹出气体和/或将气体抽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片悬浮传输机构,其特征在于,包括悬浮载台(100),所述悬浮载台(100)的一侧表面设有多个气孔(101),所述气孔(101)往外吹出气体和/或将气体抽吸进所述悬浮载台(100)内,以使硅片(900)悬浮于所述悬浮载台(100)设有所述气孔(101)的一侧;所述悬浮载台(100)上设有限位机构(200),所述限位机构(200)具有可活动的止挡件(210),所述止挡件(210)能够活动至从所述硅片(900)远离所述悬浮载台(100)的一侧挡住所述硅片(900)的边缘部分。2.根据权利要求1所述的硅片悬浮传输机构,其特征在于,所述悬浮载台(100)上设有挡边部(110),所述挡边部(110)围成用于容置硅片(900)的容置槽(102),所述限位机构(200)设于所述挡边部(110)上,且所述止挡件(210)能够转动至挡住硅片(900)的边缘部分。3.根据权利要求2所述的硅片悬浮传输机构,其特征在于,所述止挡件(210)包括偏心轮部(211)以及挡板部(212),所述偏心轮部(211)连接有转轴(213),所述止挡件(210)通过所述转轴(213)可转动地安装于所述挡边部(110),所述挡板部(212)连接于所述偏心轮部(211)一侧且朝向所述容置槽(102)延伸,所述挡板部(212)用于挡住硅片(900)的边缘部分。4.根据权利要求3所述的硅片悬浮传输机构,其特征在于,所述止挡件(210)具有将硅片(900)限制在所述容置槽(102)内的限位状态和允许硅片(900)移入或移出所述容置槽(102)的开放状态;当所述止挡件(210)处于限位状态时,所述挡板部(212)远离所述偏心轮部(211)的一端在所述悬浮载台(100)上的投影位于所述容置槽(102)内;当所述止挡件(210)处于开放状态时,所述挡板部(212)远离所述偏心轮部(211)的一端在所述悬浮载台(100)上的投影位于所述容置槽(102)外。5.根据权利要求4所述的硅片悬浮传输机构,其特征在于,所述挡边部(110)上对应所述偏心轮部(211)开设有置物槽(111),所述限位机构(200)还包括顶杆(220)、第一磁铁(250)以及第二磁铁(260);所述顶杆(220)可活动地设于所述置物槽(111)内,所述顶杆(220)能够朝靠近或远离所述偏心轮部(211)的方向移动;所述第一磁铁(250)设于所述顶杆(220)朝向所述偏心轮部(211)的一端,所述第二磁铁(260)设于所述偏心轮部(211)远离所述挡板部(212)的一侧,所述第一磁铁(250)与所述第二磁铁(260)之间相互吸引,当所述顶杆(220)朝靠近所述顶杆(220)的方向移动时,所述顶杆(220)抵推所述偏心轮部(211)以使所述止挡件(210)沿第一方向转动;当所述顶杆(220)朝远离所述偏心轮部(211)的方向移动时,所述第一磁铁(250)与所述第二磁铁(260)之间的引力作用...

【专利技术属性】
技术研发人员:许明现蔡涔谷士斌胡林马胜涛张杜超洪昀
申请(专利权)人:东方日升常州新能源有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1