一种体声波谐振装置的形成方法制造方法及图纸

一种体声波谐振装置的形成方法，包括：形成第一层，包括：提供第一基底；形成压电层，位于第一基底上；形成第一电极层，位于压电层上；形成空腔预处理层，位于压电层上，用于形成空腔，空腔预处理层至少覆盖第一电极层的第一端，其中，第一层的第一侧对应第一基底侧，第一层的第二侧对应空腔预处理层侧(S201)；形成第二层，包括：提供第二基底(S203)；连接第一层和第二层，其中，第二层位于第二侧(S205)；去除第一基底，第一侧对应压电层侧(S207)；形成第二电极层，位于第一侧，接触压电层(S209)；以及去除第二层(S213)。如此，压电层不包括明显转向的晶体，从而有助于提高谐振装置的机电耦合系数以及谐振装置的Q值。此外，去除第二基底可以消除其造成的电学损耗。消除其造成的电学损耗。消除其造成的电学损耗。消除其造成的电学损耗。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宇浩，
申请(专利权)人：常州承芯半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：