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一种体声波谐振装置的形成方法，包括：形成第一层，包括：提供第一基底；形成压电层，位于第一基底上；形成第一电极层，位于压电层上；形成空腔预处理层，位于压电层上，用于形成空腔，空腔预处理层至少覆盖第一电极层的第一端，其中，第一层的第一侧对应第一...
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