【技术实现步骤摘要】
一种五氟化磷气体纯化用洗涤塔
[0001]本技术涉及五氟化磷气体洗涤设备
,特别涉及一种五氟化磷气体纯化用洗涤塔。
技术介绍
[0002]五氟化磷是一种磷卤化合物,在常温下无色有刺激性臭味的气体,五氟化磷作为一种氟化物,用途很广,可以作为氟化剂,等离子刻蚀,离子注入,聚合反应催化剂,电子气等,特别是近十年以来,由于锂离子电池产业的快速发展,作为它的相关产业五氟化磷的生产必然会引起人们的极大兴趣,因为它是合成六氟磷酸锂的重要原料。
[0003]现有的五氟化磷气体纯化用洗涤塔,对五氟化磷气体洗涤处理时不便五氟化磷气体均匀进入到液态无水氟化氢内,并不便对洗涤塔体内部下端进行冷却降温处理,降低了液态无水氟化氢对五氟化磷气体去除杂质以及降温的效率。
技术实现思路
[0004]本技术针对以上问题,提出一种五氟化磷气体纯化用洗涤塔来解决上述问题。
[0005]本技术是这样实现的,一种五氟化磷气体纯化用洗涤塔,包括洗涤塔体和进气管,所述洗涤塔体的上下两端分别连通有出气管和出液管,所述出液管的外侧壁连通有输送 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种五氟化磷气体纯化用洗涤塔,其特征在于,包括:洗涤塔体(1)和进气管(2),所述洗涤塔体(1)的上下两端分别连通有出气管(101)和出液管(102),所述出液管(102)的外侧壁连通有输送管(105),所述输送管(105)的外侧壁安装有第一循环泵(108),所述输送管(105)的另一端贯穿洗涤塔体(1)并延伸至洗涤塔体(1)的内部,延伸至洗涤塔体(1)内的输送管(105)的外侧壁安装有多个喷淋头(109),所述洗涤塔体(1)的内部底端盛放有液态无水氟化氢(3),所述进气管(2)的另一端贯穿洗涤塔体(1)并延伸至液态无水氟化氢(3)的内部,所述进气管(2)的另一端连通有圆盘(201),所述圆盘(201)的下端面连通有多个均匀分布的分管(202),多个分管(202)的外侧壁均贯穿开设有多个出气孔(203);所述洗涤塔体(1)的外侧壁下端安装有螺旋状分布的冷却水管(501),所述冷却水管(501)的两端分别连通有冷却水进管(502)...
【专利技术属性】
技术研发人员:周振伦,宋文,张虎,蔡元礼,吕福禄,
申请(专利权)人:会昌宏氟高新材料有限责任公司,
类型:新型
国别省市:
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