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本实用新型公开了一种五氟化磷气体纯化用洗涤塔，属于五氟化磷气体洗涤设备技术领域，其技术方案要点包括洗涤塔体和进气管，延伸至洗涤塔体内的输送管的外侧壁安装有多个喷淋头，所述洗涤塔体的内部底端盛放有液态无水氟化氢，所述进气管的另一端连通有圆盘，...
该专利属于会昌宏氟高新材料有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过会昌宏氟高新材料有限责任公司授权不得商用。

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