本实用新型专利技术涉及晶圆加工设备技术领域，且公开了一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，包括支架、工作平台和万向轮，所述工作平台与支架固定连接，所述万向轮设置于支架的底部，所述工作平台的顶部开设有置物槽，所述置物槽前后两侧的内壁均为斜面，所述置物槽的内部设置有隔板，所述置物槽的内底壁开设有限制槽。该安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，通过支架、工作平台、万向轮、置物槽、隔板、限制槽、限制杆、抵紧弹簧、滑套、压板和第一把手之间的相互配合，达到了便于拿取晶圆，降低晶元因真空吸取失误而破碎的概率的效果，解决了因晶元取放高度较高，若晶元在被吸取时意外掉落，晶元极易破碎的问题。破碎的问题。破碎的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车
[0001]本技术涉及晶圆加工设备
，具体为一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车。
技术介绍
[0002]半导体厂的工作推车大多为平面推车，即将装有晶元的晶舟盒直接放置在工作平面上，在使用推车将晶元运送到所需位置后，首先操作人员会打开晶舟盒的盒盖，然后再用真空吸取装置将晶元片依次从晶舟盒取出，但在取放晶元的过程中，真空吸取装置仍存在一定的吸取失误概率，所以晶元在被吸取的过程中可能会发生滑落，而且由于放置在工作台上的晶舟盒的取物口朝上设置，造成晶元取放高度较高，所以在晶元掉落后，极易破碎，故而需要研制一种新式工作推车，以解决上述问题。
技术实现思路
[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，具备便于拿取晶圆，降低晶元因真空吸取失误而破碎的概率的优点，解决了因晶元取放高度较高，若晶元在被吸取时意外掉落，晶元极易破碎的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]本技术提供如下技术方案：一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，包括支架、工作平台和万向轮，所述工作平台与支架固定连接，所述万向轮设置于支架的底部，所述工作平台的顶部开设有置物槽，所述置物槽前后两侧的内壁均为斜面，所述置物槽的内部设置有隔板，所述置物槽的内底壁开设有限制槽，所述限制槽的内部设置有限制杆，所述限制杆的侧表面套接有抵紧弹簧，所述抵紧弹簧通过滑套连接有压板，所述压板的顶部设置有第一把手。
[0007]优选的，所述置物槽前侧内壁与竖直面的夹角和置物槽后侧内壁与竖直面的夹角大小相同，即置物槽前后两侧内壁的斜率相同，当装有晶元的晶舟盒放置在置物槽内时，晶舟盒的侧面会与置物槽前侧或后侧的内壁贴合，此时晶舟盒的取物口则朝向斜上方。
[0008]优选的，所述限制杆的右端与限制槽右侧的内壁固定连接，所述限制杆的左端与限制槽左侧的内壁固定连接，所述限制杆位于滑套的内部，滑套位直线轴承，限制杆的直径与直线轴承相匹配，当滑套在限制杆上滑动时，滑套只会沿着限制杆的轴向移动，而不会发生扰动，从而带动压板平稳的左右移动，所述抵紧弹簧的右端与限制槽右侧的内壁固定连接，所述抵紧弹簧的左端与滑套的左端固定连接。
[0009]优选的，所述压板的前后两侧均设置有固定轴，所述固定轴的侧表面活动套接有导轮，所述置物槽前后两侧的内壁均开设有导槽，所述导轮位于导槽的内部，导轮的侧表面与导轮的内壁贴合，固定轴、导轮和导槽一同起到了辅助限制压板移动方向的作用，使压板只能左右移动，并且避免了压板在左右移动过程中出现失稳，从而导致压板与滑套连接处
断裂的情况。
[0010]优选的，所述工作平台通过铰链连接有盖板，盖板由钢化玻璃制成，所述置物槽的内底壁开设有进气孔，所述进气孔的内部固定连接有进气管，所述工作平台的内部设置有增压气泵，所述增压气泵的出气口连接有油水分离器，油水分离器可以分离处空气中的水分，避免空气中的水分进入置物槽内，所述油水分离器的出气口连接有粉尘过滤器，粉尘过滤器可以过滤空气中的灰尘，避免空气中的灰尘进入置物槽的内部，所述粉尘过滤器通过三向管与进气管连接，此时经过增压器泵、油水分离器和粉尘过滤器处理的洁净压缩空气会被通入置物槽内，使置物槽一直保持正压环境，使其内部的气压大于外界气压，从而达到了避免外界灰尘进入置物槽内部的效果。
[0011]优选的，所述工作平台的顶部开设有凹槽，所述盖板位于凹槽的内部，所述盖板的顶部设置有第二把手。
[0012]与现有技术相比，本技术提供了一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，具备以下有益效果：
[0013]1、该安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，通过支架、工作平台、万向轮、置物槽、隔板、限制槽、限制杆、抵紧弹簧、滑套、压板和第一把手之间的相互配合，达到了便于拿取晶圆，降低晶元因真空吸取失误而破碎的概率的效果，解决了因晶元取放高度较高，若晶元在被吸取时意外掉落，晶元极易破碎的问题。
[0014]2、该安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，通过支架、工作平台、置物槽、隔板、盖板、第二把手、进气孔、进气管、三向管、增压气泵、油水分离器和粉尘过滤器之间的相互配合，可以将经过增压气泵、油水分离器和粉尘过滤器处理的洁净空气通入置物槽内，使置物槽一直保持正压状态，防止灰尘进入置物槽，达到了防止灰尘进入置物槽，避免置物槽内存在灰尘影响晶元取放工作的效果，解决了工作推车在移动时，灰尘可能会进入置物槽中，从而影响晶元取放工作的问题。
附图说明
[0015]图1为本技术主视结构三维图；
[0016]图2为本技术工作平台结构示意图；
[0017]图3为本技术压板结构示意图；
[0018]图4为本技术正视图。
[0019]其中：1、支架；2、工作平台；3、万向轮；4、置物槽；5、隔板；6、限制槽；7、限制杆；8、抵紧弹簧；9、滑套；10、压板；11、固定轴；12、导轮；13、导槽；14、第一把手；15、盖板；16、第二把手；17、进气孔； 18、三向管；19、增压气泵；20、油水分离器；21、粉尘过滤器。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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4，本技术提供了一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，包括支架
1、工作平台2和万向轮3，支架1为焊接钢架，底部为方形框，工作平台2与支架1固定连接，工作平台2的左侧与支架1左侧的内壁固定连接，工作平台2的右侧与支架1右侧的内壁固定连接，万向轮3设置于支架1 的底部，万向轮3的数量共有四个，分别分布在支架1底部四角，工作平台2 的顶部开设有置物槽4，工作平台2通过铰链连接有盖板15，盖板15由钢化玻璃制成，置物槽4的内底壁开设有进气孔17，进气孔17的内部固定连接有进气管，工作平台2的内部设置有增压气泵19，增压气泵19的出气口连接有油水分离器20，油水分离器20可以分离处空气中的水分，避免空气中的水分进入置物槽内，油水分离器20的出气口连接有粉尘过滤器21，粉尘过滤器 21可以过滤空气中的灰尘，避免空气中的灰尘进入置物槽的内部。
[0022]粉尘过滤器21通过三向管18与进气管连接，工作平台2的顶部开设有凹槽，盖板15位于凹槽的内部，盖板15的顶部设置有第二把手16，置物槽 4前后两侧的内壁均为斜面，置物槽4前侧内壁与竖直面的夹角和置物槽4后侧内壁与竖直面的夹角大小相同，置物槽4的内部设置有隔板5，隔板5的前侧与置物槽前侧的内壁固定连接，隔板5的后侧与置物槽后侧的内壁固定连接，置物槽4的内底壁开设有限制槽6，限制槽6的数量共有两个，且均以工作平台2本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，包括支架(1)、工作平台(2)和万向轮(3)，所述工作平台(2)与支架(1)固定连接，所述万向轮(3)设置于支架(1)的底部，其特征在于：所述工作平台(2)的顶部开设有置物槽(4)，所述置物槽(4)前后两侧的内壁均为斜面，所述置物槽(4)的内部设置有隔板(5)，所述置物槽(4)的内底壁开设有限制槽(6)，所述限制槽(6)的内部设置有限制杆(7)，所述限制杆(7)的侧表面套接有抵紧弹簧(8)，所述抵紧弹簧(8)通过滑套(9)连接有压板(10)，所述压板(10)的顶部设置有第一把手(14)。2.根据权利要求1所述的一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，其特征在于：所述置物槽(4)前侧内壁与竖直面的夹角和置物槽(4)后侧内壁与竖直面的夹角大小相同。3.根据权利要求1所述的一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，其特征在于：所述限制杆(7)的右端与限制槽(6)右侧的内壁固定连接，所述限制杆(7)的左端与限制槽(6)左侧的内壁固定连接，所述限制杆(7)位于滑套(9)的内部，所述抵紧弹簧(8)的右端与限制槽(6)右...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴灿煌，陈圣育，殷小罕，张福亮，王金永，
申请(专利权)人：合肥芯测半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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