一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆加工设备技术领域，且公开了一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，包括支架、工作平台和万向轮，所述工作平台与支架固定连接，所述万向轮设置于支架的底部，所述工作平台的顶部开设有置物槽，所述置物槽前后两侧的内壁均为斜面，所述置物槽的内部设置有隔板，所述置物槽的内底壁开设有限制槽。该安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，通过支架、工作平台、万向轮、置物槽、隔板、限制槽、限制杆、抵紧弹簧、滑套、压板和第一把手之间的相互配合，达到了便于拿取晶圆，降低晶元因真空吸取失误而破碎的概率的效果，解决了因晶元取放高度较高，若晶元在被吸取时意外掉落，晶元极易破碎的问题。破碎的问题。破碎的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车


[0001]本技术涉及晶圆加工设备
，具体为一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车。

技术介绍

[0002]半导体厂的工作推车大多为平面推车，即将装有晶元的晶舟盒直接放置在工作平面上，在使用推车将晶元运送到所需位置后，首先操作人员会打开晶舟盒的盒盖，然后再用真空吸取装置将晶元片依次从晶舟盒取出，但在取放晶元的过程中，真空吸取装置仍存在一定的吸取失误概率，所以晶元在被吸取的过程中可能会发生滑落，而且由于放置在工作台上的晶舟盒的取物口朝上设置，造成晶元取放高度较高，所以在晶元掉落后，极易破碎，故而需要研制一种新式工作推车，以解决上述问题。

技术实现思路

[0003](一)解决的技术问题
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，具备便于拿取晶圆，降低晶元因真空吸取失误而破碎的概率的优点，解决了因晶元取放高度较高，若晶元在被吸取时意外掉落，晶元极易破碎的问题。
[0005](二)技术方案
[0006]本技术提供如下技术方案：一种安全放置晶圆及晶舟本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，包括支架(1)、工作平台(2)和万向轮(3)，所述工作平台(2)与支架(1)固定连接，所述万向轮(3)设置于支架(1)的底部，其特征在于：所述工作平台(2)的顶部开设有置物槽(4)，所述置物槽(4)前后两侧的内壁均为斜面，所述置物槽(4)的内部设置有隔板(5)，所述置物槽(4)的内底壁开设有限制槽(6)，所述限制槽(6)的内部设置有限制杆(7)，所述限制杆(7)的侧表面套接有抵紧弹簧(8)，所述抵紧弹簧(8)通过滑套(9)连接有压板(10)，所述压板(10)的顶部设置有第一把手(14)。2.根据权利要求1所述的一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，其特征在于：所述置物槽(4)前侧内壁与竖直面的夹角和置物槽(4)后侧内壁与竖直面的夹角大小相同。3.根据权利要求1所述的一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，其特征在于：所述限制杆(7)的右端与限制槽(6)右侧的内壁固定连接，所述限制杆(7)的左端与限制槽(6)左侧的内壁固定连接，所述限制杆(7)位于滑套(9)的内部，所述抵紧弹簧(8)的右端与限制槽(6)右...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴灿煌，陈圣育，殷小罕，张福亮，王金永，
申请(专利权)人：合肥芯测半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：