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本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，且公开了一种安全放置晶圆及晶舟盒工作推车，包括支架、工作平台和万向轮，所述工作平台与支架固定连接，所述万向轮设置于支架的底部，所述工作平台的顶部开设有置物槽，所述置物槽前后两侧的内壁均为斜面，所述置物槽的...
该专利属于合肥芯测半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯测半导体有限公司授权不得商用。

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