【技术实现步骤摘要】
一种溅射旋转靶材直线度检验装置
[0001]本技术涉及溅射旋转靶材检测
，具体为一种溅射旋转靶材直线度检验装置。
技术介绍
[0002]旋转靶材是磁控的靶材。靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。但是，现有的旋转靶材为保障在使用过程中不会出现侧偏的情况，会对靶材进行直线度的检测。
[0003]公开号为CN112683200A的专利文件公开了一种溅射旋转靶材直线度检验装置，所述底座的内部设置有调节腔，所述底座上端的中间位置处分别安装有第一固定座和第二固定座，且第一固定座与第二固定座以底座的中心线为轴线呈对称分布，所述第一固定座和第二固定座的外部设置有旋转靶材，所述底座上端的一侧固定设置有支撑柱，所述支撑柱的内部滑动设置有活动柱，且活动柱的上端延伸至支撑柱的上方，所述活动柱上端的一侧设置有安装杆，所述安装杆的下端安装有电动推杆，所述电动推杆的下方设置有安装头，所述安装头的两侧安装有红外线探头。
[0004]上述专利文件通过固定座对靶材进行固定，再通过红外线探头对靶材直线度进行检验，这种检测方...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种溅射旋转靶材直线度检验装置，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)下端面均固定连接有支撑柱(2)，所述支撑架(1)右端固定连接有第一斜板(3)，所述支撑架(1)左端通过第二斜板(11)固定连接有内腔检测机构(12)，所述支撑架(1)上端面左部固定连接有外表面检测机构(5)，所述支撑架(1)上端面中部固定连接有放置架(4)，所述支撑架(1)上端面左部固定连接有传动斜块(15)。2.根据权利要求1所述的一种溅射旋转靶材直线度检验装置，其特征在于：所述外表面检测机构(5)包括固定板(51)、挤压弹簧(52)、压板(53)、第一感应板(54)、第二感应板(55)、复位弹簧(56)、压杆(57)、滑动板(58)，所述固定板(51)下端面通过挤压弹簧(52)固定连接有滑动板(58)，所述滑动板(58)一侧固定连接有压板(53)，所述压板(53)内腔固定连接有第二感应板(55)。3.根据权利要求2所述的一种溅射旋转靶材直线度检验装置，其特征在于：所述第二感应板(55)下端面通过复位弹簧(56)配合感应器固定连接有压杆(57)，所述压杆(57)外表面滑动连接有第一感应板(54)，所述固定板(51)下端面通过连接板与支撑架(1)固定连接，所述第一感应板(54)两侧与压板(53)固定连接，所述压杆(57)一端固定连接有感应器，所述感应器一端放置在第一感应板(54)上。4.根据权利要求3所述的一种溅射旋转靶材直线度检验装置，其特征在于：所述支撑架(1)下端面左部固定连接有第...
【专利技术属性】
技术研发人员：孔伟华，
申请(专利权)人：江苏东玖光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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