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本实用新型公开了一种溅射旋转靶材直线度检验装置，包括支撑架，所述支撑架下端面均固定连接有支撑柱，所述支撑架右端固定连接有第一斜板，所述支撑架左端通过第二斜板固定连接有内腔检测机构，所述支撑架上端面左部固定连接有外表面检测机构，所述支撑架上端...
该专利属于江苏东玖光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏东玖光电科技有限公司授权不得商用。

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