本实用新型专利技术涉及一种模块化腔体与真空镀膜装置。该模块化腔体包括第一框体与第二框体，第一框体与第二框体均设置有至少一个安装位，安装位用于与功能模块可拆卸连接；第一框体具有工件位，工件位用于放置工件，第二框体可相对于第一框体开合；当第二框体相对第一框体闭合时，第一框体与第二框体之间形成真空镀膜空间。通过将第一框体与第二框体相对开合，使得维修人员可以便于进入腔体内部空间进行维修。而且通过安装位与功能模块可拆卸连接，使得对应功能模块需要维修或更换时，将其从对应的安装位取下即可，大大降低了真空镀膜装置的维修难度与维修成本。的维修难度与维修成本。的维修难度与维修成本。
【技术实现步骤摘要】
模块化腔体与真空镀膜装置
[0001]本技术涉及真空镀膜
，特别是涉及模块化腔体与真空镀膜装置。
技术介绍
[0002]物理气相沉积技术是真空镀膜技术中的一种常用技术。物理气相沉积技术 (PVD)是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。
[0003]在真空镀膜时，通常使用真空镀膜装置进行镀膜。真空镀膜装置可以对其中的工件进行真空镀膜，使得工件表面形成对应薄膜。
[0004]然而，目前的真空镀膜装置一旦出现问题，不易维修。
技术实现思路
[0005]基于此，有必要针对真空镀膜装置不易维修的问题，提供一种模块化腔体与真空镀膜装置。
[0006]一种模块化腔体，包括第一框体与第二框体，所述第一框体与所述第二框体均设置有至少一个安装位，所述安装位用于与功能模块可拆卸连接；
[0007]所述第一框体具有工件位，所述工件位用于放置工件，所述第二框体可相对于所述第一框体开合；
[0008]当第二框体相对所述第一框体闭合时，所述第一框体与所述第二框体之间形成真空镀膜空间。
[0009]在其中一个实施例中，所述第一框体具有第一抵接面，所述第二框体具有第二抵接面；
[0010]当所述第二框体相对于所述第一框体闭合时，所述第一抵接面与所述第二抵接面抵接。
[0011]在其中一个实施例中，所述第一抵接面设置有第一凸缘，所述第二抵接面设置有第二凸缘；
[0012]当所述第二框体相对于所述第一框体闭合时，所述第一凸缘与所述第二凸缘抵接。
[0013]在其中一个实施例中，还包括转动结构，所述第一框体通过所述转动结构与所述第二框体转动连接。
[0014]在其中一个实施例中，所述转动结构包括铰链，所述铰链的一端与所述第一框体连接，所述铰链的另一端与所述第二框体连接。
[0015]在其中一个实施例中，所述第一框体与所述第二框体均设置有冷却槽，所述冷却槽内设置有冷却管，所述冷却管用于通入冷却介质。
[0016]在其中一个实施例中，所述第一框体与第二框体均设置有安装通槽，所述安装通
槽的槽壁界定所述安装位；所述安装通槽的槽壁与所述功能模块可拆卸连接。
[0017]在其中一个实施例中，所述安装通槽包括第一槽段与第二槽段，所述第一槽段位于远离第一框体与第二框体闭合抵接的一侧，所述第一槽段的横截面积大于所述第二槽段的横截面积。
[0018]在其中一个实施例中，还包括安装件，所述安装件的一端与所述第一槽段的外壁连接，所述安装件的一端用于与所述功能模块连接。
[0019]一种真空镀膜装置，包括上述的模块化腔体。
[0020]上述模块化腔体，可以通过将第一框体与第二框体相对开合，使得维修人员可以便于进入腔体内部空间进行维修。而且通过安装位与功能模块可拆卸连接，使得对应功能模块需要维修或更换时，将其从对应的安装位取下即可，大大降低了真空镀膜装置的维修难度与维修成本。
附图说明
[0021]图1为本技术的一实施例所提供的模块化腔体的结构示意图；
[0022]图2为图1中第二框体相对第一框体打开的结构示意图；
[0023]图3为本技术的一实施例所提供的模块化腔体的结构示意图(功能模块安装于第一框体的一个安装位)。
[0024]附图标记说明：
[0025]100、第一框体；110、第一抵接面；120、第一凸缘；130、工作位；200、第二框体；210、第二抵接面；220、第二凸缘；300、转动结构；310、铰链； 400、紧固结构；410、紧固件；500、安装位；510、安装通槽；511、第一槽段； 512、第二槽段；600、安装件；700、真空镀膜空间；800、功能模块。
具体实施方式
[0026]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0029]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0031]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0032]本申请的一实施例提供了一种真空镀膜装置，其包括主体、模块化腔体(图 1
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图3中示出)与功能模块800(图3中示出)。模块化腔体与主体固定连接，功能模块800可拆卸地与模块化腔体连接。其中，功能模块800可以为离子源发射模组、加热模组、分子泵模组、机械泵模组或检测模组(本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种模块化腔体，其特征在于，包括第一框体与第二框体，所述第一框体与所述第二框体均设置有至少一个安装位，所述安装位用于与功能模块可拆卸连接；所述第一框体具有工件位，所述工件位用于放置工件，所述第二框体可相对于所述第一框体开合；当第二框体相对所述第一框体闭合时，所述第一框体与所述第二框体之间形成真空镀膜空间。2.根据权利要求1所述的模块化腔体，其特征在于，所述第一框体具有第一抵接面，所述第二框体具有第二抵接面；当所述第二框体相对于所述第一框体闭合时，所述第一抵接面与所述第二抵接面抵接。3.根据权利要求2所述的模块化腔体，其特征在于，所述第一抵接面设置有第一凸缘，所述第二抵接面设置有第二凸缘；当所述第二框体相对于所述第一框体闭合时，所述第一凸缘与所述第二凸缘抵接。4.根据权利要求1所述的模块化腔体，其特征在于，还包括转动结构，所述第一框体通过所述转动结构与所述第二框体转动连接。5.根据权利要求4所述的模块化腔体，其特征在于，所述转动结...
【专利技术属性】
技术研发人员：林海天，李立升，郑礼伟，陈松，杨恺，
申请(专利权)人：东莞市华升真空镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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