模块化腔体与真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种模块化腔体与真空镀膜装置。该模块化腔体包括第一框体与第二框体，第一框体与第二框体均设置有至少一个安装位，安装位用于与功能模块可拆卸连接；第一框体具有工件位，工件位用于放置工件，第二框体可相对于第一框体开合；当第二框体相对第一框体闭合时，第一框体与第二框体之间形成真空镀膜空间。通过将第一框体与第二框体相对开合，使得维修人员可以便于进入腔体内部空间进行维修。而且通过安装位与功能模块可拆卸连接，使得对应功能模块需要维修或更换时，将其从对应的安装位取下即可，大大降低了真空镀膜装置的维修难度与维修成本。的维修难度与维修成本。的维修难度与维修成本。

【技术实现步骤摘要】
模块化腔体与真空镀膜装置


[0001]本技术涉及真空镀膜
，特别是涉及模块化腔体与真空镀膜装置。

技术介绍

[0002]物理气相沉积技术是真空镀膜技术中的一种常用技术。物理气相沉积技术 (PVD)是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。
[0003]在真空镀膜时，通常使用真空镀膜装置进行镀膜。真空镀膜装置可以对其中的工件进行真空镀膜，使得工件表面形成对应薄膜。
[0004]然而，目前的真空镀膜装置一旦出现问题，不易维修。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对真空镀膜装置不易维修的问题，提供一种模块化腔体与真空镀膜装置。
[0006]一种模块化腔体，包括第一框体与第二框体，所述第一框体与所述第二框体均设置有至少一个安装位，所述安装位用于与功能模块可拆卸连接；
[0007]所述第一框体具有工件位，所述工件位用于放置工件，所述第二框体可相对于所述第一框体开合；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种模块化腔体，其特征在于，包括第一框体与第二框体，所述第一框体与所述第二框体均设置有至少一个安装位，所述安装位用于与功能模块可拆卸连接；所述第一框体具有工件位，所述工件位用于放置工件，所述第二框体可相对于所述第一框体开合；当第二框体相对所述第一框体闭合时，所述第一框体与所述第二框体之间形成真空镀膜空间。2.根据权利要求1所述的模块化腔体，其特征在于，所述第一框体具有第一抵接面，所述第二框体具有第二抵接面；当所述第二框体相对于所述第一框体闭合时，所述第一抵接面与所述第二抵接面抵接。3.根据权利要求2所述的模块化腔体，其特征在于，所述第一抵接面设置有第一凸缘，所述第二抵接面设置有第二凸缘；当所述第二框体相对于所述第一框体闭合时，所述第一凸缘与所述第二凸缘抵接。4.根据权利要求1所述的模块化腔体，其特征在于，还包括转动结构，所述第一框体通过所述转动结构与所述第二框体转动连接。5.根据权利要求4所述的模块化腔体，其特征在于，所述转动结...

【专利技术属性】
技术研发人员：林海天，李立升，郑礼伟，陈松，杨恺，
申请(专利权)人：东莞市华升真空镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：