一种防止小球和针掉落遗失的工具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种防止小球和针掉落遗失的工具，所述工具环绕镀膜机的加热器设置，所述工具的内壁与所述加热器的外表面之间具有间隙；所述工具的上表面高于所述加热器的上表面，所述工具的下表面的内壁与所述加热器的外表面之间的距离小于所述小球的直径并且小于所述针的直径。所述工具可以套在镀膜机的加热器上，并且可以从加热器上取下，当所述工具套在所述加热器上时，可以防止被取出和放回的小球和针掉落遗失；由于所述工具的防护作用，在所述加热器的上表面可以放置一些其它工具或零件，其它工具或零件不会掉落遗失。其它工具或零件不会掉落遗失。其它工具或零件不会掉落遗失。

【技术实现步骤摘要】
一种防止小球和针掉落遗失的工具


[0001]本技术涉及晶圆的镀膜机
，特别涉及一种防止小球和针掉落遗失的工具。

技术介绍

[0002]在制造晶圆的过程中，需要使用镀膜机，例如使用型号的为LAM vector extreme的镀膜机。如图1和图2所示，镀膜机包括加热器1(heater)，加热器1包括多组小球2和针3(ball&pin)。镀膜机在PM(Preventive Maintenance，预防性维护)过程中，需要调整小球2和针3的高度，针3的上表通常需要高出加热器1的上表面0.0117
±
0.0002inch，小球2的直径通常为0.1875
±
0.0005inch，针3的高度通常为0.8125
±
0.001inch，小球2的外径通常等于针3的外径。在调整小球2和针3的高度时，需要将小球2和针3从加热器1的孔内取出，然后重新放入孔内，每组小球2和针3通常需要调整多次才能调好。
[0003]然而，在频繁取出和放回小球2和针3时，小球2和针3容易从加热器的上表面掉落，有时会掉落滚动到加热器的底部，经泵(pumping)口掉进前级管道(foreline)，可能损害设备。

技术实现思路

[0004]本技术提供了一种防止小球和针掉落遗失的工具，以解决镀膜机的加热器的小球和针容易掉落遗失的技术问题。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了一种防止小球和针掉落遗失的工具，所述工具环绕镀膜机的加热器设置，所述工具的内壁与所述加热器的外表面之间具有间隙；所述工具的上表面高于所述加热器的上表面，所述工具的下表面的内壁与所述加热器的外表面之间的距离小于所述小球的直径并且小于所述针的直径。
[0006]可选的，所述加热器包括第一圆柱和第二圆柱，所述第一圆柱的直径小于所述第二圆柱的直径，所述第一圆柱的下表面与所述第二圆柱的上表面连接，所述第一圆柱和所述第二圆柱同轴，所述第一圆柱和所述第二圆柱直接具有一台阶；所述工具为圆筒形，所述工具的下表面放置在所述台阶上。
[0007]可选的，所述工具的上表面和下表面均设置有向所述加热器方向延伸的翻边。
[0008]可选的，所述工具的上表面的翻边和下表面的翻边均与所述工具的轴线垂直。
[0009]可选的，所述工具的上表面的翻边的宽度小于所述工具的下表面的翻边的宽度。
[0010]可选的，所述工具的上表面的翻边比所述加热器的上表面高60mm～80mm。
[0011]可选的，所述工具的下表面的翻边的宽度小于或等于所述加热器的台阶的宽度。
[0012]可选的，所述工具一体成型。
[0013]可选的，所述工具由铝制成。
[0014]可选的，所述工具的外表面设置有氧化层。
[0015]本实施例提供的一种防止小球和针掉落遗失的工具，可以套在镀膜机的加热器
上，并且可以从加热器上取下，当所述工具套在所述加热器上时，可以防止被取出和放回的小球和针掉落遗失；由于所述工具的防护作用，在所述加热器的上表面可以放置一些其它工具或零件，其它工具或零件不会掉落遗失。
附图说明
[0016]图1是本技术一实施例提供的一种镀膜机的加热器的结构示意图。
[0017]图2是本技术一实施例提供的一种镀膜机的加热器的结构示意图。
[0018]图3是本技术一实施例提供的一种镀膜机的加热器的结构示意图。
[0019]图4是本技术一实施例提供的一种防止小球和针掉落遗失的工具的结构示意图。
[0020][附图标记说明如下]：
[0021]加热器
‑
1、小球
‑
2、针
‑
3、工具
‑
4；
[0022]第一圆柱
‑
11、第二圆柱
‑
12；
[0023]上表面的翻边
‑
41、下表面的翻边
‑
42。
具体实施方式
[0024]为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本技术提出的一种防止小球和针掉落遗失的工具作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0025]在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”等限定词是为了方便描述和引用而增加的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等限定词的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
[0026]如图2～图4所示，本实施例提供了一种防止小球2和针3掉落遗失的工具4，所述工具4环绕镀膜机的加热器设置，所述工具4的内壁与所述加热器的外表面之间具有间隙；所述工具4的上表面高于所述加热器的上表面，所述工具4的下表面的内壁与所述加热器的外表面之间的距离小于所述小球2的直径并且小于所述针3的直径。其中，所述工具4的形状可以根据加热器的形状进行设计。
[0027]在镀膜机的chamber(腔体)进行PM(Preventive Maintenance，预防性维护)时，打开chamber后，将所述工具4套于heater(加热器)上方，使所述工具4的下表面与heater底部的外圈表面贴合，在对该heater的ball+pin进行调整的过程中一直使用所述工具4。ball+pin调整完毕后，将所述工具4放置到另一个heater上，再对另一个heater的ball+pin进行调整。
[0028]本实施例提供的一种防止小球2和针3掉落遗失的工具4，可以套在镀膜机的加热器上，并且可以从加热器上取下，当所述工具4套在所述加热器上时，可以防止被取出和放回的小球2和针3掉落遗失；由于所述工具4的防护作用，在所述加热器的上表面可以放置一些其它工具或零件，其它工具或零件不会掉落遗失。
[0029]可选的，如图3～图4所示，所述加热器1包括第一圆柱11和第二圆柱12，所述第一圆柱11的直径小于所述第二圆柱12的直径，所述第一圆柱11的下表面与所述第二圆柱12的
上表面连接，所述第一圆柱11和所述第二圆柱12同轴，所述第一圆柱11和所述第二圆柱12直接具有一台阶；所述工具4为圆筒形，所述工具4的下表面放置在所述台阶上。现有的加热器1的形状通常为本实施例提所述的圆柱形形状，当所述加热器1的形状为圆柱形时，所述工具4的形状为圆筒形，这样可以使所述工具4能更好的与所述加热器1相配合。
[0030]可选的，如图4所示，所述工具4的上表面和下表面均设置有向所述加热器方向延伸的翻边。设置翻边可以防止所述工具4的上表面和下表面可能因锋利而割伤操作人员或加热器。
[0031]可选的，如图4所示，所述工具4的上表面的翻边41和下表面的翻边42均与所述工具4的轴线垂直。这样可以提高所述工具4的稳定性，方便将所述工具4套在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防止小球和针掉落遗失的工具，其特征在于，所述工具环绕镀膜机的加热器设置，所述工具的内壁与所述加热器的外表面之间具有间隙；所述工具的上表面高于所述加热器的上表面，所述工具的下表面的内壁与所述加热器的外表面之间的距离小于所述小球的直径并且小于所述针的直径。2.如权利要求1所述的一种防止小球和针掉落遗失的工具，其特征在于，所述加热器包括第一圆柱和第二圆柱，所述第一圆柱的直径小于所述第二圆柱的直径，所述第一圆柱的下表面与所述第二圆柱的上表面连接，所述第一圆柱和所述第二圆柱同轴，所述第一圆柱和所述第二圆柱直接具有一台阶；所述工具为圆筒形，所述工具的下表面放置在所述台阶上。3.如权利要求2所述的一种防止小球和针掉落遗失的工具，其特征在于，所述工具的上表面和下表面均设置有向所述加热器方向延伸的翻边。4.如权利要求3所述的一种防止小球和针掉落遗...

【专利技术属性】
技术研发人员：高向鹏，古育文，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：