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本实用新型涉及一种模块化腔体与真空镀膜装置。该模块化腔体包括第一框体与第二框体，第一框体与第二框体均设置有至少一个安装位，安装位用于与功能模块可拆卸连接；第一框体具有工件位，工件位用于放置工件，第二框体可相对于第一框体开合；当第二框体相对第...
该专利属于东莞市华升真空镀膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市华升真空镀膜科技有限公司授权不得商用。

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