等离子体观察口制造技术

公开了用于半导体处理设备中高温环境的等离子体观察口；这样的观察口可以使用三窗设计，其中每个窗都提供特定的功能。其中每个窗都提供特定的功能。其中每个窗都提供特定的功能。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】等离子体观察口
相关申请
[0001]PCT申请表作为本申请的一部分与本说明书同时提交。如在同时提交的PCT申请表中所标识的本申请要求享有其权益或优先权的每个申请均通过引用全文并入本文且用于所有目的。

技术介绍

[0002]半导体处理工具通常包括半导体处理室，其可以配备有气流部件和射频发生器以及被配置为允许等离子体在处理室内被激励和维持的电极。这种等离子体通常在室内的半导体晶片所在位置的正上方区域中产生。
[0003]在一些这样的设备中，观察口包括在室的壁中以允许外部观察者，例如设备操作员，观察室内部并观察等离子体(或室内部的其他方面)。

技术实现思路

[0004]本说明书中描述的主题的一个或多个实施方案的细节在附图和以下描述中阐述。其他特征、方面和优点将根据所述描述、附图和权利要求中变得显而易见。
[0005]在一些实施方案中，可提供一种装置，其包括：限定孔的框架；定位于所述框架附近的蓝宝石窗，其尺寸大于所述孔，并且当沿垂直于所述蓝宝石窗的最大表面的方向观察时与所述孔完全重叠。所述装置还可包括玻璃窗和聚合物窗。所述玻璃窗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种装置，其包括：限定孔的框架；定位于所述框架附近的第一窗，其尺寸大于孔，并且当沿垂直于所述蓝宝石窗的最大表面的方向观察时与所述孔完全重叠；玻璃窗；和聚合物窗，其中：所述玻璃窗置于所述第一窗和所述聚合物窗之间，并且所述第一窗由耐氟的、高温稳定的材料制成，所述材料在至少80％的可见光谱中具有80％的透光率。2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一窗由从由以下各项组成的组中选择的材料制成：蓝宝石和铝镁氧化物。3.根据权利要求1所述的装置，其还包括：置于所述第一窗和所述框架之间的第一弹性O形环。4.根据权利要求3所述的装置，其还包括：置于所述玻璃窗和所述聚合物窗之间的第二弹性O形环。5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述玻璃窗由选自由硼硅酸盐玻璃和钠钙玻璃组成的组的玻璃制成。6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述玻璃窗具有按重量计70％的二氧化硅、11.5％的氧化硼、9.5％的氧化钠、7.5％的氧化钾、1％的氧化钡以及其余部分的组成，所述其余部分包括氧化钛、氧化钙和任何杂质。7.根据权利要求5所述的装置，其中，所述硼硅酸盐玻璃是Schott N
‑
BK7玻璃或其等价物。8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述框架包括跨越所述孔的穿孔网，所述穿孔网具有直径尺寸为约4毫米或更小的通孔图案。9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述通孔布置成六边形格子图案。10.根据权利要求8所述的设备，其中，所述穿孔网置于所述第一窗和所述玻璃窗之间。11.根据权利要求1所述的装置，其中，所述框架包括铝合金，并且在所述框架的与所述第一窗相邻的一侧上的至少一个表面具有硬质阳极氧化涂层。12.根据权利要求1所述的装置，其中，所述聚合物窗包括聚碳酸酯材料。13.根据权利要求1所述的装置，其中，当沿着垂直于所述第一窗的最大表面的方向观察时，所述聚合物...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗彬，安德鲁，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：