缺陷检测方法与系统技术方案

一种缺陷检测方法，针对受测板的多个影像以及参考板的多个影像进行分析，并包含：对受测板的影像与参考板的影像进行面板校准程序；针对已校准的受测板的影像以及参考板的影像分别进行特征点对齐程序；针对已对齐的受测板的每一影像与参考板的对应影像相互比对以获得差异影像；及依据差异影像决定是否存在缺陷。陷。陷。

【技术实现步骤摘要】
缺陷检测方法与系统


[0001]本专利技术是有关于一种缺陷检测方法与系统，特别是指一种采用渐进式(coarse to fine)对位演算的缺陷检测方法与系统。

技术介绍

[0002]在面板或者电路板等电子零件制造过程中，为确保良率，大多使用自动光学检测设备进行品质控管。
[0003]自动光学检测设备主要包括用于承载受测面板或电路板(以下称受测物)的一平台或者输送带、对受测物撷取影像的一摄影机，以及用于分析影像的运算装置。借由影像分析方法来检测受测物上的异物、刮伤、残胶等缺陷。
[0004]至于自动光学检测设备中所采用的影像分析方法，其针对摄影机所撷取的大量影像所进行的处理策略及程序，往往成了检测效率以及准确率的关键。

技术实现思路

[0005]因此，本专利技术的目的，即在提供一种采用渐进式对位演算而能兼顾检测效率以及准确率的缺陷检测方法与系统。
[0006]于是，本专利技术提供一缺陷检测方法，针对受测板的多个影像以及参考板的多个影像进行分析，缺陷检测方法包含以下步骤：
[0007]对受测板的影像与参考板的影像进行面板校准程序；
[0008]针对已校准的受测板的影像以及参考板的影像，分别进行特征点对齐程序；
[0009]针对已对齐的受测板的每一影像与参考板的对应影像相互比对以获得差异影像；及
[0010]依据差异影像决定是否存在缺陷。
[0011]本专利技术的另一目的在于提供一种缺陷检测系统，包含运算装置及存储检测程序的存储装置，运算装置读取存储装置的检测程序而执行前述的缺陷检测方法。
[0012]本专利技术的功效在于：针对受测板与参考板先进行全域影像对位，再针对完成对位的各个影像进行内部细节对齐，可快速且精准完成大范围的大量受测板的缺陷检测，借以同时提升检测效率以及检测准确率。
附图说明
[0013]本专利技术的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：
[0014]图1是一方块图，说明本专利技术缺陷检测系统的一实施例；
[0015]图2是一示意图，示意说明一玻璃基板上的多片面板；
[0016]图3A是一流程图，说明本专利技术缺陷检测方法的一实施例；
[0017]图3B是另一流程图，更进一步说明图3A所述的缺陷检测方法；
[0018]图4是一示意图，示意说明一受测板与两个参考板进行比对；
[0019]图5是一细部流程图，说明图3B中的步骤S03；及
[0020]图6是一细部流程图，说明图3B中的步骤S04。
具体实施方式
[0021]在本专利技术被详细描述前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。
[0022]参阅图1与图2，本专利技术缺陷检测系统100的一实施例用于检测位于同一平面的多个待测物。本实施例中，待测物是输送带或检测平台(图未示)上的一玻璃基板20。玻璃基板20由多个待切割的面板2所组成；待测物也可以是已完成切割而共同平放在输送带或检测平台上的多个面板2。缺陷检测系统100的检测范围可针对面板2的膜内区或/及膜外区。在其他实施例中，待测物可以是电路板或其他具有待检测表面的物件。
[0023]缺陷检测系统100包括用于对面板2撷取多个影像3的一线扫描相机11、与线扫描相机11连线以接收影像3的一运算装置12、用于存储检测程序以及影像3的一存储装置13、用于接收使用者操作的一输入接口14，及用于输出检测结果的一输出装置15。存储装置13可以设置在本机端(例如运算装置内部)也可建置在云端，而运算装置12读取存储装置13中的检测程序以及影像3以执行检测运算。
[0024]参阅图3A，本专利技术提供一缺陷检测方法，针对一受测板的多个影像以及一参考板的多个影像进行分析，主要包含步骤S03，对所述受测板的所述影像与所述参考板的所述影像进行一面板校准程序；步骤S04，针对已校准的所述受测板的各所述影像以及所述参考板的各所述影像分别进行一特征点对齐程序；步骤S05，针对已对齐的所述受测板的每一影像与所述参考板的对应影像相互比对以获得一差异影像；及步骤S06，依据所述差异影像决定是否存在一缺陷。
[0025]具体来说，进一步参阅图3B，上述的缺陷检测方法更进一步包含以下步骤。
[0026]步骤S01，当面板2平放在输送带或检测平台上，线扫描相机11对多个面板2进行线扫描以撷取面板2的多个影像3。影像3存储于存储装置13并供运算装置12存取。
[0027]详细来说，线扫描相机11所撷取每一张影像3包括N1
×
N2个像素，例如16352
×
10000，其中N1代表线扫描相机11在一道扫描中x方向上的像素数，N2代表y方向的扫描次数。以如图2所示的玻璃基板20具有3
×
6块面板2举例来说，总共需撷取上千张N1
×
N2像素的影像3。
[0028]在步骤S02，再进一步同时参阅图4，运算装置12接收来自于使用者通过输入接口14所做的多个选择，使用者的选择包括对于图2所示的面板2中选择其中一个面板2作为受测板2a，作为检测运算的对象，并且选择两个相异于受测板2a的面板2作为参考板2b、2c。参考板2b、2c可以是邻接于受测板2a的面板2，也可以是任意的、非邻接的面板2。在其他实施例中，运算装置12可直接针对所有面板2依序指定为受测板，每次随机或者依照特定规则(例如前一个以及后一个面板)择定参考板，直到全数面板2受测完毕。
[0029]在步骤S03，运算装置12对受测板2a的影像3与参考板2b的影像3、以及与参考板2c的影像3分别进行一面板校准(Panel Registration)程序。以下仅针对受测板2a与参考板2b的影像3进行面板校准程序提供详细说明，受测板2a与参考板2c由于使用相同的面板校准程序，所以不加以赘述。
[0030]再进一步同时参阅图5，本专利技术所采用的面板校准程序是以线性代数方法求解一转换矩阵，在本实施例中，包括但不限于，以最小平方解(Least Square Solution)并且以适应本专利技术检测条件的方式进行优化处理而求解转换矩阵。
[0031]首先，在步骤S031，运算装置12接收由使用者通过输入接口14对受测板2a的两个特定部位分别标记的两个具特殊样式的受测记号(标记于影像3上)。举例来说，使用者可以是在受测板2a的影像3中，在对应受测板2a的左上角处标记第一种图形(例如两条平行短线)的受测记号，以及在对应受测板2a的左下角处标记第二种图形(例如呈折角的双线)的受测记号。同一步骤中，运算装置12对参考板2b自动搜寻相同的特定部位(左上角及左下角)，并分别标记与第一种图形及第二种图形相同的的参考记号。
[0032]在步骤S032，运算装置12依据受测记号的坐标(x1，y1)与(x2，y2)，以及参考记号的坐标(x1′
，y1′
)与(x2′
，y2′
)，以最小平方解求得受测板2a对位到本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种缺陷检测方法，针对受测板的多个影像以及参考板的多个影像进行分析，其特征在于包含以下步骤：对所述受测板的所述影像与所述参考板的所述影像进行面板校准程序；针对已校准的所述受测板的各所述影像以及所述参考板的各所述影像，分别进行特征点对齐程序；针对已对齐的所述受测板的每一影像与所述参考板的对应影像相互比对以获得差异影像；及依据所述差异影像决定是否存在缺陷。2.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于：所述面板校准程序包括依据所述受测板的所述影像上的多个受测记号以及所述参考板的所述影像上的多个参考记号进行校准。3.如权利要求2所述的缺陷检测方法，其特征在于：所述缺陷检测方法还包含在所述面板校准程序前，接收由使用者输入、对所述受测板的多个特定部位分别标记的所述受测记号，以及对所述参考板自动搜寻多个对应部位并分别标记所述参考记号。4.如权利要求3所述的缺陷检测方法，其特征在于：所述受测板与所述参考板为同方向摆放，每一张影像包括N1
×
N2像素，N1代表在一道线扫描中x方向上的像素数，N2代表y方向的线扫描次数。5.如权利要求4所述的缺陷检测方法，其特征在于：在所述面板校准程序中，是以线性代数方法求解转换矩阵，且在所述转换矩阵中设定x方向的缩放率为1。6.如权利要求5所述的缺陷检测方法，其特征在于：所述面板校准程序是输入所述受测记号的坐标以及自动搜寻所得的所述参考记号的坐标以求解所述转换矩阵。7.如权利要求4所述的缺陷检测方法，其特征在于：在所述面板校准程序中，所述转换矩阵经限定为只容许x方向平移、y方向平移，以及y方向缩放三个变数，其余设定为定值。8.如权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于：在所述特征点对齐程序包括先针对所述受测板的各所述影像以及所述参考板的各所述影像侦测多个特征点，再针对所述受测板的各所述影像的所述特征点与所述参考板的对应影像的所述特征点以模板匹配技术进行对齐。9.如权利要求8所述的缺陷检测方法，其特征在于：侦测所述特征点的步骤包括：针对各所述影像，先以第一切分尺度切割成多个小格，再利用特征点侦测技术在各所述小格中撷取特征点。10.如权利要求9所述的缺陷检测方法，其特征在于：当在被侦测的小格中未找到特征点，则将被侦测的小格依据上一个小格的位移量进行同等的位移。11.如权利要求9所述的缺陷检测方法，其特征在于：决定是否存在所述缺陷的步骤，包括依据所述差异影像判断是否在局部存在所述缺陷，若是，则进行假缺滤除程序：依据所述差异影像中...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐敏堂，廖家德，
申请(专利权)人：由田新技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：