工艺炉内支承机构制造技术

技术编号:32930205 阅读:20 留言:0更新日期:2022-04-07 12:21
本实用新型专利技术公开了一种工艺炉内支承机构,从机械臂向前伸出一根支撑杆,在支撑杆的长度方向上至少设有前后两个夹具组件,每个夹具组件同时连接支撑杆和支撑杆下方的并排设置的多根支承杆,多根支承杆长度相同且相互之间等间隔并排设置,支承杆向前伸出的自由端上设有端部组合件,端部组合件将多个支承杆的自由端并列联接在一起。本实用新型专利技术使碳化硅杆组件受力更均匀,在同等的宽度条件下,承受重量更大,同时碳化硅杆制作简单,价格低廉。价格低廉。价格低廉。

【技术实现步骤摘要】
工艺炉内支承机构


[0001]本技术涉及太阳能电池制造设备领域,尤其是一种工艺炉内支承机构。

技术介绍

[0002]太阳能光伏电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池。目前通常使用的是以硅为基底的硅光伏电池,包括单晶硅、多晶硅和非晶硅光伏电池。太阳能光伏电池的制备过程中,硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序。在光伏电池的制备过程中,在工艺炉(比如扩散炉或者氧化炉)中需要有承载硅片的舟体,并由加持上的碳化硅组件托起承载硅片的舟体将硅片送入工艺炉内,碳化硅组件是一种常用的运送载片工具。在持续扩大产能和提高效率的背景下,扩散炉和氧化炉的口径越做越大,加持机构所承载的硅片数量越来越多,承重越来越大。现有的扩散炉和氧化炉,碳化硅组件多为碳化硅桨,在舟体下方提供支撑,由于碳化硅桨本身结构的限制,其最大承重量在到达一个最大值后,无论怎么改善碳化硅桨结构,其承重量无法继续增加,同时由于碳化硅桨的工艺制作过程复杂,价格昂贵,极大的限制了它的使用范围。

技术实现思路

[0003]本申请人针对上述现有碳化硅桨存在的承重较低、承载能力受限制且成本较高等缺点,提供了一种结构合理的工艺炉内支承机构,能够实现碳化硅杆以并排方式被双重加持,组成的支承平面受力均匀,承受重量更高,结构稳定可靠,且制作简单,成本低廉。
[0004]本技术所采用的技术方案如下:
[0005]一种工艺炉内支承机构,从机械臂向前伸出一根支撑杆,在支撑杆的长度方向上至少设有前后两个夹具组件,每个夹具组件同时连接支撑杆和支撑杆下方的并排设置的多根支承杆,多根支承杆长度相同且相互之间等间隔并排设置,支承杆向前伸出的自由端上设有端部组合件,端部组合件将多个支承杆的自由端并列联接在一起。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进:
[0007]支承杆为碳化硅杆,数量为2~9根。
[0008]夹具组件至少包括夹持框,夹持框整体为一个凸字形框体,包括上部的支撑杆配合卡箍和下部的支承杆配合卡口。
[0009]支撑杆配合卡箍的开口朝上、左右为C字形,顶部设有凸耳,凸耳上配置有连接销,通过连接销开孔内的紧固件将凸耳相互靠紧,实现卡箍锁紧。
[0010]支承杆配合卡口采用多个卡口并列设置,每个卡口与支承杆一一对应,支承杆穿过支承杆配合卡口并被支承杆配合卡口卡紧。
[0011]支承杆配合卡口的上部为矩形段、下部为半圆形段,下部的半圆形段与上部的矩形段采用一体成型,或者下部的半圆形段为可拆卸分离的活动部件;在矩形段内设有压紧块,压紧块的下边采用弧形结构,使支承杆的上半圆周被夹紧。
[0012]端部组合件包括端部柱塞和端部连接板,端部连接板上开设有与端部柱塞一一对
应的连接孔;端部柱塞一端插入支承杆的自由端内部并固定连接,另一端嵌入端部连接板上对应的连接孔内并固定连接。
[0013]端部柱塞为陶瓷柱塞,端部连接板为陶瓷连接板。
[0014]在支撑杆上还设有前后两个调平组件,前后调平组件调节支撑杆以及支承杆的水平状态。
[0015]调平组件包括调平框体和调平螺栓,调平框体包括顶板、配合框和填充块,配合框为开口朝上的倒几字形框体,与顶板紧固连接在一起,构成一个封闭的口字形和两侧的伸出部,在口字形结构中设有填充块,在配合框两侧的伸出部配置有调平螺栓。
[0016]本技术的有益效果如下:
[0017]本技术采用的碳化硅组件为2~9根碳化硅杆并排组成,相互间隔一定的距离,末端通过陶瓷的端部组合件夹紧、固定在一起,在保证了多根碳化硅杆平面度的同时,使碳化硅杆组件受力更均匀。在同等的宽度条件下,本技术的碳化硅杆组件所能承受的重量是现有碳化硅桨所能承受重量的1.5~2倍,同时碳化硅杆制作简单,价格低廉,特别是在大口径、高载重量的情况下更有技术优势。
附图说明
[0018]图1为本技术的立体图。
[0019]图2为本技术的主视图。
[0020]图3为图2中的A部放大图。
[0021]图中:1、支撑杆;2、夹具组件;3、支承杆;4、端部组合件;5、调平组件;6、夹持框;7、压紧块;8、紧固件;9、端部柱塞;10、端部连接板;11、调平框体;12、调平螺栓。
具体实施方式
[0022]下面结合附图,说明本技术的具体实施方式。
[0023]如图1至图3所示,本技术所述的工艺炉内支承机构从机械臂向前伸出一根支撑杆1,在支撑杆1的长度方向上至少设有前后两个夹具组件2,每个夹具组件2同时连接支撑杆1和支撑杆1下方的并排设置的多根支承杆3,多根支承杆3长度相同且相互之间等间隔并排设置,并向前伸出具有一个自由端。支承杆3向前伸出的自由端上设有端部组合件4,端部组合件4将多个支承杆3的自由端并列联接在一起。支承杆3优选为碳化硅杆,数量优选为2~9根。在支撑杆1上还设有前后两个调平组件5,前调平组件5位于前后两个夹具组件2之间,后调平组件5位于后夹具组件2的后方。
[0024]夹具组件2包括夹持框6、压紧块7和紧固件8,夹持框6整体为一个凸字形框体,包括上部的支撑杆配合卡箍和下部的支承杆配合卡口。支撑杆配合卡箍的开口朝上、左右为C字形,顶部设有凸耳,凸耳上配置有连接销,支撑杆配合卡箍卡住支撑杆1后,通过连接销开孔内的紧固件8将凸耳相互靠紧,实现卡箍锁紧作用。支承杆配合卡口采用多个卡口并列设置,每个卡口与支承杆3一一对应。支承杆3穿过支承杆配合卡口并被支承杆配合卡口卡紧。支承杆配合卡口的上部为矩形段、下部为半圆形段,在矩形段内填充有压紧块7,压紧块7的下边采用弧形结构,使支承杆3的上半圆周被夹紧。下部的半圆形段与上部的矩形段采用一体成型。另外,下部的半圆形段还可以为可拆卸分离的活动部件,此时,下部的半圆形段与
上部的矩形段通过侧部的螺栓安装在一起。在压紧块7与支承杆配合卡口之间还可以设有斜垫块,用于增强压紧块7的压紧作用。
[0025]端部组合件4包括端部柱塞9和端部连接板10,端部连接板10上开设有与端部柱塞9一一对应的连接孔。端部柱塞9为短的柱体结构,一端插入支承杆3的自由端内部,并通过螺钉固定在支承杆3上,另一端嵌入端部连接板10上对应的连接孔内,并通过螺钉固定连接。端部连接板10将多个支承杆3的自由端并列联接。端部柱塞9优选为陶瓷柱塞,端部连接板10优选为陶瓷连接板。
[0026]调平组件5包括调平框体11和与调平框体11配合的调平螺栓12,调平框体11包括顶板、配合框和填充块,配合框为开口朝上的倒几字形框体,与顶板通过螺钉连接在一起,构成一个封闭的口字形和两侧的伸出部。在口字形结构中填充有填充块,填充块上下成对设置,且相对边开设有弧形结构,上下填充块将支撑杆1卡在其中。在配合框两侧的伸出部开设有螺纹孔,螺纹孔内配置有调平螺栓12,调平螺栓12贯穿螺纹孔,调平螺栓12杆部的自由端为一个圆帽形。前调平组件5的调平螺栓12杆部朝下,支承在L字形架体的配合垫上,后调平组件5的调平螺栓本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工艺炉内支承机构,其特征在于:从机械臂向前伸出一根支撑杆(1),在支撑杆(1)的长度方向上至少设有前后两个夹具组件(2),每个夹具组件(2)同时连接支撑杆(1)和支撑杆(1)下方的并排设置的多根支承杆(3),多根支承杆(3)长度相同且相互之间等间隔并排设置,支承杆(3)向前伸出的自由端上设有端部组合件(4),端部组合件(4)将多个支承杆(3)的自由端并列联接在一起。2.根据权利要求1所述的工艺炉内支承机构,其特征在于:支承杆(3)为碳化硅杆,数量为2~9根。3.根据权利要求1所述的工艺炉内支承机构,其特征在于:夹具组件(2)至少包括夹持框(6),夹持框(6)整体为一个凸字形框体,包括上部的支撑杆配合卡箍和下部的支承杆配合卡口。4.根据权利要求3所述的工艺炉内支承机构,其特征在于:支撑杆配合卡箍的开口朝上、左右为C字形,顶部设有凸耳,凸耳上配置有连接销,通过连接销开孔内的紧固件(8)将凸耳相互靠紧,实现卡箍锁紧。5.根据权利要求3所述的工艺炉内支承机构,其特征在于:支承杆配合卡口采用多个卡口并列设置,每个卡口与支承杆(3)一一对应,支承杆(3)穿过支承杆配合卡口并被支承杆配合卡口卡紧。6.根据权利要求5所述的工艺炉内支承机构,其特征在于:支承杆配合卡口的上部为...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈庆敏李丙科张海洋
申请(专利权)人:无锡松煜科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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