本发明专利技术公开了一种倾斜装置及晶圆片同侧倾斜方法，倾斜装置包括：存取单元具有多个单元格，各单元格沿水平方向阵列排布，且用于容纳片状板，单元格具有供片状板进出单元格的敞口的，其下部具有开口；支撑座能够定位存取单元；顶板设置在所述支撑座朝向存取单元一侧的表面上，并沿各单元格的阵列排布方向延伸，顶板的上表面倾斜设置，并通过开口与各单元格内的片状板相接触。该倾斜装置及晶圆片同侧倾斜方法通过设置倾斜的顶板于支撑座上，存取单元内的片状板与顶板接触，达到片状板同侧倾斜的目的，节约成本，结构简单，稳定性高。同时，实现片状板的同侧倾斜、均匀排列，使得片状板在特定环境下处理的更加均匀流畅，对于处理的提升有积极意义。有积极意义。有积极意义。
【技术实现步骤摘要】
倾斜装置及晶圆片同侧倾斜方法
[0001]本专利技术涉及一种倾斜装置及晶圆片同侧倾斜方法。
技术介绍
[0002]在片盒槽式湿处理工艺中，需要先将片盒内的晶圆片朝向同一侧再进行湿处理工艺，所以将晶圆片在湿处理工艺的处理槽中如何倾斜设置，是一个需要解决的问题。
[0003]在中国专利CN105529282B的文件中，公开了一种将单片晶圆片通过支撑杆支撑，使得该晶圆片在湿处理工艺的处理槽中倾斜设置的技术方案。但是该方案仅能够针对单片晶圆片进行倾斜，目前的湿处理工艺中大多采用批量处理的方法加工处理晶圆片，因此该专利所提供的技术方案对于大批量处理的晶圆片来说并不是十分适用。
技术实现思路
[0004]本专利技术要解决的技术问题是为了克服现有技术中难以将晶圆片批量的同侧倾斜，导致处理工艺复杂的缺陷，提供一种倾斜装置及晶圆片同侧倾斜方法。
[0005]本专利技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题：
[0006]一种倾斜装置，所述倾斜装置还包括：存取单元，所述存取单元具有多个单元格，各所述单元格沿水平方向阵列排布，各所述单元格用于容纳片状板，所述单元格具有供所述片状板进出所述单元格的敞口的，所述单元格的下部具有开口；支撑座，所述支撑座能够定位所述存取单元；顶板，所述顶板设置在所述支撑座朝向所述存取单元一侧的表面上，并沿各所述单元格的阵列排布方向延伸，所述顶板的上表面倾斜设置，并通过所述开口与各单元格内的片状板相接触。
[0007]该倾斜装置，通过在存取单元内设置多个单元格以同时容纳多个包括晶圆片在内的片状板。并且，通过支撑座定位存取单元相对顶板的位置，顶板的位置摆放方向设置成沿存取单元内的单元格的排列方向延伸，使顶板的上表面通过存取单元的开口与各片状板的下端进行接触，以利用片状板自身的重力，使片状板能够沿着顶板的倾斜表面滑动至相对的低点，从而使得容纳在存取单元内的各单元格内的片状板朝着同一侧倾斜，以便于后续湿处理等工艺的实施。因此，该方法可以实现批量倾斜片状板的目的，结构简单，成本较低，且效率高，稳定性高。也实现存取单元内的片状板的同侧倾斜、均匀排列，可以使得片状板在特定环境下处理的更加均匀、流畅，对于处理的提升有积极意义。
[0008]另外，在完成特定环境下处理等工艺之后，将存取单元相对顶板取下，使存取单元保持作为这些片状板的载体，使这些片状板可以连同存取单元一起进行后续工艺，无需再将片状板相对存取单元的单元格取出。因此，该方法对后续工艺的匹配度较高，便于后续工艺的继续实施。且该倾斜装置的结构简单，具备便于制造等优点。
[0009]较佳地，各个所述单元格在所述存取单元内等间距设置。
[0010]各个单元格用于装载容纳片状板，当存取单元放置在支撑座上使倾斜的顶板和单元格内的片状板相接触时，也使得等间距设置在存取单元的单元格内的片状板也等间距排
列，可以使得片状板在特定的处理工艺中均匀排列，处理的更加均匀、流畅和稳定。
[0011]较佳地，所述片状板和所述顶板之间的摩擦力小于所述片状板的下滑力。
[0012]当存取单元放置在支撑座上使得倾斜的顶板和存取单元内的片状板相接触时，片状板在倾斜的顶板上受到重力的作用会向顶板的下坡滑动即产生一个下滑力，所以片状板和顶板之间的摩擦力小于片状板的下滑力时，片状板和顶板接触并做相向运动，片状板就会一直滑落到单元格内顶板的倾斜方向的最低端。所以对于片状板的倾斜具有较好的促进作用。
[0013]较佳地，所述支撑座为底座，所述底座朝向所述存取单元的一侧为水平面。
[0014]支撑座为底座，且将底座朝向存取单元的一侧为水平面，可以使得承载支撑存取单元的受力面积更大，使得承载支撑存取单元的稳定性更高；进而将存取单元存取单元的承载支撑、定位的效果更佳。
[0015]较佳地，所述倾斜装置还包括限位挡板，所述限位挡板安装在沿所述顶板方向的所述支撑座的两端上。
[0016]当承载容纳较多片状板的存取单元放置在支撑座上时，可能会由于重量较大或者存取单元内的片状板向同一侧倾斜，导致存取单元本身的结构形式承受不住较多片状板的倾斜作用力，造成存取单元在支撑座上也向其内的片状板的倾斜方向倾斜，造成存取单元和/或片状板的损坏。所以在支撑座的两端上设置限位挡板，将存取单元夹持在两端的限位挡板之间，使得存取单元外在的结构形式和限位挡板共同承受存取单元内同侧倾斜的片状板的倾斜作用力，保证片状板在存取单元内倾斜时存取单元在支撑座上的稳定性、安全性和可靠性。
[0017]较佳地，所述顶板在所述支撑座上的位置被设置为：当所述存取单元定位于所述支撑座上时，使所述顶板位于所述片状板的正中心的下方。
[0018]将顶板设置在支撑座上连接支撑座两端的限位挡板的长度方向的中心轴线上，即将顶板设置在片状板与顶板接触时片状板的正中心的下方，也就是说，顶板位于片状板的最低端的点上。将顶板设置在该位置上的好处是，顶板在接触片状板时，顶板位于片状板的重心的最下端，可以使得顶板受到片状板的作用力更加均匀且稳定，且可以实现使得片状板同侧倾斜的效果更佳。
[0019]较佳地，所述限位挡板垂直于所述顶板的延伸方向设置。
[0020]如上述所述，当承载容纳较多板的存取单元放置在支撑座上时，可能会由于重量较大或者存取单元内的片状板向同一侧倾斜，导致存取单元本身的结构形式承受不住较多片状板的倾斜作用力，造成存取单元在支撑座上也向其内的片状板的倾斜方向倾斜。所以将限位挡板设置在垂直于顶板的延伸方向上，可以使得存取单元外在的结构形式和限位挡板共同承受存取单元内同侧倾斜的片状板的倾斜作用力，保证片状板在存取单元内倾斜时存取单元在支撑座上的稳定性、安全性和可靠性。
[0021]较佳地，所述顶板接触所述片状板的一端设置倒角结构。
[0022]将顶板接触片状板的一端上设置成倒角结构，可以减少顶板与片状板的接触面积，避免因顶板和片状板的接触面积较多，导致顶板损伤晶圆片的表面。
[0023]较佳地，所述片状板为晶圆片。
[0024]在湿处理工艺中，需要先将存取单元内的晶圆片设置成同侧排列，再进行下一步
的湿处理工艺，所以将该倾斜装置用于晶圆片的湿处理工艺中，使得存取单元内的晶圆片同侧倾斜，湿处理工艺过程会进行的更加均匀、流畅，对于湿处理工艺的提升有更加积极的作用。
[0025]较佳地，所述存取单元包括侧挡板和连接板，所述侧挡板分布在所述晶圆片的两侧，所述连接板的两端连接两块所述侧挡板，所述侧挡板和所述连接板围设形成所述单元格，所述侧挡板与其内部的所述晶圆片有多个接触支撑点。
[0026]通过侧挡板和连接板共同围设成单元格，将晶圆片放置在各个单元格内，通过晶圆片和侧挡板的接触支撑，使得晶圆片更好的卡接在存取单元内。
[0027]较佳地，所述侧挡板朝向底座方向为收缩状。
[0028]将侧挡板设置成这样的结构形式，使得侧挡板和其内的晶圆片有较多的接触支撑点，使得侧挡板支撑晶圆片时更加稳定、可靠。且在存取单元本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种倾斜装置，其特征在于，所述倾斜装置还包括：存取单元，所述存取单元具有多个单元格，各所述单元格沿水平方向阵列排布，各所述单元格用于容纳片状板，所述单元格具有供所述片状板进出所述单元格的敞口的，所述单元格的下部具有开口；支撑座，所述支撑座能够定位所述存取单元；顶板，所述顶板设置在所述支撑座朝向所述存取单元一侧的表面上，并沿各所述单元格的阵列排布方向延伸，所述顶板的上表面倾斜设置，并通过所述开口与各单元格内的片状板相接触。2.如权利要求1所述的倾斜装置，其特征在于，各个所述单元格在所述存取单元内等间距设置。3.如权利要求1所述的倾斜装置，其特征在于，所述片状板和所述顶板之间的摩擦力小于所述片状板的下滑力。4.如权利要求1所述的倾斜装置，其特征在于，所述支撑座为底座，所述底座朝向所述存取单元的一侧为水平面。5.如权利要求1所述的倾斜装置，其特征在于，所述倾斜装置还包括限位挡板，所述限位挡板安装在沿所述顶板方向的所述支撑座的两端上。6.如权利要求5所述的倾斜装置，其特征在于，所述顶板在所述支撑座上的位置被设置为：当所述存取单元定位于所述支撑座上时，使所述顶板位于所述片状板的正中心的下方。7.如权利要求5所述的倾斜装置，其特征在于，所述限位挡板垂直于所述顶板的延伸方向设置。8.如权利要求1所述的倾斜装置，其特征在于，所述顶板接触所述片状板的一端设置倒角结构。9.如权利要求1所述的倾斜装置，其特征在于，所述片状板为晶圆片。10....
【专利技术属性】
技术研发人员：史蒂文，
申请(专利权)人：新阳硅密上海半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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