一种石墨舟片及石墨舟制造技术

本实用新型专利技术公开一种石墨舟片及石墨舟，该石墨舟片包括石墨舟片本体以及设置在石墨舟片本体上的卡轴组合；石墨舟片本体上具有至少一个硅片放置区，硅片放置区具有顺次连接的第一边缘、第二边缘、第三边缘和第四边缘；卡轴组合包括设置在第一边缘的第一卡轴，设置在第三边缘的第二卡轴，以及设置在第二边缘的第三卡轴；第一卡轴的外端面为圆形，第二卡轴的外端面为三角形，第三卡轴的外端面为圆形或者三角形硅片放置区，该石墨舟片通过优化位于其上的卡轴组合中圆形卡轴及三角形卡轴的布置方式，从而减小卡轴对硅片的遮挡面积而减小背膜镀膜漏镀面积，以及减小EL发黑概率，提高硅片镀膜质量。膜质量。膜质量。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟片及石墨舟


[0001]本技术涉及太阳能电池制造
，特别涉及一种石墨舟片及石墨舟。

技术介绍

[0002]在太阳能电池生产过程中，背面钝化主要通过氧化铝、氮化硅二合一管式PECVD设备完成，管式PECVD设备中的硅片载体为石墨舟，具体为：石墨舟由多个石墨舟片组成，硅片卡设在石墨舟片的相应位置，以完成硅片的背面钝化工艺。
[0003]通常，石墨舟片包括石墨舟片本体以及设于石墨舟片本体上的包括至少三个具有相同形状外端面的卡轴的卡轴组合，通过卡轴组合将硅片固定在石墨舟片上。现有的卡轴组合布置方式下，由于卡轴外端面对硅片表面有遮挡，卡轴端面积较大对背膜遮挡而造成该区域漏镀，卡轴外端面较小易造成尖端放电，出现卡点烧焦而导致EL发黑的情况。
[0004]因此，需要寻找能有效减小上述镀膜不良影响的方法。

技术实现思路

[0005]为了解决现有技术的问题，本技术提供了一种石墨舟片及石墨舟，能有效减小硅片背面钝化工艺中EL发黑的同时减小卡轴造成硅片镀膜漏镀而影响镀膜完整性。
[0006]为解决上述技术问题，本技术提出如下第一技术方案：
[0007]一种石墨舟片，包括石墨舟片本体以及设置在所述石墨舟片本体上的卡轴组合；
[0008]所述石墨舟片本体上具有至少一个硅片放置区，所述硅片放置区具有顺次连接的第一边缘、第二边缘、第三边缘和第四边缘；
[0009]所述卡轴组合包括设置在所述第一边缘的第一卡轴，设置在所述第三边缘的第二卡轴，以及设置在所述第二边缘的第三卡轴；
[0010]所述第一卡轴的外端面为圆形，所述第二卡轴的外端面为三角形，所述第三卡轴的外端面为圆形或者三角形。
[0011]在一种较佳的实施方式中，所述第二卡轴高于所述第一卡轴，所述第三卡轴、第一卡轴之间的距离不超过所述第三卡轴、第二卡轴之间的距离。
[0012]在一种较佳的实施方式中，所述第一卡轴、第二卡轴或第三卡轴分别包括固定穿设于所述石墨舟片本体内的固定结构、与所述固定结构两端分别连接的两个卡紧结构，所述固定结构与所述卡紧结构之间形成卡紧所述硅片的卡槽；
[0013]所述卡紧结构远离所述固定结构的端面为所述外端面。
[0014]在一种较佳的实施方式中，所述卡槽为V型槽。
[0015]在一种较佳的实施方式中，所述卡槽的开口角度为30
°‑
70
°
。
[0016]在一种较佳的实施方式中，所述固定结构轴向长度大于所述石墨舟片本体的厚度，且所述固定结构的端部与所述石墨舟片本体同侧表面的垂直距离大于所述硅片的厚度。
[0017]在一种较佳的实施方式中，当所述卡紧结构的端面为三角形时，所述三角形一顶
角与所述硅片抵紧，且所述顶角相应的中线与所述硅片的侧边垂直。
[0018]本技术还提出如下第二技术方案：
[0019]一种石墨舟，所述石墨舟包括至少两个所述的石墨舟片。
[0020]本技术实施例提供的技术方案带来的有益效果是：
[0021]本技术公开一种石墨舟片及石墨舟，该石墨舟片包括石墨舟片本体以及设置在石墨舟片本体上的卡轴组合；石墨舟片本体上具有至少一个硅片放置区，硅片放置区具有顺次连接的第一边缘、第二边缘、第三边缘和第四边缘；卡轴组合包括设置在第一边缘的第一卡轴，设置在第三边缘的第二卡轴，以及设置在第二边缘的第三卡轴；第一卡轴的外端面为圆形，第二卡轴的外端面为三角形，第三卡轴的外端面为圆形或者三角形硅片放置区，该石墨舟片通过优化位于其上的卡轴组合中圆形卡轴及三角形卡轴的布置方式，从而减小卡轴对硅片的遮挡面积而减小背膜镀膜漏镀面积，以及减小EL发黑概率，提高硅片镀膜质量；
[0022]固定结构与卡紧结构之间形成卡紧所述硅片的卡槽，固定结构沿其轴向的长度大于石墨舟片本体的厚度，且固定结构的端部与石墨舟片本体同侧表面的垂直距离大于硅片的厚度，通过设置V型卡槽可便于硅片的装载，以及将卡槽设置一定宽度以实现与硅片的匹配，避免硅片碎片或掉片，避免导致镀膜绕镀情况。
附图说明
[0023]图1为实施例中的设于石墨舟片本体上的卡轴组合的结构示意图；
[0024]图2为实施例中石墨舟片本体上装载硅片的结构示意图；
[0025]图3为实施例中第一卡轴的主视图；
[0026]图4为实施例中第一卡轴的侧视图；
[0027]图5为实施例中第二卡轴的主视图；
[0028]图6为实施例中第二卡轴的侧视图。
[0029]标号说明：100
‑
石墨舟片本体，10
‑
硅片放置区，1
‑
第一边缘，2
‑
第二边缘，3
‑
第三边缘，4
‑
第四边缘，20
‑
第一卡轴，30
‑
第二卡轴，40
‑
第三卡轴，50
‑
硅片，11
‑
固定结构，12
‑
卡紧结构，13
‑
卡槽。
具体实施方式
[0030]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“垂直”“平行”“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示
相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0032]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0033]鉴于当前管式PECVD设备中进行硅片背面镀膜时，由于卡轴对硅片带来的漏镀膜以及EL发黑的情况，本实施例提供一种石墨舟片及石墨舟，能有效减小上述不良影响。
[0034]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟片，其特征在于，包括石墨舟片本体以及设置在所述石墨舟片本体上的卡轴组合；所述石墨舟片本体上具有至少一个硅片放置区，所述硅片放置区具有顺次连接的第一边缘、第二边缘、第三边缘和第四边缘；所述卡轴组合包括设置在所述第一边缘的第一卡轴，设置在所述第三边缘的第二卡轴，以及设置在所述第二边缘的第三卡轴；所述第一卡轴的外端面为圆形，所述第二卡轴的外端面为三角形，所述第三卡轴的外端面为圆形或者三角形。2.根据权利要求1所述的石墨舟片，其特征在于，所述第二卡轴高于所述第一卡轴，所述第三卡轴、第一卡轴之间的距离不超过所述第三卡轴、第二卡轴之间的距离。3.根据权利要求2所述的石墨舟片，其特征在于，所述第一卡轴、第二卡轴或第三卡轴分别包括固定穿设于所述石墨舟片本体内的固定结构、与所述固定结构两端分别连接的两个卡紧结构，所述固定结构与所述卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：张福庆，王贵梅，王盼，
申请(专利权)人：晶澳太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：