半导体清洗设备的控制系统、方法、电子设备及存储介质技术方案

本申请提供了一种半导体清洗设备的控制系统、方法、电子设备及存储介质，所述控制系统包括至少一个控制器、通信模块、数据采集模块以及清洗设备；控制器用于接收来自通信模块发送的通过数据采集模块所获取的清洗设备的性能参数，在确定获取到的工作模式为远程模式时，根据性能参数确定是否生成控制指令，若确定生成控制指令，根据工艺参数生成对应的控制指令，并将控制指令发送给通信模块；通信模块再将控制指令发送给清洗设备；清洗设备接收到控制指令后执行相应功能。采用本申请提供的技术方案能够通过控制器分别与数据采集模块和清洗设备之间的通信连接直接在工作控制区域实时对清洗设备进行监控以及远程控制，提高清洗设备的工作效率。洗设备的工作效率。洗设备的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
半导体清洗设备的控制系统、方法、电子设备及存储介质


[0001]本申请涉及半导体清洗设备的
，尤其是涉及一种半导体清洗设备的控制系统、方法、电子设备及存储介质。

技术介绍

[0002]SRD(Semiconductor Dryer Rquipment)即甩干机，是一种半导体清洗设备，实现了半导体器件的清洗甩干工作；EAP(Equipment Automation Programming)即设备自动化程序，实现了对SRD的实时监控，是工厂自动化不可缺少的控制系统。
[0003]目前，在半导体生产车间，存在大量清洗设备，都需要人工在现场对清洗设备进行控制，这就需要工作人员往返于现场以及工作控制区域来实现对清洗设备的控制，在对清洗设备进行控制调整时往返耗费了大部分时间，导致对清洗设备的控制效率较低。因此，如何实现对清洗设备的实时监控以及远程控制，提高清洗设备的工作效率，成为了亟待解决的问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种半导体清洗设备的控制系统、方法、电子设备及存储介质，能够通过控制器分别与数据采集模块和清洗设备之间的通信连接直接在工作控制区域实时对清洗设备进行监控以及远程控制，提高清洗设备的工作效率。
[0005]本申请主要包括以下几个方面：
[0006]第一方面，本申请实施例提供了一种半导体清洗设备的控制系统，所述控制系统包括至少一个控制器、通信模块、数据采集模块以及清洗设备；每一个控制器分别与数据采集模块以及清洗设备通过通信模块通信连接；<br/>[0007]所述控制器，用于实时接收所述通信模块发送的多个性能参数，在确定获取到的工作模式为远程模式时，根据所述多个性能参数确定是否生成控制指令，若确定生成控制指令，根据多个工艺参数生成对应的控制指令，并将所述控制指令发送给所述通信模块；
[0008]所述通信模块，用于接收所述数据采集模块发送的多个性能参数，并将所述多个性能参数发送给所述控制器；接收所述控制器发送的控制指令，并将所述控制指令发送给所述清洗设备；
[0009]所述数据采集模块，用于实时获取所述清洗设备的多个性能参数，将所述多个性能参数发送给所述通信模块；
[0010]所述清洗设备，用于接收所述通信模块发送的控制指令，根据所述控制指令执行相应功能。
[0011]进一步的，所述控制器还用于：
[0012]当检测到针对于工作模式或工艺参数的修改指令时，获取具有修改需求的登录用户对于工作模式或工艺参数对应的修改权限；
[0013]若所述登录用户对工作模式或工艺参数的修改权限为禁止，则拒绝修改，生成拒
绝修改的提示信息；
[0014]若所述登录用户对工作模式或工艺参数的修改权限为开启，则接受所述登录用户针对于工作模式或工艺参数的修改，并在修改后，生成修改成功的提示信息。
[0015]进一步的，所述控制器还用于：
[0016]检测所述多个性能参数中的任意一个性能参数是否达到对应的报警条件；
[0017]若所述多个性能参数中的任意一个性能参数达到报警条件，则进行报警，生成报警的提示信息；
[0018]根据所述报警的提示信息以及对应的历史记录列表中的修改记录，更新对应的工艺参数。
[0019]进一步的，所述根据所述多个性能参数确定是否生成控制指令时，所述控制器具体用于：
[0020]根据所述多个性能参数，确定是否满足生成控制指令的条件；
[0021]若满足所述条件，获取控制指令的生效时间，确定在所述生效时间生成控制指令；
[0022]若不满足所述条件，则拒绝生成控制指令，生成不能控制的提示信息。
[0023]进一步的，所述控制器包括至少一个操作界面，所述操作界面用于显示所述工作模式、多个性能参数、多个工艺参数以及提示信息，所述控制器还用于：
[0024]响应在所述操作界面上针对于工作模式的切换操作，获取工作模式。
[0025]进一步的，所述操作界面还包括多个工艺标识；其中，每个工艺标识对应多个工艺参数，所述控制器还用于：
[0026]响应针对于工艺标识的切换操作，获取工艺标识对应的工艺参数，并将所述工艺参数显示在当前的操作界面上。
[0027]进一步的，所述控制器还用于：
[0028]响应针对于多个工艺参数的更新操作，根据更新后的多个工艺参数，检测所述更新后的多个工艺参数是否满足工艺规则；
[0029]若满足，则更新成功，获取更新后的多个工艺参数，并根据更新后的多个工艺参数，生成更新控制指令；
[0030]若不满足，则更新失败，并生成更新失败的提示信息。
[0031]第二方面，本申请实施例还提供了一种半导体清洗设备的控制方法，所述控制方法应用于如上述任一项所述的半导体清洗设备的控制系统，所述控制方法包括：
[0032]控制所述控制器实时接收所述通信模块发送的多个性能参数，在确定获取到的工作模式为远程模式时，根据所述多个性能参数确定是否生成控制指令，若确定生成控制指令，根据多个工艺参数生成对应的控制指令，并将所述控制指令发送给所述通信模块；
[0033]控制所述通信模块接收所述数据采集模块发送的多个性能参数，并将所述多个性能参数发送给所述控制器，接收所述控制器发送的控制指令，并将所述控制指令发送给所述清洗设备；
[0034]控制所述数据采集模块实时获取所述清洗设备的多个性能参数，将所述多个性能参数发送给所述通信模块；
[0035]控制所述清洗设备接收所述通信模块发送的控制指令，根据所述控制指令执行相应功能。
[0036]第三方面，本申请实施例还提供一种电子设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如上述的半导体清洗设备的控制方法的步骤。
[0037]第四方面，本申请实施例还提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如上述的半导体清洗设备的控制方法的步骤。
[0038]本申请实施例提供的一种半导体清洗设备的控制系统、方法、电子设备及存储介质，所述控制系统包括至少一个控制器、通信模块、数据采集模块以及清洗设备；每一个控制器分别与数据采集模块以及清洗设备通过通信模块通信连接；所述控制器，用于实时接收所述通信模块发送的多个性能参数，在确定获取到的工作模式为远程模式时，根据所述多个性能参数确定是否生成控制指令，若确定生成控制指令，根据多个工艺参数生成对应的控制指令，并将所述控制指令发送给所述通信模块；所述通信模块，用于接收所述数据采集模块发送的多个性能参数，并将所述多个性能参数发送给所述控制器；接收所述控制器发送的控制指令，并将所述控制指令发送给所述清洗设备；所述数据采集模块，用于实时获取所述清洗设备的多个性能参数，将所述多个性能参数发送给所述通信本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗设备的控制系统，其特征在于，所述控制系统包括至少一个控制器、通信模块、数据采集模块以及清洗设备；每一个控制器分别与数据采集模块以及清洗设备通过通信模块通信连接；所述控制器，用于实时接收所述通信模块发送的多个性能参数，在确定获取到的工作模式为远程模式时，根据所述多个性能参数确定是否生成控制指令，若确定生成控制指令，根据多个工艺参数生成对应的控制指令，并将所述控制指令发送给所述通信模块；所述通信模块，用于接收所述数据采集模块发送的多个性能参数，并将所述多个性能参数发送给所述控制器；接收所述控制器发送的控制指令，并将所述控制指令发送给所述清洗设备；所述数据采集模块，用于实时获取所述清洗设备的多个性能参数，将所述多个性能参数发送给所述通信模块；所述清洗设备，用于接收所述通信模块发送的控制指令，根据所述控制指令执行相应功能。2.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述控制器还用于：当检测到针对于工作模式或工艺参数的修改指令时，获取具有修改需求的登录用户对于工作模式或工艺参数对应的修改权限；若所述登录用户对工作模式或工艺参数的修改权限为禁止，则拒绝修改，生成拒绝修改的提示信息；若所述登录用户对工作模式或工艺参数的修改权限为开启，则接受所述登录用户针对于工作模式或工艺参数的修改，并在修改后，生成修改成功的提示信息。3.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述控制器还用于：检测所述多个性能参数中的任意一个性能参数是否达到对应的报警条件；若所述多个性能参数中的任意一个性能参数达到报警条件，则进行报警，生成报警的提示信息；根据所述报警的提示信息以及对应的历史记录列表中的修改记录，更新对应的工艺参数。4.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述根据所述多个性能参数确定是否生成控制指令时，所述控制器具体用于：根据所述多个性能参数，确定是否满足生成控制指令的条件；若满足所述条件，获取控制指令的生效时间，确定在所述生效时间生成控制指令；若不满足所述条件，则拒绝生成控制指令，生成不能控制的提示信息。5.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述控制器包括至少一个操作界面，所述操作界面用于显示所述工作...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘军，
申请(专利权)人：苏州赛美特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：