基于RMS系统的数据呈现方法、装置、设备以及存储介质制造方法及图纸

本公开提供了一种基于RMS系统的数据呈现方法、装置、设备以及存储介质，其中，该方法包括：获取目标机台中生产半导体的生产数据序列的第一生产参数信息以及数据库中生产半导体的标准数据序列的第二生产参数信息；对比所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息，得到整体对比结果；对比所述第一生产参数信息中的第一子参数信息和所述第二生产参数信息中的第二子参数信息，得到详细对比结果；将所述整体对比结果展示在主生产监控页面，将所述详细对比结果展现在子生产监控页面。这样，可以提升数据比对准确性，通过将不同形式结果进行分层展示，可以提高用户的阅读效率。可以提高用户的阅读效率。可以提高用户的阅读效率。

【技术实现步骤摘要】
基于RMS系统的数据呈现方法、装置、设备以及存储介质


[0001]本公开涉及数据处理
，具体而言，涉及一种基于RMS系统的数据呈现方法、装置、设备以及存储介质。

技术介绍

[0002]随着科技的发展，半导体作为科技发展的硬件基础原料，也逐渐变得越来越重要。在制作半导体时是主要包括硅片的制作、晶圆的制作以及半导体的封测等工艺，在进行这些工艺的制作时，需要将制作半导体的机台中的生产参数和用户上传的生产参数进行分析对比，目前都是人工来分析对比，既无法保证数据对比的准确性，又消耗了大量的时间。

技术实现思路

[0003]本公开实施例至少提供一种基于RMS系统的数据呈现方法、装置、设备以及存储介质。这样，可以提升数据比对准确性，通过将不同形式结果进行分层展示，可以提高用户的阅读效率。
[0004]本公开实施例提供了一种基于RMS系统的数据呈现方法，所述方法包括：
[0005]获取目标机台中生产半导体的生产数据序列的第一生产参数信息以及数据库中生产半导体的标准数据序列的第二生产参数信息，其中，所述第一生产参数信息和第二生产参数信息为相同生产参数对应的信息；
[0006]对比所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息，得到整体对比结果；
[0007]对比所述第一生产参数信息中的第一子参数信息和所述第二生产参数信息中的第二子参数信息，得到详细对比结果，其中，所述第一子参数信息和第二子参数信息为相同生产参数对应的信息；
[0008]将所述整体对比结果展示在主生产监控页面，将所述详细对比结果展现在子生产监控页面。
[0009]一种可选的实施方式中，通过以下方式获取目标机台中生产半导体的生产数据序列的第一生产参数信息：
[0010]基于用户选择的目标机台的机台标识，获取该目标机台中所有生产半导体的生产数据序列的名称，其中，生产数据序列具有不同的版本信息，所述版本信息包括生效版本和草稿版本；
[0011]根据用户选择的生产数据序列的名称，确定具有该名称的生产数据序列；
[0012]基于从具有该名称的生产数据序列中筛选出的具有该名称的、生效版本的生产数据序列，确定所述生产数据序列的第一生产参数信息。
[0013]一种可选的实施方式中，在所述对比所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息，得到整体对比结果之前，所述方法还包括：
[0014]检测是否存在与所述第一生产参数信息的名称和腔体标识相同的所述第二生产参数信息，得到检测结果；其中，腔体标识为生产半导体的容器的标识；
[0015]将所述检测结果以表单的形式展现在所述主生产监控页面。
[0016]一种可选的实施方式中，若检测结果为存在，所述将所述检测结果以表单的形式展现在所述主生产监控页面，包括：
[0017]将所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息以表单的形式并排展现在所述主生产监控页面；
[0018]其中，所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息具有相同的生产参数信息名称和腔体标识。
[0019]一种可选的实施方式中，若检测结果为不存在，所述将所述检测结果以表单的形式展现在所述主生产监控页面，包括：
[0020]将所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息以表单的形式独立的、具有颜色标识的展现在所述主生产监控页面；
[0021]其中，所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息具有不同的生产参数信息和腔体名称。
[0022]一种可选的实施方式中，所述将所述整体对比结果展示在的主生产监控页面，将所述详细对比结果展现在子生产监控页面，包括：
[0023]将所述整体对比结果以链接文本的形式展现在主生产监控页面；
[0024]建立所述整体对比结果和所述详细对比结果的映射关系，并将建立映射关系后的所述详细对比结果以表单的形式展现在子生产监控页面，以响应用户在主生产监控页面的点击操作，跳转到子生产监控页面。
[0025]本公开实施例还提供一种基于RMS系统的数据呈现装置，所述装置包括：
[0026]数据获取模块，用于获取目标机台中生产半导体的生产数据序列的第一生产参数信息以及数据库中生产半导体的标准数据序列的第二生产参数信息，其中，所述第一生产参数信息和第二生产参数信息为相同生产参数对应的信息；
[0027]第一对比模块，用于对比所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息，得到整体对比结果；
[0028]第二对比模块，用于对比所述第一生产参数信息中的第一子参数信息和所述第二生产参数信息中的第二子参数信息，得到详细对比结果，其中，所述第一子参数信息和第二子参数信息为相同生产参数对应的信息；
[0029]结果展示模块，用于将所述整体对比结果展示在主生产监控页面，将所述详细对比结果展现在子生产监控页面。
[0030]一种可选的实施方式中，所述数据获取模块通过以下方式获取目标机台中生产半导体的生产数据序列的第一生产参数信息：
[0031]基于用户选择的目标机台的机台标识，获取该目标机台中所有生产半导体的生产数据序列的名称，其中，生产数据序列具有不同的版本信息，所述版本信息包括生效版本和草稿版本；
[0032]根据用户选择的生产数据序列的名称，确定具有该名称的生产数据序列；
[0033]基于从具有该名称的生产数据序列中筛选出的具有该名称的、生效版本的生产数据序列，确定所述生产数据序列的第一生产参数信息。
[0034]一种可选的实施方式中，所述装置还包括检测模块，所述检测模块用于：
[0035]检测是否存在与所述第一生产参数信息的名称和腔体标识相同的所述第二生产参数信息，得到检测结果；其中，腔体标识为生产半导体的容器的标识；
[0036]将所述检测结果以表单的形式展现在所述主生产监控页面。
[0037]一种可选的实施方式中，所述检测模块在用于若检测结果为存在，所述将所述检测结果以表单的形式展现在所述主生产监控页面时，具体用于：
[0038]将所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息以表单的形式并排展现在所述主生产监控页面；
[0039]其中，所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息具有相同的生产参数信息名称和腔体标识。
[0040]一种可选的实施方式中，所述检测模块在用于若检测结果为不存在，所述将所述检测结果以表单的形式展现在所述主生产监控页面时，具体用于：
[0041]将所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息以表单的形式独立的、具有颜色标识的展现在所述主生产监控页面；
[0042]其中，所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息具有不同的生产参数信息和腔体名称。
[0043]一种可选的实施方式中，所述结果展示模块，具体用于：
[0044]将所述整体对比结果以链接文本的形式展现在主生产监控页面；
[0045]建立所述整体对比结果和所述详细对比结果的映射关系，并将建立映射关系后的所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于RMS系统的数据呈现方法，其特征在于，所述方法包括：获取目标机台中生产半导体的生产数据序列的第一生产参数信息以及数据库中生产半导体的标准数据序列的第二生产参数信息，其中，所述第一生产参数信息和第二生产参数信息为相同生产参数对应的信息；对比所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息，得到整体对比结果；对比所述第一生产参数信息中的第一子参数信息和所述第二生产参数信息中的第二子参数信息，得到详细对比结果，其中，所述第一子参数信息和第二子参数信息为相同生产参数对应的信息；将所述整体对比结果展示在主生产监控页面，将所述详细对比结果展现在子生产监控页面。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过以下方式获取目标机台中生产半导体的生产数据序列的第一生产参数信息：基于用户选择的目标机台的机台标识，获取该目标机台中所有生产半导体的生产数据序列的名称，其中，生产数据序列具有不同的版本信息，所述版本信息包括生效版本和草稿版本；根据用户选择的生产数据序列的名称，确定具有该名称的生产数据序列；基于从具有该名称的生产数据序列中筛选出的具有该名称的、生效版本的生产数据序列，确定所述生产数据序列的第一生产参数信息。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述对比所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息，得到整体对比结果之前，所述方法还包括：检测是否存在与所述第一生产参数信息的名称和腔体标识相同的所述第二生产参数信息，得到检测结果；其中，腔体标识为生产半导体的容器的标识；将所述检测结果以表单的形式展现在所述主生产监控页面。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，若检测结果为存在，所述将所述检测结果以表单的形式展现在所述主生产监控页面，包括：将所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息以表单的形式并排展现在所述主生产监控页面；其中，所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息具有相同的生产参数信息名称和腔体标识。5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，若检测结果为不存在，所述将所述检测结果以表单的形式展现在所述主生产监控页面，包括：将所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息以表单的形式独立的、具有颜色标识的展现在所述主生产监控页面；其中，所述第一生产参数信息和所述第二生产参数信息具有不同的生产参数信息和腔体名称...

【专利技术属性】
技术研发人员：何建波，
申请(专利权)人：苏州赛美特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：