MEMS致动系统技术方案

本发明专利技术公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及连接到微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。其中该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器；该平面内MEMS致动器包括电磁致动器部分。器部分。器部分。

【技术实现步骤摘要】
MEMS致动系统
[0001]本申请要求2018年9月26日提交的第62/736,940号美国临时申请的权益，其内容通过引用并入本申请。


[0002]本公开总体涉及致动器，更具体地，涉及配置用于相机封装内的小型化MEMS致动器。

技术介绍

[0003]如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械运动。在诸如便携式设备、成像相关设备、电信组件和医疗仪器的许多应用中，将微型致动器适配在尺寸小、功率低和成本有限的这些应用内可以是有益的。
[0004]微机电系统(MEMS)技术在其最通常形式中可以被定义为使用微加工技术制造的小型化机械和机电元件的技术。MEMS器件的关键尺寸可以从远低于1微米变化到几毫米。通常，MEMS致动器比传统致动器更紧凑，并且它们消耗更少的功率。

技术实现思路

[0005]在一个实施方式中，提供了一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及连接到该微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。其中该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器；该平面内MEMS致动器包括一个电磁致动器部分。
[0006]以下特征的一个或多个可以被包括。光电器件可以连接一个或多个：平面内MEMS致动器；和平面外MEMS致动器。该平面内MEMS致动器可以为图像稳定致动器。该平面内MEMS致动器可以被配置为提供X轴直线移动和Y轴直线移动。该平面内MEMS致动器可以被进一步配置为提供Z轴旋转移动。该平面外MEMS致动器可以为自动对焦致动器。该平面外MEMS致动器可以被配置为提供Z轴直线移动。该电磁致动器部分可包括：至少一个磁性组件。该至少一个磁性组件可被配置为使该光电器件能够进行平面内移位。该至少一个磁性组件可包括多个磁性组件。该多个磁性组件可被配置为使所述光电器件能够进行x轴和/或y轴移位。
[0007]在另一个实施方式中，提供了一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器，该微机电系统(MEMS)致动器包括：包括电磁致动器部分的平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器；连接到该微机电系统(MEMS)致动器光电器件。
[0008]以下特征的一个或多个可以被包括。该电磁致动器部分可以包括：被配置为使所述光电器件能够进行平面内移位的至少一个磁性组件。该至少一个磁性组件可以包括多个磁性组件。该多个磁性组件可以被配置为使该光电器件能够进行x轴和/或y轴移位。
[0009]在另一个实施方式中，提供了一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供多轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器，该微机电系统(MEMS)致动器包括：包括电磁致动器部分的平面内MEMS致动器；以及连接到该微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。
[0010]以下特征的一个或多个可以被包括。该电磁致动器部分可包括：被配置为使所述光电器件能够进行平面内移位的至少一个磁性组件。该至少一个磁性组件可以包括多个磁性组件。该多个磁性组件可以被配置为使该光电器件能够进行x轴和/或y轴移位。该多个磁性组件还可以被配置为提供Z轴旋转移动。
[0011]在以下附图和说明书中描述一个或多个实施方式的细节。根据说明书、附图和权利要求书，其它特征和优点将变得显而易见。
附图说明
[0012]图1为根据本公开的各种实施例的MEMS封装的透视图；
[0013]图2A为根据本公开的各种实施例的具有光电器件的平面内MEMS致动器的示意图；
[0014]图2B为根据本公开的各种实施例的具有光电器件的平面内MEMS致动器的透视图；
[0015]图3为根据本公开的各种实施例的平面内MEMS致动器的示意图；
[0016]图4为根据本公开的各种实施例的梳齿驱动扇区的示意图；
[0017]图5为根据本公开的各种实施例的梳齿对的示意图；
[0018]图6为根据本公开的各种实施例的图5的梳齿对的指状物的示意图；
[0019]图7A
‑
7C为根据本公开的各种实施例的平面外MEMS致动器的一个实施例的示意图；以及
[0020]图8为根据本公开的各种实施例的MEMS封装的示意图；
[0021]图9
‑
10为根据本公开的各种实施例的电磁MEMS致动器的示意图；以及
[0022]图11为根据本公开各种实施例中图9至图10的电磁MEMS致动器的运动台的细节图；
[0023]图12为根据本公开各种实施例中图9至图10的电磁MEMS致动器的电磁致动器部分的细节图；以及
[0024]图13为根据本公开各种实施例中图9至图10的电磁MEMS致动器的剖面图。
[0025]各附图中的相同的附图标记表示相同的元件。
具体实施方式
[0026]系统概述：
[0027]参照图1，示出了根据本公开的各个方面的MEMS封装10。在该示例中，示出了MEMS封装10包括印刷电路板12、多轴MEMS组件14、驱动电路16、电子元件18、柔性电路20和电连接器22。多轴MEMS组件14可以包括(被配置为提供三轴直线移动的)微机电系统(MEMS)致动器24以及与该微机电系统(MEMS)致动器24连接的光电器件26。
[0028]如以下将更详细讨论的，微机电系统(MEMS)致动器24的示例可以包括但不限于平面内MEMS致动器、平面外MEMS致动器，以及平面内/平面外MEMS致动器的组合。例如，如果微机电系统(MEMS)致动器24是平面内MEMS致动器，那么平面内MEMS致动器可以包括(如以下将更详细讨论的)静电梳齿驱动致动系统。另外，如果微机电系统(MEMS)致动器24是平面外MEMS致动器，那么平面外MEMS致动器可以包括压电致动器或静电致动系统。此外，如果微机电系统(MEMS)致动器24是混合平面内/平面外MEMS致动器，那么组合平面内/平面外MEMS致动器可以包括静电梳齿驱动致动系统和压电致动系统。
[0029]如以下将更详细讨论的，光电器件26的示例可以包括但不限于图像传感器、保持器组件、UV滤光器和/或镜头组件。电子元件18的示例可以包括但不限于各种电子或半导体元件和器件。柔性电路20和/或连接器22可以被配置为将MEMS封装10电连接到例如智能电话或数码相机(表示为上位物件28)。
[0030]如以下将更详细讨论的，微机电系统(MEMS)致动器24的尺寸可以根据印刷电路板12的凹槽进行设定以使可以装配其内。印刷电路板12内的该凹槽的深度可以根据特定实施例和微机电系统(MEMS)致动器24的物理尺寸而变化。
[0031]在一些实施例中，MEMS封装10的一些元件可以使用各种环氧树脂/粘合剂连接在一起。例如，微机电系统(MEMS)致动器24的外框架可以包括接触片，它可以对应于印刷电路板12上的类似接触片。
[0032]还参照图2A所示的多轴MEMS组件14，其可以包括连接到微机电系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器，所述微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器，和平面外MEMS致动器；以及连接到所述微机电系统(MEMS)致动器的光电器件；其中所述平面内MEMS致动器包括电磁致动器部分。2.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述光电器件连接到以下的一个或多个：平面内MEMS致动器；以及平面外MEMS致动器。3.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器为图像稳定致动器。4.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器被配置为提供X轴直线移动和Y轴直线移动。5.根据权利要求4所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器被进一步配置为提供Z轴旋转移动。6.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器为自动对焦致动器。7.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器被配置为提供Z轴直线移动。8.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述电磁致动器部分包括：至少一个磁性组件。9.根据权利要求8所述的多轴MEMS组件，其中所述至少一个磁性组件被配置为使所述光电器件能够进行平面内移位。10.根据权利要求9所述的多轴MEMS组件，其中所述至少一个磁性组件包括多个磁性组件。11.根据权利要求10所述的多轴MEMS组件，其中所述多个磁性组件被配置为使所述光电器件能够进行x轴和/或y轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：王桂芹，马修，
申请(专利权)人：麦斯卓有限公司，
类型：发明
国别省市：