MEMS致动系统技术方案

本发明专利技术公开了一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器，以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】MEMS致动系统本申请要求2017年12月22日提交的第62/609,837号美国临时申请的权益，其内容通过引用并入本申请。
本公开总体涉及致动器，更具体地，涉及配置用于相机封装内的小型化MEMS致动器。
技术介绍
如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械移动。在诸如便携式设备、成像相关设备、电信组件和医疗仪器的许多应用中，将微型致动器适配在尺寸小、功率低和成本有限的这些应用内可以是有益的。微机电系统(MEMS)技术在其最通常形式中可以被定义为使用微加工技术制造的小型化机械和机电元件的技术。MEMS器件的关键尺寸可以从远低于1微米变化到几毫米。通常，MEMS致动器比传统致动器更紧凑，并且它们消耗更少的功率。
技术实现思路
在一个实施方式中，提供了一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器；以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。以下特征的一个或多个可以被包括。该微机电系统(MEMS)致动器可以包括：平面内MEMS致动器；以及平面外MEMS致本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多轴MEMS组件，包括：/n被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器；以及/n与所述微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171222 US 62/609,8371.一种多轴MEMS组件，包括：
被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器；以及
与所述微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。


2.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中所述微机电系统(MEMS)致动器包括：
平面内MEMS致动器；以及
平面外MEMS致动器。


3.根据权利要求2所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器为图像稳定致动器。


4.根据权利要求2所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器被配置为提供X轴直线移动和Y轴直线移动。


5.根据权利要求4所述的多轴MEMS组件，其中所述平面内MEMS致动器被进一步配置为提供Z轴旋转移动。


6.根据权利要求2所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器为自动对焦致动器。


7.根据权利要求2所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器被配置为提供Z轴直线移动。


8.根据权利要求7所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器被进一步配置为提供X轴旋转移动和Y轴旋转移动。


9.根据权利要求2所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器包括压电致动器。


10.根据权利要求2所述的多轴MEMS组件，其中所述平面外MEMS致动器包括多个不同致动区域。


11.根据权利要求10所述的多轴MEMS组件，其中所述多个不同致动区域中的每个被配置为单独可控，从而允许所述光电器件关于所述X轴和所述Y轴中的至少一个的旋转。


12.根据权利要求10所述的多轴MEMS组件，其中所述多个不同致动区域中的每个包括：
加强梁；
第一铰合，被配置为将所述加强梁连接到边框；以及
...

【专利技术属性】
技术研发人员：王桂芹，刘晓蕾，
申请(专利权)人：麦斯卓有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US