MEMS致动系统和方法技术方案

微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂，以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆。

MEMS actuation system and method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】MEMS致动系统和方法相关案件本申请要求以下美国临时申请的权益：2016年9月12日提交的第62/393,436号、2016年9月12日提交的第62/393,419号、2016年11月8日提交的第62/419,117号、2016年11月9日提交的第62/419,814号以及2016年11月11日提交的第62/420,960号；它们的内容通过引用并入本申请。
本公开通常涉及致动器，更具体地，涉及配置用于相机封装内的小型化MEMS致动器。
技术介绍
如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械运动。在诸如便携式设备、成像相关设备、电信组件和医疗仪器的许多应用中，对于微型致动器来说适配在小尺寸、低功率和成本有限的这些应用内可能是有益的。微机电系统(MEMS)技术在其最一般的形式中可以定义为使用微加工技术制造的小型化机械和机电元件的技术。MEMS器件的关键尺寸可以从远低于1微米到几毫米变化。通常，MEMS致动器比传统致动器更紧凑，并且它们消耗更少的功率。
技术实现思路
专利技术#2在一个实施方式中，微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂，以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆。以下特征可以包括其中一个或多个。主悬臂可包括连接到微机电系统(MEMS)的可移动部分的第一远端和连接到中间悬臂部分的第二远端。多个中间连杆可包括配置为与主悬臂不平行的两个中间连杆。两个中间连杆可以配置成基本垂直于主悬臂。多个中间连杆可包括配置为与主悬臂不平行的四个中间连杆。多个中间连杆可以配置为吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。多个中间连杆可以配置为扭转以吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。平面跨接结构可以配置为将中间悬臂部分的上表面连接到多个中间连杆的上表面。在另一个实施方式中，微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂，以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆，其中所述多个中间连杆包括配置为与主悬臂不平行的两个中间连杆。主悬臂包括连接到微机电系统(MEMS)的可移动部分的第一远端和连接到中间悬臂部分的第二远端。以下特征可以包括其中一个或多个。两个中间连杆可以配置成基本垂直于主悬臂。多个中间连杆可以配置为吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。多个中间连杆可以配置为扭转以吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。平面跨接结构可以配置为将中间悬臂部分的上表面连接到多个中间连杆的上表面。在另一实施方式中，微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分、配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂、配置为连接中间悬臂部分和微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆，以及配置为将中间悬臂部分的上表面连接到所述多个中间连杆的上表面的平面跨接结构。主悬臂包括连接到微机电系统(MEMS)的可移动部分的第一远端和连接到中间悬臂部分的第二远端。以下特征可以包括其中一个或多个。多个中间连杆可包括配置为与主悬臂不平行的两个中间连杆。两个中间连杆可以配置成基本垂直于主悬臂。多个中间连杆可包括配置为与主悬臂不平行的四个中间连杆。多个中间连杆可以配置为吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。多个中间连杆可以配置为扭转以吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。在以下附图和说明书中具体描述一个或多个实施方式。根据说明书、附图和权利要求书，其它特征和优点将变得显而易见。附图说明图1是根据本公开的各种实施例的封装的透视图；图2A是根据本公开的各种实施例的具有光电器件的平面内MEMS致动器的示意图；图2B是根据本公开的各种实施例的具有光电器件的平面内MEMS致动器的透视图；图3A是根据本公开的各种实施例的平面内MEMS致动器的示意图；图3B-3C是根据本公开的各种实施例的包括在图3A的平面内MEMS致动器内的连接组件的示意图；图4是根据本公开的各种实施例的梳齿驱动扇区的示意图；图5是根据本公开的各种实施例的梳齿对的示意图；图6A是根据本公开的各种实施例的图5的梳齿对的指状物的示意图；图6B-6F是根据本公开的各种实施例的悬臂应力降低系统的示意图；图6G-6L是根据本公开的各种实施例的指状物阵列缓冲(snubbing)系统的示意图；图7是根据本公开的各种实施例的平面内MEMS致动器和平面外致动器的组合的示意图；图8是根据本公开的各种实施例的平面外致动器的示意图；图9A是根据本公开的各种实施例的二致动器封装的剖视图；图9B是根据本公开的各种实施例的二致动器封装的剖视图细节；图10是根据本公开的各种实施例的变形的平面外致动器的剖视图细节；图11是根据本公开的各种实施例的图10的变形的平面外致动器的致动梁的剖视图；图12是根据本公开的各种实施例的包括单个致动器的封装的剖视图；图13A-13B是根据本公开的各种实施例的保持器组件的透视图；图14是根据本公开的各种实施例的组装包括单个致动器的封装的方法的流程图；图15是根据本公开的各种实施例的组装包括多个致动器的封装的方法的流程图；图16是根据本公开的各种实施例的拉链致动器的示意图；图17A-17C是根据本公开的各种实施例的图16中的拉链致动器的替代实施例的示意图；图18A-18B是根据本公开的各种实施例的图16的拉链致动器的替代实施例的示意图；图19A-19C是根据本公开的各种实施例的可滑动连接组件的示意图；各附图中的相同的附图标记表示相同的元件。具体实施方式系统概述：参照图1，示出了根据本公开的各个方面的MEMS封装10。在该示例中，所示封装10包括印刷电路板12、微机电系统(MEMS)组件14、驱动电路16、电子元件18、柔性电路20和电连接器22。微机电系统(MEMS)组件14可包括微机电系统(MEMS)致动器24和安装到微机电系统(MEMS)致动器24的光电器件26。微机电系统(MEMS)致动器24的示例可包括但不限于平面内MEMS致动器、平面外MEMS致动器，以及平面内/平面外MEMS致动器的组合。例如，如果微机电系统(MEMS)致动器24是平面内MEMS致动器，则平面内MEMS致动器可以包括静电梳齿驱动致动系统(以下将进行更详细的讨论)。另外，如果微机电系统(MEMS)致动器24是平面外MEMS致动器，则平面外MEMS致动器可包括压电致动系统或静电致动。且如果微机电系统(MEMS)致动器24为平面内/平面外混合MEMS致动器，则平面内/平面外MEMS致动器的组合可包括静电梳齿驱动致动系统和压电致动系统本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电系统(MEMS)悬臂组件，包括：/n中间悬臂部分；/n主悬臂，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分；和/n多个中间连杆，配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20160912 US 62/393,419;20160912 US 62/393,436;20161.一种微机电系统(MEMS)悬臂组件，包括：
中间悬臂部分；
主悬臂，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分；和
多个中间连杆，配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分。


2.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)悬臂组件，其中，所述主悬臂包括；
第一远端，连接到微机电系统(MEMS)的可移动部分；和
第二远端，连接到中间悬臂部分。


3.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)悬臂组件，其中，所述多个中间连杆包括：
配置为与主悬臂不平行的两个中间连杆。


4.根据权利要求3所述的微机电系统(MEMS)悬臂组件，其中，所述两个中间连杆配置为与所述主悬臂基本上正交。


5.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)悬臂组件，其中，所述多个中间连杆包括：
配置为与主悬臂不平行的四个中间连杆。


6.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)悬臂组件，其中，所述多个中间连杆配置为吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。


7.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)悬臂组件，其中，所述多个中间连杆配置为扭转以吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。


8.根据权利要求1所述的微机电系统(MEMS)悬臂组件，还包括：
平面跨接结构，配置为将中间悬臂部分的上表面连接到所述多个中间连杆的上表面。


9.一种微机电系统(MEMS)悬臂组件，包括：
中间悬臂部分；
主悬臂，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分；和
多个中间连杆，配置为将中间悬臂部分连接到微机电系统(MEMS)的一部分，其中所述多个中间连杆包括配置为与主悬臂不平行的两个中间连杆；
其中主悬臂包括连接到微机电系统(MEM...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓蕾，M·伍，王桂芹，G·莫拉比托，
申请(专利权)人：麦斯卓有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US