【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】MEMS致动系统和方法相关案件本申请要求以下美国临时申请的权益：2016年9月12日提交的第62/393,436号、2016年9月12日提交的第62/393,419号、2016年11月8日提交的第62/419,117号、2016年11月9日提交的第62/419,814号以及2016年11月11日提交的第62/420,960号；它们的内容通过引用并入本申请。
本公开通常涉及致动器，更具体地，涉及配置用于相机封装内的小型化MEMS致动器。
技术介绍
如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械运动。在诸如便携式设备、成像相关设备、电信组件和医疗仪器的许多应用中，对于微型致动器来说适配在小尺寸、低功率和成本有限的这些应用内可能是有益的。微机电系统(MEMS)技术在其最一般的形式中可以定义为使用微加工技术制造的小型化机械和机电元件的技术。MEMS器件的关键尺寸可以从远低于1微米到几毫米变化。通常，MEMS致动器比传统致动器更紧凑，并且它们消耗更少的功率。
技术实现思路
专利技术#4在一个实施方式中，制造微机电系统(MEMS)组件的方法包括将微机电系统(MEMS)致动器安装到一金属板。将图像传感器组件安装到微机电系统(MEMS)致动器。图像传感器组件电连接到微机电系统(MEMS)致动器，从而形成微机电系统(MEMS)子组件。以下特征可以包括其中一个或多个。将微机电系统(MEMS)致动器安装到一金属板可以包括将环氧树脂施加到金属板，将微机电系统(MEMS)致动器定...
【技术保护点】
1.一种制造微机电系统(MEMS)组件的方法，包括：/n将微机电系统(MEMS)致动器安装至一金属板；/n将图像传感器组件安装至微机电系统(MEMS)致动器上；以及/n将图像传感器组件电连接至微机电系统(MEMS)致动器，从而形成微机电系统(MEMS)子组件。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20160912 US 62/393,419;20160912 US 62/393,436;20161.一种制造微机电系统(MEMS)组件的方法，包括：
将微机电系统(MEMS)致动器安装至一金属板；
将图像传感器组件安装至微机电系统(MEMS)致动器上；以及
将图像传感器组件电连接至微机电系统(MEMS)致动器，从而形成微机电系统(MEMS)子组件。
2.根据权利要求1所述的制造微机电系统(MEMS)组件的方法，其中将微机电系统(MEMS)致动器安装至一金属板包括：
将环氧树脂施加至所述金属板；
将微机电系统(MEMS)致动器定位在环氧树脂上；以及
固化环氧树脂。
3.根据权利要求1所述的制造微机电系统(MEMS)组件的方法，其中将图像传感器组件安装至微机电系统(MEMS)致动器包括：
将环氧树脂施加至微机电系统(MEMS)致动器；
将图像传感器定位在环氧树脂上；以及
固化环氧树脂。
4.根据权利要求1所述的制造微机电系统(MEMS)组件的方法，其中将图像传感器组件电连接至微机电系统(MEMS)致动器包括：
将图像传感器组件引线接合到微机电系统(MEMS)致动器。
5.根据权利要求1所述的制造微机电系统(MEMS)组件的方法，还包括：
将微机电系统(MEMS)子组件安装至一印刷电路板。
6.根据权利要求5所述的制造微机电系统(MEMS)组件的方法，其中将微机电系统(MEMS)子组件安装至一印刷电路板包括：
将环氧树脂施加至所述印刷电路板；
将微机电系统(MEMS)子组件定位在环氧树脂上；以及
固化环氧树脂。
7.根据权利要求5所述的制造微机电系统(MEMS)组件的方法，还包括：
将微机电系统(MEMS)子组件电连接至所述印刷电路板。
8.根据权利要求7所述的制造微机电系统(MEMS)组件的方法，其中将微机电系统(MEMS)子组件电连接至所述印刷电路板包括：
将微机电系统(MEMS)子组件引线接合至所述印刷电路板。
9.根据权利要求8所述的制造微机电系统(MEMS)组件的方法，其中将微机电系统(MEMS)子组件电连接至所述印刷电路板还包括：
将引线接合封装在环氧树脂中。
10.根据权利要求1所述的制造微机电系统(MEMS)组件的方法，还包括：
将保持器组件安装至微机电系统(MEMS)子组件。
11.根据权利要求10所述的制造微机电系统(MEMS)组件的方法，其中将保持器组件安装至微机电系统(MEMS)子组件包括：
将环氧树脂施加至所述印刷电路板；
将保持器组件定位在环氧树脂上；以及
固化环...
【专利技术属性】
技术研发人员：M·伍，刘晓蕾，王桂芹，
申请(专利权)人：麦斯卓有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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