【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压电致动器制造方法相关申请的交叉引用本申请要求于2018年11月9日提交的美国临时申请No.62/758,229的权益；其内容通过引用并入本文。
本公开涉及制造致动器的方法，并且更具体地涉及制造压电致动器的方法。
技术介绍
如本领域中已知的，致动器可以用于将电子信号转换为机械运动。在诸如例如便携式设备、成像相关设备、电信组件和医疗仪器等很多应用中，可能有益的是，对于这些应用的小尺寸、低功率和成本约束适配微型致动器。微机电系统(MEMS)技术是一种其最通用形式可以定义为使用微制造技术制造的小型化机械和机电元件的技术。MEMS器件的关键尺寸可以从远低于1微米到几毫米不等。一般来说，MEMS致动器比常规致动器更紧凑，并且它们消耗的功率更少。
技术实现思路
在一种实现中，一种生成压电致动器的方法包括：在刚性衬底上形成压电构件；以及去除刚性衬底的一个或多个部分以在刚性衬底中形成一个或多个间隙，从而限定压电构件的至少一个可变形部分和压电构件的至少一个刚性部分。可以包括以下特征中的一个或多个。刚性衬底可以是金属板。压电构件可以包括：第一电极层；第二电极层；以及位于第一电极层与第二电极层之间的压电材料层。在刚性衬底上形成压电构件可以包括：在刚性衬底上形成第一电极层；在第一电极层上形成压电材料层；以及在压电材料层上形成第二电极层。在第一电极层上形成压电材料层可以包括将压电材料旋涂到第一电极层上。在第一电极层上形成压电材料层可以包括将压电材料溅射到第一电极层上。在刚性衬底上形成压电构件...
【技术保护点】
1.一种生成压电致动器的方法，包括：/n在刚性衬底上形成压电构件；以及/n去除所述刚性衬底的一个或多个部分以在所述刚性衬底中形成一个或多个间隙，从而限定所述压电构件的至少一个可变形部分和所述压电构件的至少一个刚性部分。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181109 US 62/758,2291.一种生成压电致动器的方法，包括：
在刚性衬底上形成压电构件；以及
去除所述刚性衬底的一个或多个部分以在所述刚性衬底中形成一个或多个间隙，从而限定所述压电构件的至少一个可变形部分和所述压电构件的至少一个刚性部分。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述刚性衬底是金属板。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述压电构件包括：
第一电极层；
第二电极层；以及
位于所述第一电极层与所述第二电极层之间的压电材料层。
4.根据权利要求3所述的方法，其中在刚性衬底上形成压电构件包括：
在所述刚性衬底上形成所述第一电极层；
在所述第一电极层上形成所述压电材料层；以及
在所述压电材料层上形成所述第二电极层。
5.根据权利要求4所述的方法，其中在所述第一电极层上形成所述压电材料层包括：
将压电材料旋涂到所述第一电极层上。
6.根据权利要求4所述的方法，其中在所述第一电极层上形成所述压电材料层包括：
将压电材料溅射到所述第一电极层上。
7.根据权利要求3所述的方法，其中在刚性衬底上形成压电构件还包括：
对所述压电材料层进行加热退火。
8.根据权利要求1所述的方法，其中去除所述刚性衬底的一个或多个部分以在所述刚性衬底中形成一个或多个间隙包括：
在所述刚性衬底的第一表面上形成一个或多个凹部。
9.根据权利要求8所述的方法，其中去除所述刚性衬底的一个或多个部分以在所述刚性衬底中形成一个或多个间隙还包括：
用填充材料填充所述刚性衬底的所述第一表面上的所述一个或多个凹部。
10.根据权利要求9所述的方法，其中去除所述刚性衬底的一个或多个部分以在所述刚性衬底中形成一个或多个间隙还包括：
在所述刚性衬底的第二表面上形成一个或多个凹部。
11.根据权利要求10所述的方法，其中所述刚性衬底的所述第二表面上的所述一个或多个凹部被定位和配置为暴露所述刚性衬底的所述第一表面上的所述一个或多个凹部内的所述填充材料的一部分。
12.根据权利要求10所述的方法，其中去除所述刚性衬底的一个或多个部分以在所述刚性衬底中形成一个或多个间隙还包括：
去除所述刚性衬底的所述第一表面上的所述一个或多个凹部内的所述填充材料以在所述刚性衬底中形成所述一个或多个间隙。
13.根据权利要求1所述的方法，还包括：
从所述刚性衬底上去除所述压电构件的一部分。
14.一种生成压电致动器的方法，包括：
在刚性衬底上形成压电构件，包括：
在所述刚性衬底上形成第一电极层，
在所述第一电极层上形成压电材料层，
在所述压电材料层上形成第二电极层，以及<...
【专利技术属性】
技术研发人员：王桂芹，刘晓蕾，马赫穆德·萨米，王宇峰，
申请(专利权)人：麦斯卓有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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