本发明专利技术公开了一种被配置为提供多轴移动的多轴MEMS组件，该多轴MEMS组件包括：第一平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少X轴移动；以及第二平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少Y轴移动；其中，第一平面内MEMS致动器被耦合至第二平面内MEMS致动器。至第二平面内MEMS致动器。至第二平面内MEMS致动器。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】MEMS致动系统
[0001]本申请要求2019年9月20日提交的第62/903，207号美国临时申请的权益，其内容通过引用并入本申请。
[0002]本公开总体涉及致动器，更具体地，涉及配置用于相机封装内的小型化MEMS致动器。
技术介绍
[0003]如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械运动。在诸如便携式设备、成像相关设备、电信组件和医疗仪器的许多应用中，将微型致动器适配在尺寸小、功率低和成本有限的这些应用内可以是有益的。
[0004]微机电系统(MEMS)技术在其最通常形式中可以被定义为使用微加工技术制造的小型化机械和机电元件的技术。MEMS器件的关键尺寸可以从远低于1微米变化到几毫米。通常，MEMS致动器比传统致动器更紧凑，并且它们消耗更少的功率。
技术实现思路
[0005]在一个实施方式中，一种被配置为提供多轴移动的多轴MEMS组件，该多轴MEMS组件包括：第一平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少X轴移动；第二平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少Y轴移动；其中，第一平面内MEMS致动器与第二平面内MEMS致动器耦合。
[0006]以下特征的一个或多个可以被包括。第一平面内MEMS致动器还可以被配置为能够沿Y轴移动。第二平面内MEMS致动器还可以被配置为能够沿X轴移动。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器可以形成一种堆叠式多轴微机电系统(MEMS)致动器。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的一个可以被定位在第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的另一个的上方。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器可以形成一种级联式多轴微机电系统(MEMS)致动器。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的一个被定位在第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的另一个的旁边。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的至少一个可以是静电MEMS致动器。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的至少一个可以是电磁MEMS致动器。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的至少一个可以是压电MEMS致动器。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的至少一个可以是图像稳定致动器。光电器件可以与第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的一个耦合。
[0007]在另一个实施方式中，一种被配置为提供多轴移动的多轴MEMS组件，该多轴MEMS组件包括：第一平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少X轴移动；第二平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少Y轴移动；光电器件，与第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的一个耦合；其中，第一平面内MEMS致动器与第二平面内MEMS致动器耦合；其中，第一
平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器形成堆叠式多轴微机电系统(MEMS)致动器。
[0008]以下特征的一个或多个可以被包括。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的至少一个可以是静电MEMS致动器。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的至少一个可以是电磁MEMS致动器。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的至少一个可以是压电MEMS致动器。
[0009]在再一个实施方式中，一种被配置为提供多轴移动的多轴MEMS组件，该多轴MEMS组件包括：第一平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少X轴移动；第二平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少Y轴移动；光电器件，与第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的一个耦合；其中，第一平面内MEMS致动器与第二平面内MEMS致动器耦合；其中，第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器形成级联式多轴微机电系统(MEMS)致动器。
[0010]以下特征的一个或多个可以被包括。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的至少一个可以是静电MEMS致动器。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的至少一个可以是电磁MEMS致动器。第一平面内MEMS致动器和第二平面内MEMS致动器中的至少一个可以是压电MEMS致动器。
[0011]在以下附图和说明书中描述一个或多个实施方式的细节。根据说明书、附图和权利要求书，其它特征和优点将变得显而易见。
附图说明
[0012]图1为根据本公开的各种实施例的MEMS封装的透视图；
[0013]图2A为根据本公开的各种实施例的具有光电器件的平面内MEMS致动器的示意图；
[0014]图2B为根据本公开的各种实施例的具有光电器件的平面内MEMS致动器的透视图；
[0015]图3为根据本公开的各种实施例的平面内MEMS致动器的示意图；
[0016]图4为根据本公开的各种实施例的梳齿驱动扇区的示意图；
[0017]图5为根据本公开的各种实施例的梳齿对的示意图；
[0018]图6为根据本公开的各种实施例的图5的梳齿对的指状物的示意图；
[0019]图7A
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7C为根据本公开的各种实施例的压电平面外MEMS致动器的示意图；
[0020]图7D为根据本公开的各种实施例的压电平面内MEMS致动器的示意图；
[0021]图8为根据本公开的各种实施例的MEMS封装的示意图；
[0022]图9
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10为根据本公开的各种实施例的电磁MEMS致动器的示意图；
[0023]图11为根据本公开的各种实施例的图9
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10的电磁MEMS致动器的运动台的详细视图；
[0024]图12为根据本公开的各种实施例的图9
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10的电磁MEMS致动器的电磁致动器部分的详细视图；
[0025]图13为根据本公开的各种实施例的图9
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10的电磁MEMS致动器的剖面图；
[0026]图14为根据本公开的各种实施例的锁定组件的示意图；
[0027]图15为根据本公开的各种实施例的锁定组件的另一示意图；
[0028]图16A
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16C为堆叠式单轴MEMS致动器的示意图；
[0029]图17A
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17C为堆叠式多轴MEMS致动器的示意图；以及
[0030]图18为级联式MEMS致动器的示意图。
[0031]各附图中的相同的附图标记表示相同的元件。
具体实施方式
[0032]系统概述：
[0033]参照图1，示出了根据本公开的各个方面的MEMS封装10。在该示例中，示出了MEMS封装10包括印刷电路板12、多轴MEMS组件14、驱动电路16、电子元件18、柔性电路20和电连接器22。多轴MEMS组件14可以包括(被配置为提供三轴直线移动的)微机电系统(MEMS)致动器24以及与该微机电系统(MEMS)致动器24耦合的光电器件本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种被配置为提供多轴移动的多轴MEMS组件，所述多轴MEMS组件包括：第一平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少X轴移动；以及第二平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少Y轴移动；其中，所述第一平面内MEMS致动器被耦合至所述第二平面内MEMS致动器。2.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中，所述第一平面内MEMS致动器还被配置为能够沿所述Y轴移动。3.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中，所述第二平面内MEMS致动器还被配置为能够沿所述X轴移动。4.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中，所述第一平面内MEMS致动器和所述第二平面内MEMS致动器形成堆叠式多轴微机电系统(MEMS)致动器。5.根据权利要求4所述的多轴MEMS组件，其中，所述第一平面内MEMS致动器和所述第二平面内MEMS致动器中的一个被定位在所述第一平面内MEMS致动器和所述第二平面内MEMS致动器中的另一个的上方。6.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中，所述第一平面内MEMS致动器和所述第二平面内MEMS致动器形成级联式多轴微机电系统(MEMS)致动器。7.根据权利要求6所述的多轴MEMS组件，其中，所述第一平面内MEMS致动器和所述第二平面内MEMS致动器中的一个被定位在所述第一平面内MEMS致动器和所述第二平面内MEMS致动器中的另一个的旁边。8.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中，所述第一平面内MEMS致动器和所述第二平面内MEMS致动器中的至少一个是静电MEMS致动器。9.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中，所述第一平面内MEMS致动器和所述第二平面内MEMS致动器中的至少一个是电磁MEMS致动器。10.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中，所述第一平面内MEMS致动器和所述第二平面内MEMS致动器中的至少一个是压电MEMS致动器。11.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，其中，所述第一平面内MEMS致动器和所述第二平面内MEMS致动器中的至少一个是图像稳定致动器。12.根据权利要求1所述的多轴MEMS组件，还包括：光电器件，被耦合至所述第一平面内MEMS致动器...
【专利技术属性】
技术研发人员：马修，
申请(专利权)人：麦斯卓有限公司，
类型：发明
国别省市：
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