芯片测试机和芯片测试装置制造方法及图纸

技术编号:32812557 阅读:50 留言:0更新日期:2022-03-26 20:06
本申请提供一种芯片测试机和芯片测试装置,涉及半导体技术领域。测试机包括:测试机主体、开关组件、切换组件和测试电路板;开关组件和切换组件设置在测试机主体上;测试电路板设置在测试机主体内部;切换组件与开关组件连接,测试电路板通过切换组件与开关组件连接。测试装置包括:测试机、第一分选机和第二分选机;第一分选机与测试机的开关组件连接,测试机用于在第二分选机对第二分选机中的第一芯片进行移动时,对第一分选机中的第二芯片进行测试;第二分选机与测试机的开关组件连接,测试机用于在第一分选机对第二芯片进行移动时,对第一芯片进行测试。本申请设置两个分选机,能够利用芯片的移动时间,有效地提高了芯片测试的效率。试的效率。试的效率。

【技术实现步骤摘要】
芯片测试机和芯片测试装置


[0001]本申请涉及半导体
,具体而言,涉及一种芯片测试机和芯片测试装置。

技术介绍

[0002]由于芯片制造的工艺复杂程度在不断增加,且不同厂家不同设备的生产都存在差异,很可能导致生产出的芯片不合格,因此在芯片行业中,芯片从制造到出货前需要进行十分严格的测试,保证出货质量。
[0003]在集成电路封装好后需要对芯片进行电性能测试,例如开短路测试、漏电测试、射频信号测试(包含增益,隔离,开关时间等)等及外观测试,以剔除芯片中的不良品。现有技术中,对芯片进行检测的集成电路射频测试机的测试方式中,由于分选机对芯片进行转动和取放时,存在无所以在取放的过程中,存在一定的移动时间,测试机与分选机在移动时间内无法进行测试,导致芯片的测试速度较慢,从而导致芯片的测试效率较低。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本申请实施例的目的在于提供一种芯片测试机和芯片测试装置,以改善现有技术中存在的芯片测试效率较低的问题。
[0005]为了解决上述问题,第一方面,本申请实施例提供了一种芯片测试机,所述测试机包括:测试机主体、开关组件、切换组件和测试电路板;
[0006]所述开关组件和所述切换组件设置在所述测试机主体上;
[0007]所述测试电路板设置在所述测试机主体内部;
[0008]所述切换组件与所述开关组件连接,所述切换组件,用于对所述开关组件进行切换;
[0009]所述测试电路板通过所述切换组件与所述开关组件连接,所述测试电路板,用于对所述切换组件进行控制;
[0010]所述开关组件,用于连接外部的至少两个分选机。
[0011]在上述实现方式中,在测试机主体上设置开关组件与切换组件,通过切换组件连接测试电路板和开关组件,通过开关组件和切换组件的连接实现对开关的切换,以对通过开关组件对外部连接的多个分选机进行单独连接。通过测试机主机内的测试电路板实现对开关切换的控制,能够根据电路控制对开关进行准确地切换,提高开关切换的准确性。
[0012]可选地,所述开关组件包括第一开关和第二开关;
[0013]所述测试电路板通过所述第一开关与外部的第一分选机连接;
[0014]所述测试电路板通过所述第二开关与外部的第二分选机连接。
[0015]在上述实现方式中,通过切换组件与开关组件的电性连接,让测试电路板分别与第一开关和第二开关进行连接,能够使测试机的测试电路板通过第一开关与外部的第一分选机连接,通过第二开关与第二分选机连接。以实现在不同时间段内,对开关开启和闭合的控制。提高了开关控制的准确性和针对性。
[0016]第二方面,本申请实施例还提供了一种芯片测试装置,所述装置包括:如上述一种芯片测试机中任意一项所述的测试机、第一分选机和第二分选机;
[0017]所述第一分选与所述测试机的所述开关组件连接,所述测试机用于在所述第二分选机对所述第二分选机中的第一芯片进行移动时,对所述第一分选机中的第二芯片进行测试;
[0018]所述第二分选机与所述测试机的所述开关组件连接,所述测试机用于在所述第一分选机对所述第二芯片进行移动时,对所述第一芯片进行测试。
[0019]在上述实现方式中,通过第一分选机和第二分选机与测试机的开关组件之间的连接,能够在第二分选机对第二分选机上的第一芯片进行移动时,在第一分选机上由测试机对第一分选机上的第二芯片进行测试;在第一分选机对第一分选机上的第二芯片进行移动时,在第二分选机上由测试机对第二分选机上的第一芯片进行测试。能够利用两个分选机中任意一个分选机对芯片进行移动和取放的移动时间,在另一分选机上进行芯片测试,有效地利用了芯片的移动时间,减少了测试机的闲置时间,从而有效地提高了芯片性能测试的效率。
[0020]可选地,所述第一分选机设置有多个第一检测工位,多个所述第一检测工位用于对应放置所述第二芯片中的多个芯片。
[0021]在上述实现方式中,通过在第一分选机中设置多个第一检测工位,能够对第二芯片中的多个芯片进行对应地放置,以供测试机对第二芯片进行测试时,能够对多个芯片同时进行测试,以提高第二芯片的测试效率。
[0022]可选地,所述第二分选机设置有多个第二检测工位,多个所述第二检测工位用于对应放置所述第一芯片中的多个芯片。
[0023]在上述实现方式中,通过在第二分选机中设置多个第二检测工位,能够对第一芯片中的多个芯片进行对应地放置,以供测试机对第一芯片进行测试时,能够对多个芯片同时进行测试,以提高第一芯片的测试效率。
[0024]可选地,所述装置还包括第一控制线和第二控制线;
[0025]所述第一分选机通过所述第一控制线与所述开关组件连接;
[0026]所述第二分选机通过所述第二控制线与所述开关组件连接。
[0027]在上述实现方式中,通过第一控制线和第二控制线,实现第一分选机与测试机的开关组件之间的连接和第二分选机与开关组件之间的连接,能够对两个分选机与测试机的开关组件进行分别连接,以实现两个分选机的独立控制,由测试机对两个分选机中的芯片分别进行测试,提高了电路线控的稳定性和可靠性。
[0028]可选地,所述开关组件包括第一开关和第二开关;
[0029]所述第一开关与所述第一控制线连接;
[0030]所述第二开关与所述第二控制线连接。
[0031]在上述实现方式中,通过第一开关与第一控制线的连接,第二开关和第二控制线的连接,能够实现测试机与第一分选机和第二分选机之间的分别连接和开关切换,提高了两条线路的稳定性。
[0032]可选地,所述切换组件在所述第二分选机对所述第一芯片进行移动时,与所述第一开关连接,以开启所述第一开关;
[0033]所述切换组件在所述第一分选机对所述第二芯片进行移动时,与所述第二开关连接,以开启所述第二开关。
[0034]在上述实现方式中,通过测试装置的切换组件与开关组件的连接,对第一开关和第二开关进行控制,以在第二分选机对第一芯片进行移动时,对第一开关进行开启,在第一分选机对第二芯片进行移动时,对第二开关进行开启,实现开关的切换。
[0035]可选地,所述测试电路板在所述第二分选机对所述第一芯片进行移动时,通过所述切换组件、所述第一开关和所述第一控制线与所述第一分选机连接;
[0036]所述测试电路板在所述第一分选机对所述第二芯片进行移动时,通过所述切换组件、所述第二开关和所述第二控制线与所述第二分选机连接。
[0037]在上述实现方式中,测试电路板与切换组件连接,以通过切换组件与开关组件进行切换控制,实现测试机在第二分选机对第一芯片进行移动时,测试电路板与第一开关的连接,第一分选机对第二芯片进行移动时,测试电路板与第二开关的连接。测试电路板通过第一开关和第一控制线与第一分选机连接,通过第二开关和第二控制线与第二分选机连接,分别连接两条独立线路,以实现对两个分选机分别的信号分配。将信号分别发送到对应的分选机内以本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片测试机,其特征在于,所述测试机包括:测试机主体、开关组件、切换组件和测试电路板;所述开关组件和所述切换组件设置在所述测试机主体上;所述测试电路板设置在所述测试机主体内部;所述切换组件与所述开关组件连接,所述切换组件,用于对所述开关组件进行切换;所述测试电路板通过所述切换组件与所述开关组件连接,所述测试电路板,用于对所述切换组件进行控制;所述开关组件,用于连接外部的至少两个分选机。2.根据权利要求1所述的测试机,其特征在于,所述开关组件包括第一开关和第二开关;所述测试电路板通过所述第一开关与外部的第一分选机连接;所述测试电路板通过所述第二开关与外部的第二分选机连接。3.一种芯片测试装置,其特征在于,所述装置包括:如权利要求1

2中任意一项所述的测试机、第一分选机和第二分选机;所述第一分选与所述测试机的所述开关组件连接,所述测试机用于在所述第二分选机对所述第二分选机中的第一芯片进行移动时,对所述第一分选机中的第二芯片进行测试;所述第二分选机与所述测试机的所述开关组件连接,所述测试机用于在所述第一分选机对所述第二芯片进行移动时,对所述第一芯片进行测试。4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述第一分选机设置有多个第一...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈群彭报
申请(专利权)人:嘉盛半导体苏州有限公司
类型:新型
国别省市:

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