一种场效应管的制造装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种场效应管的制造装置，属于半导体芯片制造技术领域，包括运输装置、移动装置、挤压装置和切割装置，所述运输装置设置在地面，所述移动装置设置在运输装置上，所述挤压装置设置在运输装置的侧壁上，所述切割装置设置在运输装置上。本实用新型专利技术通过运输装置、移动装置和挤压装置的配合对场效应管的管脚进行压齐，对降温完成后的五金压铸件，通过切割装置对场效应管的管脚进行裁剪裁齐。齐。齐。

【技术实现步骤摘要】
一种场效应管的制造装置


[0001]本技术涉及半导体芯片制造
，具体是涉及一种场效应管的制造装置。

技术介绍

[0002]金属氧化物半导体型场效应管是电压控制的一种放大器件，是组成数字集成电路的基本单元。随着MOSFET加工技术的发展，器件的栅氧化层越来越薄，对静电放电现象的伤害变得更加敏感。
[0003]如公开号为CN106486368B的专利一种场效应管的制造方法，先后在外延基片上进行两次多晶硅生长，并将两次生长的多晶硅区用二氧化硅隔离开，其中，第一多晶硅区与栅极和源极对应，第二多晶硅区与齐纳二极管区对应，通过将第一多晶硅区和第二多晶硅区分开制作，并单独调整各自的离子注入参数，将齐纳二极管的多晶硅与栅极多晶硅分开制作，使齐纳二极管的参数可以单独调整，从而可以提高齐纳二极管的性能，和可靠性，使MOSFET的综合性能达到最优。
[0004]但是，上述装置在使用中还存在以下问题：无法对场效应管的管脚进行调整对齐，无法对场效应管的管脚进行裁剪裁齐。

技术实现思路

[0005]本技术实施例提供一种场效应管的制造装置，以解决无法对场效应管的管脚进行调整对齐，无法对场效应管的管脚进行裁剪裁齐的技术问题。
[0006]本技术实施例采用下述技术方案：一种场效应管的制造装置，包括运输装置、移动装置、挤压装置和切割装置，所述运输装置设置在地面，所述移动装置设置在运输装置上，所述挤压装置设置在运输装置的侧壁上，所述切割装置设置在运输装置上。
[0007]进一步，所述运输装置包括运输支撑座、运输电机、运输螺纹杆、运输滑动块、运输配合板、运输固定板、配合滑动板、运输限位块、运输限位槽、两个运输支撑板和两个运输滑动板，两个所述运输支撑板对称设置在运输支撑座上，两个所述运输滑动板对称设置在运输支撑座上，所述运输电机设置在其中一个运输支撑板的侧壁上，所述运输螺纹杆设置在运输电机的主轴上，所述运输螺纹杆的一端和另一个运输支撑板转动配合，所述运输滑动块设置在运输螺纹杆上，所述运输滑动块和运输螺纹杆螺纹配合，所述运输配合板设置在运输滑动块的顶部，所述运输配合板和运输滑动板滑动配合，所述运输固定板设置在运输配合板的顶部，所述配合滑动板设置在运输支撑板的顶部，所述运输固定板和配合滑动板滑动配合，所述运输限位块设置在运输固定板顶部，所述运输限位块上设有限位槽。
[0008]进一步，所述移动装置包括移动固定板、移动支撑板、移动电机、皮带和两个移动转动杆，所述移动固定板设置在运输支撑座的顶部，所述移动支撑板设置在移动固定板的顶部，所述移动电机设置在移动支撑板的侧壁上，两个所述移动转动杆对称设置在移动支撑板内，两个所述移动转动杆贯通移动支撑板，其中一个所述移动转动杆的一端和移动电
机固定连接，所述皮带套设在移动转动杆上。
[0009]进一步，所述挤压装置包括挤压支撑板、挤压气缸、挤压移动板和挤压限位槽，所述挤压支撑板设置在运输固定板的侧壁上，所述挤压气缸设置在挤压支撑板的底部，所述挤压移动板设置在挤压气缸的主轴上，所述挤压移动板底部设有挤压限位槽。
[0010]进一步，所述切割装置包括切割支撑座、切割限位块、切割支撑箱、切割固定板、切割电机、切割齿轮、切割齿板和切割刀片，所述切割支撑座设置在运输支撑座的顶部，所述切割限位块矩形设置在切割支撑座的侧壁上，所述切割支撑箱设置在切割支撑座的顶部，所述切割固定板设置在切割支撑箱的侧壁上，所述切割电机设置在切割固定板的顶部，所述切割齿轮设置在切割电机的主轴上，所述切割齿板设置在切割支撑箱内，所述切割齿轮和切割齿板啮合，所述切割刀片设置在切割齿板的底部。
[0011]技术实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：
[0012]其一，本技术在对场效应管进行制造时，运输电机工作带动运输螺纹杆进行转动，运输螺纹杆转动带动运输滑动块进行移动，运输滑动块移动带动运输配合板进行移动，运输配合板移动带动运输固定板进行移动，运输固定板移动带动运输限位块进行移动，当移动装置将场效应管移动到运输限位槽上，方便挤压装置对运输限位槽上的场效应管的脚管进行压齐作用。
[0013]其二，本技术在对场效应管进行制造时，挤压气缸工作带动挤压移动板进行移动，挤压限位槽和运输限位槽配合对场效应管的脚管进行挤压对齐的作用。
[0014]其三，本技术在对场效应管进行制造时，切割电机工作带动切割齿轮进行转动，切割齿轮转动带动切割齿板进行移动，切割齿板移动带动切割刀片，切割刀片移动通过挤压限位槽，对运输限位槽上的场效应管的脚管进行切割，将场效应管的脚管起到对齐的作用，方便后面人工对场效应管的使用。
附图说明
[0015]此处所说明的附图用来提供对技术的进一步理解，构成技术的一部分，技术的示意性实施例及其说明用于解释技术，并不构成对技术的不当限定。在附图中：
[0016]图1为本技术的立体结构示意图；
[0017]图2为本技术的运输装置的立体结构示意图；
[0018]图3为本技术的移动装置的立体结构示意图；
[0019]图4为本技术的挤压装置的立体结构示意图；
[0020]图5为本技术的切割装置的立体结构示意图；
[0021]图6为本技术的切割装置的剖视图。
[0022]附图标记
[0023]运输装置1，运输支撑座11，运输支撑板12，运输滑动板13，运输电机14，运输螺纹杆15，运输滑动块16，运输配合板17，运输固定板18，配合滑动板19，运输限位块10，运输限位槽101，移动装置2，移动固定板21，移动支撑板22，移动电机23，移动转动杆 24，皮带25，挤压装置3，挤压支撑板31，挤压气缸32，挤压移动板33，挤压限位槽34，切割装置4，切割支撑座41，切割限位块42，切割支撑箱43，切割固定板44，切割电机45，切割齿轮46，切割齿板
47，切割刀片48。
具体实施方式
[0024]为使技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合技术具体实施例及相应的附图对技术技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于技术保护的范围。以下结合附图，详细说明技术各实施例提供的技术方案。
[0025]参照图1至图6所示，本技术实施例提供一种场效应管的制造装置，包括运输装置1、移动装置2、挤压装置3和切割装置4，所述运输装置1设置在地面，所述移动装置2设置在运输装置1上，所述挤压装置3设置在运输装置1的侧壁上，所述切割装置4设置在运输装置1上；移动装置2将五金压铸件移动至移动装置2上，当场效应管脚移动到移动装置2上时，挤压装置3工作对运输装置1上的场效应管上的管脚进行压对齐，当挤压装置3对场效应管上的管脚进行压对齐后，运输装置1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种场效应管的制造装置，其特征在于：包括运输装置(1)、移动装置(2)、挤压装置(3)和切割装置(4)，所述运输装置(1)设置在地面，所述移动装置(2)设置在运输装置(1)上，所述挤压装置(3)设置在运输装置(1)的侧壁上，所述切割装置(4)设置在运输装置(1)上。2.根据权利要求1所述的一种场效应管的制造装置，其特征在于：所述运输装置(1)包括运输支撑座(11)、运输电机(14)、运输螺纹杆(15)、运输滑动块(16)、运输配合板(17)、运输固定板(18)、配合滑动板(19)、运输限位块(10)、运输限位槽(101)、两个运输支撑板(12)和两个运输滑动板(13)，两个所述运输支撑板(12)对称设置在运输支撑座(11)上，两个所述运输滑动板(13)对称设置在运输支撑座(11)上，所述运输电机(14)设置在其中一个运输支撑板(12)的侧壁上，所述运输螺纹杆(15)设置在运输电机(14)的主轴上，所述运输螺纹杆(15)的一端和另一个运输支撑板(12)转动配合，所述运输滑动块(16)设置在运输螺纹杆(15)上，所述运输滑动块(16)和运输螺纹杆(15)螺纹配合，所述运输配合板(17)设置在运输滑动块(16)的顶部，所述运输配合板(17)和运输滑动板(13)滑动配合，所述运输固定板(18)设置在运输配合板(17)的顶部，所述配合滑动板(19)设置在运输支撑板(12)的顶部，所述运输固定板(18)和配合滑动板(19)滑动配合，所述运输限位块(10)设置在运输固定板(18)顶部，所述运输限位块(10)上设有限位槽。3.根据权利要求2所述的一种场效应管的制造装置，其特征在于：所述移动装置(2)包括移动固定板(21)、移动支撑板(22)、移动电机(23)、皮带(25)和两...

【专利技术属性】
技术研发人员：柯汉忠，
申请(专利权)人：广东科信电子有限公司，
类型：新型
国别省市：