一种LED芯片清洗用载具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种LED芯片清洗用载具，包括抓取横梁、前板、后板、上固定板，前板、后板之间通过上固定板固定连接，两个所述的抓取横梁固定两个所述的上固定板上，抓取横梁的两端突出上固定板形成突出段，在前后方向上，两个所述的抓取横梁的相背侧端部设有倒角。将清洗载具的直角定位柱改变为斜边倒角形态，使得夹爪在抓取载具时，夹爪在接触定位柱时会自动从斜边面滑向侧面。从而实现：不会像直角形态那样容易卡夹爪，夹爪碰到抓取横梁时能够通过斜边也即倒角侧滑顺利的通过抓取横梁。过斜边也即倒角侧滑顺利的通过抓取横梁。过斜边也即倒角侧滑顺利的通过抓取横梁。

【技术实现步骤摘要】
一种LED芯片清洗用载具


[0001]本技术涉及半导体
，具体涉及一种LED芯片清洗用载具。

技术介绍

[0002]在现代LED生产制造过程中，晶片在匀上光刻胶、曝光、显影、蒸镀ITO、沉积SIO2后需要经过化学打胶、去胶、刻蚀、 腐蚀等工序处理，在ITO腐蚀和BOE腐蚀工序作业时就需要将晶片放在卡塞内，再将卡塞放于清洗载具中，由机械手将提篮依次放入指定的腐蚀槽进行处理，该腐蚀设备稼动率的提高及降低故障率一直时各个厂家追求的目标。
[0003]国内现有大部分LED制作行业都是使用同一种结构的清洗载具，虽然载具外观设计有所不同，但总体布局大同小异。当载载具使用时间过长存在松动、晃动时，机械手取篮就会发生异常，如机械手一边夹取到，领一边未夹取到，机械手上升时，载具机料盒会发生侧翻；或者两边均未取到，导致晶片过度腐蚀。
[0004]在芯片清洗机不停的作业过程中，清洗机夹爪抓取清洗载具的稳定性至关重要，一旦夹爪抓起清洗载具时卡到定位柱，机台就要停止作业，需要处理此故障后才能重新作业，浪费时间并会降低机台稼动率，耽误产能。所有降低夹爪抓取清洗载具卡死现象就成为提高机台稼动率、降低机台故障率的首要问题。

技术实现思路

[0005]本技术主要是针对清洗载具定位柱也即抓取横梁的形态进行重新设计，提供一种LED芯片清洗用载具，将清洗载具的直角定位柱改变为斜边倒角形态，使得夹爪在抓取载具时，夹爪在接触定位柱时会自动从斜边面滑向侧面。从而实现：不会像直角形态那样容易卡夹爪，夹爪碰到抓取横梁时能够通过斜边也即倒角侧滑顺利的通过抓取横梁。
[0006]本技术公开的技术方案如下：一种LED芯片清洗用载具，包括抓取横梁、前板、后板、上固定板，前板、后板之间通过上固定板固定连接，两个所述的抓取横梁固定两个所述的上固定板上，抓取横梁的两端突出上固定板形成突出段，在前后方向上，两个所述的抓取横梁的相背侧端部设有倒角。
[0007]在上述方案的基础上，作为优选，倒角在前后方向的长度不小于10mm。
[0008]在上述方案的基础上，作为优选，倒角为45度倒角。
[0009]在上述方案的基础上，作为优选，所述的抓取横梁、前板、后板、固定板的材质为耐酸碱、耐高温的PETF材质。
[0010]在上述方案的基础上，作为优选，前板、后板之间还固定安装有下固定板，下固定板上安装有承片板。
[0011]在上述方案的基础上，作为优选，承片板为倾斜板，承片板中间高、两侧低，且中间为平板，两侧与中间的角度为4
°
。
[0012]在上述方案的基础上，作为优选，承片板的材质为耐酸碱、耐高温的PETF材质。
[0013]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0014]本技术使用新载具后可以有效的解决ITO腐蚀和BOE腐蚀工序中因机械手取篮失败导致的产品过腐等品质异常，可以大大的减少机台故障率，减少机台停机时间，增加清洗机台的稼动率，提升产品品质，降低生产成本，提高经济效益。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图；
[0016]图2是横梁的结构示意图；
[0017]图3是U型的机械手夹具与抓取横梁位置出现偏差时的示意图；
[0018]图4是图3的立体图。
具体实施方式
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本技术的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
[0020]如图1
‑
4所示，一种LED芯片清洗用载具，包括抓取横梁1、前板2、后板3、上固定板4，前板2、后板3之间通过上固定板4固定连接，两个所述的抓取横梁1固定两个所述的上固定板4上，抓取横梁1的两端突出上固定板4形成突出段，在前后方向上，两个所述的抓取横梁的相背侧端部设有倒角5。
[0021]LED芯片清洗载具的抓取横梁设有45
°
倒角，采用的斜边倒角形态来代替传统的直角形态，使夹爪在抓取载具时，在接触抓取横梁时不会卡死而自动从斜边面滑向侧面，不会卡在抓取横梁的直角面，而从斜边面滑向侧面，夹爪的抓取动作能够顺利完成。避免夹爪动作不到位使机台报警，可以大大的减少机台故障率，减少机台停机时间，增加清洗机台的稼动率，提高产能。
[0022]将晶片放入所述清洗载具中，腐蚀槽工艺完成后机械手取所述清洗载具时，如果载具位置与机械手9存在偏差，可以通过抓取横梁顶端斜边倒角校正清洗载具的位置，可以避免未取到载具导致产品过腐、机台故障等现象。
[0023]其中，倒角在前后方向的长度不小于10mm，由于U型的机械手夹具与抓取横梁的误差通常小于10mm，因此，前后方向的长度不小于10mm为宜。
[0024]所述的抓取横梁、前板、后板、固定板的材质为耐酸碱、耐高温的PETF材质。
[0025]采用耐酸碱、耐高温的PETF材质的抓取横梁兼顾斜坡顺滑程度和定位柱的坚固程度。使定位柱达到侧边顺滑功能及坚固耐用效果。
[0026]前板、后板之间还固定安装有下固定板8，下固定板上安装有承片板7。
[0027]下固定板和承片板之间通过销钉连接6。
[0028]承片板为倾斜板，承片板中间高、两侧低，且中间为平板，两侧与中间的角度为4
°
。将晶片放置料盒中，料盒再放入所述清洗载具中，芯片正面一端面向底部承片倾斜板较高的一端，这样可以避免晶片在腐蚀过程中晶片的正面贴在卡塞的卡槽内，造成的腐蚀不净现象。
[0029]承片板的材质为耐酸碱、耐高温的PETF材质。
[0030]应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LED芯片清洗用载具，包括抓取横梁、前板、后板、上固定板，前板、后板之间通过上固定板固定连接，两个所述的抓取横梁固定两个所述的上固定板上，其特征在于，抓取横梁的两端突出上固定板形成突出段，在前后方向上，两个所述的抓取横梁的相背侧端部设有倒角。2.如权利要求1所述的LED芯片清洗用载具，其特征在于，倒角在前后方向的长度不小于10mm。3.如权利要求2所述的LED芯片清洗用载具，其特征在于，倒角为45度倒角。4.如权利要求1所述的LED芯片清洗用载具，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐东，杨辉，潘超，董如唱，常冰，
申请(专利权)人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：