【技术实现步骤摘要】
晶圆盖盒防夹伤斜坡治具
[0001]本技术涉及晶圆存放
,具体涉及一种晶圆盖盒防夹伤斜坡治具。
技术介绍
[0002]在硅晶圆存放过程中,都是以片盒为放置载体,片盒分为上盖、花篮、盒底三个部分,晶圆放置在花篮内。盒盖上方有左右2个卡槽用于固定晶片防止晃动造成污染以及刮伤。
[0003]以8寸花篮为例,间距为6.08mm,而晶片的厚度远远小于间距,晶片在花篮内可能会有倾斜问题,盖盒时,盒盖经常发生夹伤晶圆的情况、晶圆倾斜晶片边缘刮伤问题,只有晶圆不发生倾斜才能保证盖盒时不被夹伤,保证产品无异常。
技术实现思路
[0004]本技术要解决的技术问题是晶片存放过程,由于晶片在晶圆盒中发生倾斜而被刮伤的技术问题。
[0005]为了解决上述问题,本技术采用的技术方案为:一种晶圆盖盒防夹伤斜坡治具,包括治具本体,所述治具本体包括一个底面和表面,表面用于放置晶圆盒,底面为平面,表面与底面之间形成4~6
°
的夹角。
[0006]进一步的,所述治具本体上设置有若干个自上而下贯穿的孔洞。
[0007]进一步的,所述孔洞的孔径为5mm。
[0008]进一步的,所述治具本体的表面还设置有灯条用于照明晶圆盒内部。
[0009]进一步的,所述灯条为LED感应灯,当有晶圆盒放置在治具本体表面时,LED感应灯自动开启。
[0010]从上述技术方案可以看出本专利技术具有以下优点:采用坡面,晶片始终与晶片槽平行,盒盖在盖盒时不会发生刮伤,冲孔可以保证洁净度,LED ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盖盒防夹伤斜坡治具,包括治具本体,其特征在于:所述治具本体包括一个底面和表面,表面用于放置晶圆盒,底面为平面,表面与底面之间形成4~6
°
的夹角。2.根据权利要求1所述的晶圆盖盒防夹伤斜坡治具,其特征在于:所述治具本体上设置有若干个自上而下贯穿的孔洞。3.根据权利要求2所述的晶圆...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴勇,
申请(专利权)人:上海晶盟硅材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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