【技术实现步骤摘要】
本技术属于外延炉旋转水平改善，具体的说是一种外延炉旋转水平改善装置。
技术介绍
1、外延炉是半导体材料加工过程中重要的设备之一，目前商业化的气相沉积用外延炉，大部分为水平行星式反应室外延炉，其反应室内设置有大盘，大盘上设置若干用于放置衬底的小盘基座。大盘中心上方设置有与进气管路相通的注入器，源气由进气管路通过注入器进入反应室内部，并沿大盘的径向运输，尾气由大盘周缘的排气通道排出。大盘的底部设置有用于对反应室内进行加热的加热线圈。
2、但上述技术往往存在以下缺陷，旋转轴与安装盘开设的卡孔贴合处松动，且未对旋转轴进行夹持，使得旋转轴转动工作过程中产生的晃动，影响旋转稳定度，不便于保障基座水平度；因此，针对上述问题提出一种外延炉旋转水平改善装置。
技术实现思路
1、为了弥补现有技术的不足，解决了
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。
2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种外延炉旋转水平改善装置，包括基座；所述基座顶部设置有安装盘，所述安装盘开设有相通的安装槽与卡孔，所述卡孔贯穿安装盘顶部并卡接有旋转轴，所述安装槽内设置有贯穿安装盘的双向丝杆，所述双向丝杆一端设置有把手，所述双向丝杆对称连接有螺母，所述螺母连接有夹持组件，所述安装盘连接有与双向丝杆相适配的轴承，所述旋转轴外径尺寸为13.01-13.03mm；旋转轴外径尺寸优选为13.025mm，操作人员首先将外径尺寸为13.025mm的旋转轴插入卡孔使之卡接，旋转轴与卡孔之间为过盈配合，使之紧密
3、优选的，所述安装盘为上下两半式设置，且安装盘通过若干螺钉拼装连接；便于对安装盘进行拼装与拆卸，继而便于对安装槽内部组件进行拆装与管理。
4、优选的，夹持组件包括：与螺母相连接的连接板，所述连接板固定连接有夹板，所述夹板为圆弧形设置，且夹板与旋转轴外径相适配；螺母进行相向位移过程中带动连接板、夹板进行相向位移，直至夹板均与旋转轴外表面紧密相连，即可完成夹持操作。
5、优选的，所述连接板相向之面设置有硅胶垫，所述硅胶垫相向之面为磨砂状设置；通过设置硅胶垫便于起到缓冲作用，避免夹持过程中损坏旋转轴表面；通过设置所述硅胶垫相向之面为磨砂状，便于增大摩擦力，避免夹持过程中产生滑动。
6、优选的，所述连接板开设有卡槽，所述卡槽为弧形设置，所述卡槽与夹板之间通过螺栓紧固相连；通过螺栓便于对夹板进行更换安装；所述卡槽为弧形设置，便于与夹板适配相连，避免产生干涉。
7、更优选的，所述安装盘开设有与安装槽相通的避空槽，所述避空槽内设置有与安装盘相连接的弹簧，所述弹簧顶部连接有卡块，所述卡块外径与卡孔内径相适配；旋转轴与卡孔分离状态下，弹簧伸展并推动卡块直线向上位移并逐步与卡孔卡接，直至卡块上表面与安装盘上表面齐平，避免外部杂物(如：粉尘)进入卡孔及安装槽内部，便于维护卫生；且进行取出旋转轴时，夹板与旋转轴分离后，直线向上位移的卡块可推动旋转轴向上位移，便于取出。
8、本技术的有益效果如下：
9、1.本技术所述的一种外延炉旋转水平改善装置，通过将外径尺寸为13.025mm的旋转轴插入卡孔使之卡接，旋转轴与卡孔之间为过盈配合，使之紧密贴合，避免产生松动，然后顺时针转动把手，继而驱动双向丝杆，使得螺母带动夹持组件进行相向位移运动，直至夹持组件与旋转轴外表面紧密相连时停止转动把手，旋转轴与卡孔之间为过盈配合且夹持组件对旋转轴进行平稳夹持，有效改善旋转轴动工作过程中产生的晃动，增加旋转稳定度，保障基座水平度，对晶片的厚度阻值均匀性进行有效改善。
10、2.本技术所述的一种外延炉旋转水平改善装置，旋转轴与卡孔分离状态下，弹簧伸展并推动卡块直线向上位移并逐步与卡孔卡接，直至卡块上表面与安装盘上表面齐平，避免外部杂物(如：粉尘)进入卡孔及安装槽内部，便于维护卫生；且进行取出旋转轴时，夹板与旋转轴分离后，直线向上位移的卡块可推动旋转轴向上位移，便于取出。
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1.一种外延炉旋转水平改善装置，包括基座(1)；其特征在于：所述基座(1)顶部设置有安装盘(2)，所述安装盘(2)开设有相通的安装槽(3)与卡孔(4)，所述卡孔(4)贯穿安装盘(2)顶部并卡接有旋转轴(5)，所述安装槽(3)内设置有贯穿安装盘(2)的双向丝杆(6)，所述双向丝杆(6)一端设置有把手(8)，所述双向丝杆(6)对称连接有螺母(9)，所述螺母(9)连接有夹持组件，所述安装盘(2)连接有与双向丝杆(6)相适配的轴承(7)，所述旋转轴(5)外径尺寸为13.01-13.03mm。
2.根据权利要求1所述的外延炉旋转水平改善装置，其特征在于：所述安装盘(2)为上下两半式设置，且安装盘(2)通过若干螺钉(15)拼装连接。
3.根据权利要求2所述的外延炉旋转水平改善装置，其特征在于：夹持组件包括：与螺母(9)相连接的连接板(10)，所述连接板(10)固定连接有夹板(13)，所述夹板(13)为圆弧形设置，且夹板(13)与旋转轴(5)外径相适配。
4.根据权利要求3所述的外延炉旋转水平改善装置，其特征在于：所述连接板(10)相向之面设置有硅胶垫(14
5.根据权利要求4所述的外延炉旋转水平改善装置，其特征在于：所述连接板(10)开设有卡槽(11)，所述卡槽(11)为弧形设置，所述卡槽(11)与夹板(13)之间通过螺栓(12)紧固相连。
6.根据权利要求5所述的外延炉旋转水平改善装置，其特征在于：所述安装盘(2)开设有与安装槽(3)相通的避空槽(16)，所述避空槽(16)内设置有与安装盘(2)相连接的弹簧(17)，所述弹簧(17)顶部连接有卡块(18)，所述卡块(18)外径与卡孔(4)内径相适配。
...【技术特征摘要】
1.一种外延炉旋转水平改善装置，包括基座(1)；其特征在于：所述基座(1)顶部设置有安装盘(2)，所述安装盘(2)开设有相通的安装槽(3)与卡孔(4)，所述卡孔(4)贯穿安装盘(2)顶部并卡接有旋转轴(5)，所述安装槽(3)内设置有贯穿安装盘(2)的双向丝杆(6)，所述双向丝杆(6)一端设置有把手(8)，所述双向丝杆(6)对称连接有螺母(9)，所述螺母(9)连接有夹持组件，所述安装盘(2)连接有与双向丝杆(6)相适配的轴承(7)，所述旋转轴(5)外径尺寸为13.01-13.03mm。
2.根据权利要求1所述的外延炉旋转水平改善装置，其特征在于：所述安装盘(2)为上下两半式设置，且安装盘(2)通过若干螺钉(15)拼装连接。
3.根据权利要求2所述的外延炉旋转水平改善装置，其特征在于：夹持组件包括：与螺母(9)相连接的连接板(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：张健，陆军，黄喜，谭贞雄，
申请(专利权)人：上海晶盟硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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