具有团簇状小岛微结构的衬底和外延结构制造技术

技术编号:40888401 阅读:44 留言:0更新日期:2024-04-08 18:31
本技术涉及半导体领域,公开了一种具有团簇状小岛微结构的衬底和外延结构,该衬底包括表面具有周期性排布的凸起结构(101)的衬底本体(1),在所述凸起结构(101)的表面侧壁下部分布有若干团簇状的小岛微结构(102)。本衬底的凸起结构的表面和周围具有团簇状小岛微结构,这种团簇状小岛微结构相当于增加了凸起结构的密度,增大了其反射表面积,提高了LED器件的出光效率;增大衬底C面的图案化占比有利于提升侧向外延效果,以改善LED器件的内量子效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体,特别涉及一种具有团簇状小岛微结构的衬底和外延结构


技术介绍

1、半导体发光二极管(light-emission diodes,leds)因其具有体积小、能耗低、寿命长、环保耐用等优点,蓝、绿光gan基led芯片在显示、照明领域发展迅速;国内led照明已经取代普通照明约30%份额,为继续提高led在照明市场普及率,需要继续提升led在光亮度、光品质方面的性能。目前主流蓝绿gan基led外延片95%以上都是使用蓝宝石基板做衬底材料,蓝宝石衬底因硬度大、透光率高、工艺成熟等特点,在今后主流led市场仍将会是最主要的衬底材料。目前采用的蓝宝石衬底基本上都是进行了图形化( patterned sapphiresubstrates,pss)加工后再用于led外延生长。因为在pss衬底上生长氮化镓外延层可以减少外延缺陷,提高外延层晶体质量以提高led电学特性;另外,蓝宝石的折射率为1.8,氮化镓的折射率为2.5,由于折射率的差异,当光从氮化镓外延层进入蓝宝石图形衬底时,会形成全反射,从而改善gan基发光二极管出光率。基于pss衬底的外延材料制成的le本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有团簇状小岛微结构的图形化衬底,其特征在于,包括表面具有周期性排布的凸起结构(101)的衬底本体(1),相邻两个所述凸起结构(101)之间具有隔离沟槽(103),在所述凸起结构(101)的表面侧壁下部分布有若干团簇状的小岛微结构(102)。

2. 根据权利要求1所述的具有团簇状小岛微结构的图形化衬底,其特征在于,所述小岛微结构(102)的底径范围为10~500 nm,高度范围为5~1000 nm,间距范围为10~400 nm。

3.根据权利要求1所述的具有团簇状小岛微结构的图形化衬底,其特征在于,所述凸起结构(101)为圆锥体、金字塔状或导弹状结构。...

【技术特征摘要】

1.一种具有团簇状小岛微结构的图形化衬底,其特征在于,包括表面具有周期性排布的凸起结构(101)的衬底本体(1),相邻两个所述凸起结构(101)之间具有隔离沟槽(103),在所述凸起结构(101)的表面侧壁下部分布有若干团簇状的小岛微结构(102)。

2. 根据权利要求1所述的具有团簇状小岛微结构的图形化衬底,其特征在于,所述小岛微结构(102)的底径范围为10~500 nm,高度范围为5~1000 nm,间距范围为10~400 nm。

3.根据权利要求1所述的具有团簇状小岛微结构的图形化衬底,其特征在于,所述凸起结构(101)为圆锥体、金字塔状或导弹状结构。

4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:付星星孙帅王乐浩刘鹏黄静芦玲
申请(专利权)人:淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1