异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构技术方案

本发明专利技术涉及一种异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构，需要对靶材进行清理时，驱动组件带动清理环沿靶材的延伸方向移动，从而使得靶材插入清理腔内，进而能够利用至少两个清理件对靶材的表面进行清理，能够将搭在靶材与挡板之间的破损的硅片的碎片进行清理，避免靶材发生短路；同时，还能够对靶材表面上的粉尘进行清理，减少溅射过程中的原核点，还能减少靶材结瘤，提高镀膜品质，生产的薄膜的性能优良；并且，不需进行降温开腔清理，从而不需在清理后进行抽真空与升温，生产效率高，提高了产能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构


[0001]本专利技术涉及光伏
，特别是涉及一种异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构。

技术介绍

[0002]异质结太阳电池生产过程中，通常采用磁控溅射方法对硅片镀ITO(Indium tin oxide，氧化铟锡)膜层。为了降低成本，需要对硅片的厚度进行降低，而硅片的厚度降低后，进行镀膜时，硅片易破碎，破碎的硅片会搭在腔体与靶材之间而导致靶材短路。为了避免靶材短路，传统的方式为开腔进行清理，降低了生产效率。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对生产效率低的问题，提供一种异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构。
[0004]其技术方案如下：
[0005]一方面，提供了一种靶材清理机构，包括：
[0006]清理环，所述清理环设有安装腔；
[0007]至少两个清理件，至少两个所述清理件均设置于所述安装腔内并与所述清理环连接，至少两个所述清理件环绕所述清理环的周向设置并围设成与靶材的外部轮廓相匹配的清理腔；及
[0008]驱动组件，所述驱动组件与所述清理环传动连接，以驱动所述清理环沿所述靶材的延伸方向往复移动。
[0009]下面进一步对技术方案进行说明：
[0010]在其中一个实施例中，所述靶材清理机构还包括触发元件，所述触发元件与所述驱动组件电性连接，所述触发元件用于检测所述靶材的工作状态。
[0011]在其中一个实施例中，所述触发元件包括用于对所述靶材的图像进行采集的图像采集器。
[0012]在其中一个实施例中，所述触发元件包括用于对所述靶材的电气状况进行检测的电信号检测器。
[0013]在其中一个实施例中，所述驱动组件包括伸缩件，所述伸缩件设有沿所述靶材的延伸方向往复移动的伸缩端，所述伸缩端与所述清理环连接。
[0014]在其中一个实施例中，所述驱动组件还包括旋转件，所述旋转件设有安装端及旋转端，所述安装端与所述伸缩端连接，所述旋转端与所述清理环传动连接以使所述清理环绕所述清理环的中心轴线转动。
[0015]在其中一个实施例中，至少两个所述清理件中，至少部分所述清理件与所述清理环转动连接。
[0016]在其中一个实施例中，所述靶材清理机构还包括至少两个弹性复位件，至少两个
所述弹性复位件与至少两个清理件一一对应设置；其中，所述弹性复位件的一端与所述清理环连接，所述弹性复位件的另一端与对应的所述清理件连接。
[0017]在其中一个实施例中，所述清理件至少包括清理刷或清理喷头中的一种。
[0018]另一方面，提供了一种异质结太阳电池生产系统，包括靶材及用于对所述靶材进行清理的所述的靶材清理机构。
[0019]上述实施例的异质结太阳电池生产系统及靶材清理机构，需要对靶材进行清理时，驱动组件带动清理环沿靶材的延伸方向移动，从而使得靶材插入清理腔内，进而能够利用至少两个清理件对靶材的表面进行清理，能够将搭在靶材与挡板之间的破损的硅片的碎片进行清理，避免靶材发生短路；同时，还能够对靶材表面上的粉尘进行清理，减少溅射过程中的原核点，还能减少靶材结瘤，提高镀膜品质，生产的薄膜的性能优良；并且，不需进行降温开腔清理，从而不需在清理后进行抽真空与升温，生产效率高，提高了产能。
附图说明
[0020]构成本申请的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。
[0021]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为一个实施例的异质结太阳电池生产系统的结构示意图；
[0023]图2为图1的异质结太阳电池生产系统的靶材清理机构的俯视图；
[0024]图3为图1的异质结太阳电池生产系统的靶材清理机构的驱动组件的结构示意图。
[0025]附图标记说明：
[0026]100、清理环；110、安装腔；200、清理件；210、清理腔；300、驱动组件；310、伸缩件；311、伸缩端；320、旋转件；321、安装端；322、旋转端；400、靶材；500、碎片。
具体实施方式
[0027]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0028]如图1所示，在一个实施例中，提供了一种异质结太阳电池生产系统，包括靶材400及靶材清理机构。其中，利用靶材清理机构能够对靶材400进行及时、有效的清理，避免因靶材400受到影响而引起的镀膜品质问题。
[0029]其中，靶材400可以是现有的能够应用于磁控溅射工艺中以对硅片镀ITO膜层的元件。
[0030]如图2及图3所示，可选地，靶材清理机构包括清理环100、至少两个清理件200及驱动组件300。
[0031]其中，清理环100呈封闭的环状结构，清理环100的中间部位呈中空状而形成安装
腔110。清理环100可以采用铁等金属材质，也可以采用塑料等非金属材质，只需满足具备足够的强度和刚度即可。
[0032]另外，清理环100的投影轮廓可以为圆环形，也可以为方框形，可以根据实际的使用需要进行灵活的设计或调整。优选为安装腔110的轮廓形状与靶材400的轮廓形状相似。
[0033]其中，至少两个清理件200均设置于安装腔110内,并且,至少两个清理件200均与清理环100连接。
[0034]具体地，每个清理件200的一端与安装腔110的内侧壁连接，即清理件200的一端与清理环100连接，每个清理件200均朝向安装腔110的中心轴线方向延伸。
[0035]并且，至少两个清理件200环绕清理环100的周向设置。而且，至少两个清理件200围设成与靶材400的外部轮廓相匹配的清理腔210。如此，每个清理件200远离清理环100的一端围设形成能够供靶材400插入的清理腔210，从而能够利用清理件200对靶材400的表面进行清理。
[0036]另外，清理腔210的轮廓可以为圆形，也可以为矩形，可以根据实际的使用需要进行灵活的设计或调整。优选为清理腔210的轮廓形状与靶材400的轮廓形状相似。
[0037]其中，清理件200的具体使用数量可以根据实际使用需要进行灵活的调整或设计，只需满足靶材400的清理要求即可。
[0038]可选地，清理件200对靶材400的清理，可以通过与靶材400的表面进行接触实现，例如，清理件200可以为清理刷，通过清理刷的刷头对靶材400的表面进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材清理机构，其特征在于，包括：清理环，所述清理环设有安装腔；至少两个清理件，至少两个所述清理件均设置于所述安装腔内并与所述清理环连接，至少两个所述清理件环绕所述清理环的周向设置并围设成与靶材的外部轮廓相匹配的清理腔；及驱动组件，所述驱动组件与所述清理环传动连接，以驱动所述清理环沿所述靶材的延伸方向往复移动。2.根据权利要求1所述的靶材清理机构，其特征在于，所述靶材清理机构还包括触发元件，所述触发元件与所述驱动组件电性连接，所述触发元件用于检测所述靶材的工作状态。3.根据权利要求2所述的靶材清理机构，其特征在于，所述触发元件包括用于对所述靶材的图像进行采集的图像采集器，所述图像采集器与所述驱动组件电性连接。4.根据权利要求2所述的靶材清理机构，其特征在于，所述触发元件包括用于对所述靶材的电气信号进行检测的电信号检测器，所述电信号检测器与所述驱动组件电性连接。5.根据权利要求1至4任一项所述的靶材清理机构，其特征在于，所述驱动组件包括伸缩件，所述伸缩件设有沿所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏科胜，薛建锋，余义，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：