【技术实现步骤摘要】
本申请涉及太阳电池生产，特别是涉及一种镀膜与载板清洗一体化设备。
技术介绍
1、hjt电池(heterojunction with intrinsic thin layer，异质结电池)是一种高效晶硅太阳能电池结构。hjt电池的制造通常包括制绒清洗、pecvd(plasma enhancedchemical vapor deposition，等离子体增强化学气相沉积)、pvd(physical vapordeposition，物理气相沉积)、丝网印刷四大工序。随着hjt电池工艺技术的不断革新，电池片的效率也大幅度提升，机器设备不断改进创新，生产成本持续降低，生产效率也获得提升。
2、pvd工序以ar原子为介质，引入磁控溅射技术进行物理气象沉积，从而对硅片进行tco(透明导电薄膜)镀膜。在磁控溅射时机台在对硅片进行镀膜的同时，也会对载板进行镀膜。随着使用时间的增加，载板上的tco膜层叠加随之变厚，当载板使用圈数到达一定程度时，载板上的tco薄膜会影响到电池片的转换效率。
3、对此，行业内通常是在每次载板运动一圈后，...
【技术保护点】
1.一种镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述保护层形成装置(121)包括：
3.根据权利要求2所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述保护层去除装置(123)包括：
4.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述载板清洗装置(12)还包括：
5.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述载板清洗装置(12)还包括：
6.根据权利要求1所述的镀膜与载...
【技术特征摘要】
1.一种镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述保护层形成装置(121)包括：
3.根据权利要求2所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述保护层去除装置(123)包括：
4.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述载板清洗装置(12)还包括：
5.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述载板清洗装置(12)还包括：
6.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述镀层清洗装置(122)包括：
7.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备...
【专利技术属性】
技术研发人员：王陈，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：
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