【技术实现步骤摘要】
本申请涉及太阳电池生产，特别是涉及一种镀膜与载板清洗一体化设备。
技术介绍
1、hjt电池(heterojunction with intrinsic thin layer，异质结电池)是一种高效晶硅太阳能电池结构。hjt电池的制造通常包括制绒清洗、pecvd(plasma enhancedchemical vapor deposition，等离子体增强化学气相沉积)、pvd(physical vapordeposition，物理气相沉积)、丝网印刷四大工序。随着hjt电池工艺技术的不断革新，电池片的效率也大幅度提升，机器设备不断改进创新，生产成本持续降低，生产效率也获得提升。
2、pvd工序以ar原子为介质，引入磁控溅射技术进行物理气象沉积，从而对硅片进行tco(透明导电薄膜)镀膜。在磁控溅射时机台在对硅片进行镀膜的同时，也会对载板进行镀膜。随着使用时间的增加，载板上的tco膜层叠加随之变厚，当载板使用圈数到达一定程度时，载板上的tco薄膜会影响到电池片的转换效率。
3、对此，行业内通常是在每次载板运动一圈后，在自动上料处安排员工对载板进行主动清理和吸尘。当载板上的tco膜层对电池片的效率影响较大且主动清理吸尘效果不佳时，会对载板进行下线，然后将换下来的tco膜层较厚的载板送至生产厂家维修清洗后重新返厂使用。采用这种方式在进行大规模生产时，极大地限制了载板的使用效率，影响生产效率。
技术实现思路
1、基于此，有必要提供一种能够提高生产效率、提高产能的镀膜与
2、本申请提出的技术方案如下：
3、本申请的一个方面，提供了一种镀膜与载板清洗一体化设备，包括：
4、镀膜装置；
5、载板清洗装置，所述载板清洗装置包括依次设置的保护层形成装置、镀层清洗装置和保护层去除装置，所述保护层形成装置用于在载板的与待清洗面相背的掩膜面上形成保护层；
6、载板下料输送机构，所述载板下料输送机构的进料端与所述镀膜装置的出料端连接，所述载板下料输送机构的出料端与所述保护层形成装置的进料端连接；以及
7、载板上料输送机构，所述载板上料输送机构的进料端与所述保护层去除装置的出料端连接，所述载板上料输送机构的出料端与所述镀膜装置的进料端连接。
8、在任意的实施方式中，所述保护层形成装置包括：
9、正性光刻胶涂胶装置，所述正性光刻胶涂胶装置用于在载板的掩膜面上形成正性光刻胶保护层。
10、在任意的实施方式中，所述保护层去除装置包括：
11、曝光装置，所述曝光装置用于对所述载板上的所述正性光刻胶保护层进行曝光；以及
12、正性光刻胶去除装置，所述正性光刻胶去除装置用于去除曝光后的所述正性光刻胶保护层。
13、在任意的实施方式中，所述载板清洗装置还包括：
14、第一缓存腔，所述第一缓存腔设于所述载板下料输送机构与所述保护层形成装置之间。
15、在任意的实施方式中，所述载板清洗装置还包括：
16、第二缓存腔，所述第二缓存腔设于所述保护层去除装置与所述载板上料输送机构之间。
17、在任意的实施方式中，所述镀层清洗装置包括：
18、第一水洗槽，与所述保护层形成装置连接；
19、化学清洗槽，与所述第一水洗槽连接；以及
20、第二水洗槽，与所述化学清洗槽连接。
21、在任意的实施方式中，所述镀膜装置包括依次设置的第一过渡腔、加热腔、镀膜腔、冷却腔和第二过渡腔，所述第一过渡腔与所述载板上料输送机构的出料端连接，所述第二过渡腔与所述载板下料输送机构的进料端连接。
22、在任意的实施方式中，还包括：
23、载板回传机构，所述载板回传机构的一端与所述载板下料输送机构的出料端连接，所述载板回传机构的另一端与所述载板上料输送机构的进料端连接。
24、在任意的实施方式中，还包括：
25、摄像装置，所述摄像装置设于所述镀膜装置的出料端；以及
26、plc控制器，所述plc控制器分别与所述摄像装置、所述镀膜装置、所述载板清洗装置、载板下料输送机构、载板上料输送机构和所述载板回传机构连接。
27、在任意的实施方式中，沿所述镀膜与载板清洗一体化设备的高度方向上，所述载板清洗装置位于所述镀膜装置和所述载板回传机构之间。
28、与现有技术相比，本申请至少具有以下有益效果：
29、本申请的镀膜与载板清洗一体化设备，通过设置镀膜装置、载板清洗装置、载板下料输送机构和载板上料输送机构，其中载板清洗装置包括保护层形成装置、镀层清洗装置和保护层去除装置；该镀膜与载板清洗一体化设备将镀膜与载板清洗功能集于一体，可以方便地对载板上的镀层进行清洗并对载板上不需要清洗的部位进行保护，提高硅片镀膜生产线的生产效率和产能。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述保护层形成装置(121)包括：
3.根据权利要求2所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述保护层去除装置(123)包括：
4.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述载板清洗装置(12)还包括：
5.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述载板清洗装置(12)还包括：
6.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述镀层清洗装置(122)包括：
7.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述镀膜装置(11)包括依次设置的第一过渡腔(111)、加热腔(112)、镀膜腔(113)、冷却腔(114)和第二过渡腔(115)，所述第一过渡腔(111)与所述载板上料输送机构(14)的出料端连接，所述第二过渡腔(115)与所述载板下料输送机构(13)的进料端连接
8.根据权利要求1至7中任一项所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，还包括：
9.根据权利要求8所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，还包括：
10.根据权利要求8所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，沿所述镀膜与载板清洗一体化设备(10)的高度方向上，所述载板清洗装置(12)位于所述镀膜装置(11)和所述载板回传机构(15)之间。
...【技术特征摘要】
1.一种镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述保护层形成装置(121)包括：
3.根据权利要求2所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述保护层去除装置(123)包括：
4.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述载板清洗装置(12)还包括：
5.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述载板清洗装置(12)还包括：
6.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备(10)，其特征在于，所述镀层清洗装置(122)包括：
7.根据权利要求1所述的镀膜与载板清洗一体化设备...
【专利技术属性】
技术研发人员：王陈，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：
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