下载镀膜与载板清洗一体化设备的技术资料

文档序号:41379115

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本申请提供了一种镀膜与载板清洗一体化设备,包括:镀膜装置;载板清洗装置,载板清洗装置包括依次设置的保护层形成装置、镀层清洗装置和保护层去除装置;载板下料输送机构,载板下料输送机构的进料端与镀膜装置的出料端连接,载板下料输送机构的出料端与保护...
该专利属于通威太阳能(安徽)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通威太阳能(安徽)有限公司授权不得商用。

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