本实用新型专利技术涉及一种磁极方向调节装置以及镀膜设备。该磁极方向调节装置包括基座、磁性组件、极靴、极靴轴以及驱动机构。通过驱动机构带动极靴轴转动，使极靴随极靴轴同步运动，进而使磁性组件转动，这样可以方便地调节磁性组件的磁极方向。当需要改善工件的局部镀膜性能时，调节磁性组件的磁极方向，可以加强或者减弱工件的局部镀膜程度。尤其是，当需要在工件的多个表面进行镀膜时，与传统的镀膜方式相比，采用该调节装置能够通过对磁极方向的调节来缩小不同表面镀层的差异，有效提高工件不同面的膜层厚度的一致性。面的膜层厚度的一致性。面的膜层厚度的一致性。
【技术实现步骤摘要】
磁极方向调节装置以及镀膜设备
[0001]本技术涉及镀膜
，尤其是涉及一种磁极方向调节装置以及镀膜设备。
技术介绍
[0002]磁控溅射镀膜是目前使用较多的一种镀膜方式。通过磁控溅射可以在工件表面得到所需要的导电膜、光学膜、增硬膜、抗腐蚀膜、磁性膜、增透膜、减反膜以及多种装饰膜。随着消费者对产品性能需求的不断提高，磁控溅射的使用范围越来越广泛。在磁控溅射镀膜的过程中，膜层的均匀性是一个重要的考量指标。为了提高膜层的均匀性，传统的方式往往是通过调节镀膜时的真空度、电压以及工件转速等因素来调节膜层的均匀性。这些调节方式虽然能够在一定程度上改善膜层的均匀性，但是这些方式往往只是具有良好的普调性，即对工件整体具有良好的调节性能，而难以对工件的局部位置进行调节，尤其是需要在工件的多个表面进行镀膜时，难以有效保持工件不同面的膜层厚度的一致性。
技术实现思路
[0003]基于此，有必要提供一种能够有效提高工件局部镀膜性能的镀膜设备及其磁极方向调节装置。
[0004]为了解决以上技术问题，本技术的技术方案为：
[0005]一种磁极方向调节装置，包括基座、磁性组件、极靴、极靴轴以及驱动机构；所述极靴轴可转动连接于所述基座，所述磁性组件连接于所述极靴，所述极靴固定于所述极靴轴的一端，所述驱动机构连接于所述极靴轴的另一端以用于驱动所述极靴轴转动，进而调节所述磁性组件的磁极方向。
[0006]在其中一个实施例中，所述驱动机构包括动力件和传动件，所述极靴轴和所述动力件分别连接于所述传动件，所述动力件用于带动所述传动件动作，进而带动所述极靴轴转动。
[0007]在其中一个实施例中，所述动力件为步进电机。
[0008]在其中一个实施例中，所述动力件和所述传动件上分别设有相互啮合的第一齿轮和第二齿轮。
[0009]在其中一个实施例中，所述极靴轴上设有轮齿，所述传动件上设有与所述轮齿相匹配的齿槽。
[0010]在其中一个实施例中，所述磁极方向调节装置还包括刻度盘，所述刻度盘固定于所述基座；所述极靴轴上设有刻度指针，所述极靴轴穿过所述刻度盘以使所述指针指向所述刻度盘。
[0011]在其中一个实施例中，所述磁极方向调节装置还包括冷却机构，所述冷却机构设于所述基座以用于冷却所述磁极方向调节装置。
[0012]在其中一个实施例中，所述磁性组件包括多个磁性件，多个磁性件均垂直与所述
极靴。
[0013]一种镀膜设备，包括溅射靶材以及如上述任一实施例中所述的磁极方向调节装置，所述磁性组件伸入所述溅射靶材的内部。
[0014]在其中一个实施例中，所述溅射靶材有多个，其中至少两个所述溅射靶材形成孪生溅射靶材。
[0015]上述磁极方向调节装置包括基座、磁性组件、极靴、极靴轴以及驱动机构；极靴轴可转动连接于基座，磁性组件连接于极靴，极靴固定于极靴轴的一端，驱动机构连接于极靴轴的另一端以用于驱动极靴轴转动，进而调节磁性组件的磁极方向。通过驱动机构带动极靴轴转动，使极靴随极靴轴同步运动，进而使磁性组件转动，这样可以方便地调节磁性组件的磁极方向。当需要改善工件的局部镀膜性能时，调节磁性组件的磁极方向，可以加强或者减弱工件的局部镀膜程度。尤其是，当需要在工件的多个表面进行镀膜时，与传统的镀膜方式相比，采用该调节装置能够通过对磁极方向的调节来缩小不同表面镀层的差异，有效提高工件不同面的膜层厚度的一致性。
附图说明
[0016]图1为本技术一实施例中磁极方向调节装置的结构示意图；
[0017]图2为图1对应的调节装置另一视角的结构示意图；
[0018]图3为图1对应的调节装置的极靴轴的结构示意图；
[0019]图4为图1对应的调节装置的局部示意图；
[0020]图5为工件不同表面镀膜的膜层示意图；
[0021]图6为本技术实施例1中镀膜时的示意图；
[0022]图7为本技术实施例2中镀膜时的示意图；
[0023]图8为本技术实施例3中镀膜时的示意图；
[0024]图9为本技术实施例4中镀膜时的示意图。
[0025]图中标记说明：
[0026]100、磁极方向调节装置；101、基座；102、磁性组件；103、极靴；104、极靴轴；1041、轮齿；1042、刻度指针；105、驱动机构；1051、动力件；1052、传动件；1053、第一齿轮；1054、第二齿轮；1055、动力件安装座；1056、传动件安装座；106、刻度盘；107、冷却机构；108、销钉；200、工件；201、工件主体；202、打底层；203、硬膜层；204、颜色层；205、工件正面；206、工件左侧面；207、工件右侧面；300、工件架。
具体实施方式
[0027]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、
“
顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0029]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0030]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0032]请参阅本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁极方向调节装置，其特征在于，包括基座、磁性组件、极靴、极靴轴以及驱动机构；所述极靴轴可转动连接于所述基座，所述磁性组件连接于所述极靴，所述极靴固定于所述极靴轴的一端，所述驱动机构连接于所述极靴轴的另一端以用于驱动所述极靴轴转动，进而调节所述磁性组件的磁极方向。2.如权利要求1所述的磁极方向调节装置，其特征在于，所述驱动机构包括动力件和传动件，所述极靴轴和所述动力件分别连接于所述传动件，所述动力件用于带动所述传动件动作，进而带动所述极靴轴转动。3.如权利要求2所述的磁极方向调节装置，其特征在于，所述动力件为步进电机。4.如权利要求2所述的磁极方向调节装置，其特征在于，所述动力件和所述传动件上分别设有相互啮合的第一齿轮和第二齿轮。5.如权利要求2所述的磁极方向调节装置，其特征在于，所述极靴轴上设有轮齿，所述传...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋立志，段新超，邹贤春，熊汤华，
申请(专利权)人：维达力实业深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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